FDC系统在PECVD设备管理中的应用研究

针对液晶显示领域等离子增强化学气相沉积(PECVD)设备原理和结构,构建基于FDC(Fault DetectionClassification)系统的PECVD设备智能化管理模式。通过FDC系统收集PECVD的设备和工艺参数,进行参数的相关性分析并设置监控模型,实时监控关键参数,智能输出锁定异常设备,提升PECVD设备智能化管理水平。     

PECVD设备Leak在线监控系统创建及应用北大核心CSCD

等离子体增强型化学气相沉积法(PECVD)设备具有高真空特点,容易发生漏气(Leak)事故,为预防事故发生,对PECVD腔室构造、成膜原理及过程进行深入分析。从原理上检讨通过光谱分析方法在线监控PECVD工艺腔室Leak的可行性,搭建了腔室在线监控系统。通过光谱条件的调整测试,发现Ar等离子状态下,Leak光谱和正常光谱差异最大化,更有利于Leak光谱检测,成功实现Leak在线检测,在行业内首次实现PECVD真空腔室在线监控功能。     

动车组三级修智能化计算机管理系统的设计与实现

介绍基于ARM嵌入式远程监控系统结合工控机联成一体的动车组三级修智能化计算机管理系统的设计。实现ARM处理器实时监控现场设备的运行以及将采集的参数分析处理并将结果通过无线网络传送到各点。     

辅助PECVD的磁场模拟计算与分析

本文介绍了磁场辅助PECVD工作原理,磁场对沉积薄膜的影响。通过对PECVD中磁场对带电粒子的约束作用、等离子体能量转换频率分析,建立辅助磁场模型并进行数值计算。在现有辅助磁场基础上改进设计适用于PECVD设备的螺线管磁场系统,得到不同物理条件下磁场分布规律。进而确定螺线管结构参数得到均匀分布的磁场,为辅助PECVD磁场的应用提供了一种方法。     

粮库远程智能监控系统的研究

针对传统粮情检测系统集成化和智能化程度低的不足,将单片机检测技术与PLC自动控制技术结合起来设计了粮库远程智能监控系统.上位机采用组态软件将多参数检测和多设备的控制集成在一起,系统可根据不同参数的上、下限进行超限报警及自动控制.     

等离子增强型化学气相沉积条件对氮化硅薄膜性能的影响

等离子增强型化学气相沉积(PECVD)氮化硅技术是目前半导体器件在合金化后低温生长氮化硅的唯一方法.研究了由进口PECVD设备制备的氮化硅薄膜性质与沉积条件的关系,测定了生成膜的各种物理化学性能,详细探讨了各种沉积参数对薄膜性能的影响,提出了沉积优质氮化硅薄膜的工艺条件.     

等离子体增强化学气相沉积设备的研制

本文介绍非晶硅薄膜太阳能电池生产线的核心设备——等离子体增强化学气相沉积(PECVD, Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition)系统,并阐述了其重要地位.非晶硅太阳能电池制造的关键技术是非晶硅薄膜的制备,目前最常见的制备方法是PECVD技术.PECVD技术凭借其低温沉积、可大面积成膜、成膜均匀等特点,在非晶硅薄膜制备方面迅速发展.PECVD系统用于制备非晶硅太阳能电池的关键结构P、I、N硅薄膜层.本文阐述了该设备的结构特点、技术指标、工作原理及工艺过程,对沉积室的结构和配置进行了详细设计计算,非晶硅太阳能电池稳定后的转化效率可达6％.     

基于数字模拟的PECVD沉积氮化硅薄膜的工艺参数决策方法研究

提出了基于数字模拟的等离子体增强化学气相沉积(PECVD)沉积氮化硅薄膜的工艺参数决策方法。氮化硅薄膜的主要影响因子和质量特性参数通过领域知识和专家意见先期获得,通过单因素物理试验获得工艺参数和质量特性参数之间的关系,通过数字模拟的正交试验获得最佳的工艺参数。考虑到PECVD沉积氮化硅薄膜实验所需的时间和费用,基于数字模拟的PECVD沉积氮化硅薄膜的工艺参数决策方法可以在数据离散化、领域知识不充分的环境中高效经济地进行工艺参数的优化选择。     

现代建筑电气系统的智能化管理与发展探讨

现代智能建筑通过楼宇自动化系统(BAS)实现建筑物(群)内电气系统全面监控与管理,并通过优化设备运行与管理,降低运营费用。目前已经出现了远程无线监控等新的传输体系,未来一体化的智能管理方式将朝着迅速化、宽带化和全自动化的真正智能化迈进,为建筑的使用者营造一个舒适、安全、经济、高效、便捷的工作生活环境。     

基于PROFIBUS-DP的PLC通信

现场总线控制系统既是一个开放的、双向传输、多分支结构的高可靠的数字通信网络,又是一个全分布的工业控制系统,它把挂接在总线是作为网络节点的智能化现场设备连接为网络系统,构成自动化系统,实现包括基本控制,计算补偿,参数修改,报警,显示,监控,优化和管控一体化的综合自动化系统。     

基于WEB的烟草机房环境监控系统的设计与实现

该文介绍了通过自动铡控及传感技术的应用,实现对烟草企业电子机房区域内供电设施设备,机房防漏水设备及温湿度设备的参数及工作状态进行监控的解决方案。通过该方案的实施,较好的解决烟草企业机房设备集中管理的智能化和联网化,实现机房环境参数信息采集和处理的实时化,实现故障报警信息处理的自动化,保障机房内设施设备的安全条件下的管理水平。本文重点阐述了该系统的实现方法。．     

通信电源和环境集中监控系统的设计

通信电源与机房环境集中监控系统是运用计算机、现代通信、智能化等先进技术,利用通信网络组网方式对分布于本地区乃至全地区的机房电源设备和机房环境进行实时的动态监控。     

基于计量自动化的主站移动监控平台研究

电力计量自动化系统是计量设备运行监控和现场运维的重要支撑工具。该文在计量系统主站运行监控与维护功能基础上,设计基于主站系统的移动监控与运维辅助平台,介绍其总体功能架构,并提出具体物理架构实现方式和应用功能模块。基于主站系统采集的现场终端、表计状态及业务数据,利用信息化作业工具及手段,实时、全面监控设备运行状况,辅助现场运维作业,实现计量系统现场运行维护的智能化、移动化和便捷化辅助支撑工具。     

基于数据共享的燃气热泵空调网络监控系统

在不改变局域网燃气热泵(GHP)空调监控系统的基础上,采用数据共享和服务器端数据库重建技术,实现GHP空调的网络监控系统。系统管理人员可以通过该监控系统对GHP空调系统进行网络监控、智能化管理和远程服务,并可利用Web服务器对用户开放查看功能,若用户采用空调托管功能,可以避免能耗的浪费。     

城市住宅小区智能化系统设计与应用

我国城市现代化进程不断加快,科学技术水平也在不断发展和进步,很多信息化产品和电子设备的成本逐渐降低,使城市住宅小区的现代化程度不断提升,因此智能化系统便应运而生。应用了智能化系统的城市住宅小区,在安全性上提高了很大层次。在小区范围内加装网络通信设备、监控设备、安防设备等,有效降低了小区的失窃和暴力犯罪,提升了小区安全系数和人们的生活品质。     

姚桥煤矿井下综合防尘智能化技术研究

本文介绍了矿井智能化防尘监测监控系统,通过矿井防尘自动控制,增强了井下防尘的可靠性和适用性,提高了综合防尘效果,全矿井防降尘监测监控运行体系,是有效防止粉尘危害的常规设备和重要设施     

高铁站房变配电室远程测控终端(RTU)技术应用

本文介绍新建兰渝铁路广重段南充北站工程站房配电室采用RTU系统,实现远程控制室内设备及监控室内设备运转,极大地提高铁路电力调度的自动化。综合对比,得出RTU具有更高的智能化、经济实用和安全等特点。     

基于物联网的智能变电站在线监测系统研究

在对变电站管控的过程中,其各项信息数据往往存在传输节点过多、参数过多、干扰过大等问题。结合物联网技术,对智能变电站设置了一种实时远程监控系统。该系统主要包括数据动态交互、智能集中管理、传感网监控3个环节。在智能变电站运行的过程中,能够对其气体微水密度、设备绝缘、运行温度等数据信息进行收集、处理以及传输。实践表明,数据采集十分精准,使智能化的监控系统得到了有效的实现。     

物联网远程电梯监控系统关键技术研究与实现

为提高电梯管理水平,有效避免电梯安全事故的发生,设计和开发物联网(IOT)远程电梯监控系统。该系统将电梯工作现场采集的电梯运行状态信息封装成数据包,通过中继器上传到数据中心进行处理,利用富客户端技术(Silverlight)实现监控客户端浏览器与服务器的双向交互。提出物联网远程电梯监控系统的拓扑结构,研究物联网电梯监控系统中客户端浏览器和服务器信息交互、数据中心管理以及终端硬件设计等关键技术及其实现。实践证明:系统能够实现对电梯进行全面智能化监控和管理,具有良好的应用前景和实用价值。     

浅议智能化井场监控系统在油田采油工作中的应用

随着油田信息化建设的不断发展,油田采油工作中智能化井场监控系统的建设已经纳入到了信息化建设的进程之中。油田采油工作中数字化抽油机的工作状况及井场的工况对采油工作的安全性和经济性产生着重大影响。本文通过分析油田采油工作中井场监控系统的构建要求及当前我国智能化井场监控系统的组成部分,从而为井场监控工作的开展和智能化井场监控系统的应用提供参考。