谐振式微加速度传感器的有限元分析

有限元分析用来评估一种新颖的谐振微加速度传感器,仔细分析新结构的几个主要振动模态,优化结构参数,证实这种硅基谐振式微加速度传感器的灵敏度高于1 000 Hz/gn.而且在有限元分析的基础上对实际制造的非完全匹配的双端固定音叉的特点和对于测量的不良影响进行分析.     

基于三梁结构的电热驱动谐振式微加速度传感器研究

为了提高电热激励/压阻拾振谐振式微加速度传感器的品质因数和消除交叉灵敏度,提出一种基于三梁结构的新设计.依据有限元模拟得到的固有振型来选择三梁结构参数,以减少能量耗散,提高品质因数.分析本设计消除交叉灵敏度的机制和独特的三梁结构的激振方式并对其进行有限元模拟.模拟结果证实这种谐振式微加速度传感器的灵敏度高于1000 Hz/g.     

叉指式微结构加速度传感器刚度的力法求解

采用结构力学的力法,建立了求解叉指式微结构加速度传感器刚度的力学模型。与材料力学方法相比,简化了推导过程,得到了便于微机计算的结论。     

高灵敏度谐振式微加速度传感器的设计与制作

为提高加速度传感器灵敏度,提出一种新的加速度敏感机制,并基于此原理设计了一种新的微机械谐振式加速度传感器结构.分析了加速度传感器的数学模型及影响灵敏度的关键参数,并以此为依据对传感器结构参数进行优化设计.采用扩散硅层作为谐振子,提高器件性能的同时简化了制作工艺,利用KOH溶液湿法腐蚀硅在各晶向上的各向异性,实现了支撑梁...     

微谐振传感器同频干扰的建模与消除

主要研究了静电激励/电容拾振谐振式硅微加速度传感器的同频干扰问题,分析了几种干扰源,建立了同频干扰的电路等效模型,提出一种基于双端激励/双端检测的结构,采用二次差分的方式消除同频干扰.     

一种基于谐振音叉的新型差动式硅微加速度计设计与分析

为提高谐振式加速度计灵敏度、稳定性以及减小加速度计体积,本文提出一种结构新颖的谐振式硅微加速度计.采用一级微杠杆机构对质量块惯性力进行放大,通过一对差动布置的双端固支音叉谐振器的固有频率变化检测惯性力,从而实现对加速度的测量.该加速度计可采用体硅加工工艺,给出了总体工艺流程.采用解析和有限元分析方法对加速度计敏感元件进行了分析,有限元分析结果与解析分析结果相吻合,有限元分析可得加速度计灵敏度为57.4 Hz/g.分析结果表明该加速度计结构具有高灵敏度、高温度稳定性和小体积等优点.     

结构新颖的多维加速度传感器

采用一种新颖的结构,实现加速度矢量多维分量一体化测量和很好地解决传感器固有频率与灵敏度的矛盾。系统地分析其敏感原理,并对以此种结构制成的传感器实测固有频率与设计值的差异进行理论分析,得出设计公式是实用的、有效的结论。     

检测电压对一种新型谐振式微加速度计的影响

静电作用在在平行板电容器上会产生等效静电负刚度,介绍了基于静电刚度的谐振式微加速度计设计原理,建立了其动力学模型.根据检测电压的约束条件,求解了其可行范围.同时分析了检测电压对系统灵敏度、可靠性和量程及输出电压的影响.分析结果表明:检测电压越大,灵敏度越大,但可靠性和量程会相应减少,反之亦然;直流检测电压的存在使得输出电压不受检测电容并行的寄生电容影响.理论分析结果为谐振式微传感器的系统设计提供了重要依据.     

硅微振梁式加速度传感器中微杠杆结构的设计

提出了一种采用微杠杆结构进行惯性力放大的硅微振梁式加速度传感器结构,阐述了其工作机理.在此基础上,讨论了两种不同的支点形式,分别推导了这两种结构形式的放大倍数计算公式,发现Ⅰ型支点形式的放大倍数略高于Ⅱ型支点,并采用有限元方法进行了仿真;分析了支点刚度以及输出轴刚度对放大倍数的影响;提出了微杠杆结构设计的原则.     

一种硅基单岛结构石英梁谐振式微压力传感器芯片

正申请号:201310016272.6【公开号】CN103115720A【公开日】2013.05.22【分类号】G01L9/08(2006.01)I【申请日】2013.01.16【申请人】西安交通大学【发明人】赵玉龙;程荣俊【摘要】一种硅基单岛结构石英梁谐振式微压力传感器芯片,包括石英梁,石英梁通过低应力粘接胶粘接在硅基底的正面上,石英梁的四个对角分别与硅基底正面上的四     

中国微米纳米-接触式电容微加速度传感器的设计与分析

设计了一种新型接触式电容微加速度传感器。针对传感器结构,建立了考虑接触效应的周边固支圆形膜片在集中载荷作用下与基底“接触”前后的简化分析模型,并给出了接触半径的计算公式。为接触式传感器的研制奠定了理论基础。     

微谐振梁的激振与拾振研究

主要研究静电激励/电容拾振硅微谐振梁的激振拾振问题,推导谐振梁的激振与响应的等效数学模型,分析谐振梁的同频干扰问题,建立其等效电路模型,提出一种基于双端激励/双端检测的结构,能够有效的抑制干扰模态和消除同频信号干扰.     

硅岛式微谐振压力传感器灵敏度分析与仿真

微谐振式压力传感器尺寸小、重量轻、精度高并具有效字输出,在航空航天等领域有着广阔的应用前景.然而由于微机械加工工艺的限制,复杂结构的制作存在很多困难,因而为实现高灵敏度压力测量,微谐振式压力传感器的结构设计就显得尤为重要,因此提出一种新型硅岛式谐振梁支撑结构,它利用硅薄膜作为典型的一次敏感元件,并在其上表面中央部位设计了两个硅岛凸起平台,用以固定硅谐振梁,并通过有限元软件ANSYS进行仿真.分析结果表明,在一定量程内,该结构能有效提高谐振梁内的应力放大倍数,进而提高微压力传感器的灵敏度.     

Novel hybrid resonant structures and its applications in compact multiband bandpass filters

A novel hybrid resonant structure which can realize compact multiband bandpass filters (BPFs) and its design method are proposed in this article. The hybrid resonant structure is a dual‐plane structure which is an effective combination of a pair of microstrip stepped impedance resonators on the top layer and two nested dual‐mode defected ground structure resonators on the bottom layer. A triband BPF adopting this hybrid resonant structure was presented which was operating at 2.4/5.7 GHz (wireless local area network application) and 3.5 GHz (worldwide interoperability for microwave access application). The size of this filter is only 0.14λ₀ × 0.11λ₀. © 2014 Wiley Periodicals, Inc. Int J RF and Microwave CAE 24:690–696, 2014.     

高效半桥LLG谐振变换器的参数设计及仿真

针对目前LED驱动电源存在有效功率低、效率转换差方面的问题,研究采用LLC谐振变换器以提高转换效率.分析了半桥LLC谐振变换器的工作过程,通过工作原理过程分析,推导出了励磁电感最大效率转换公式.按照参数流程图,设计了变压器变比、谐振电容、谐振电感、励磁电感等参数,设计了一款240W LED驱动电源,利用Matlab仿真工具搭建了LLC谐振变换器仿真模型,进行了参数验证,仿真结果验证了该设计计算方法的有效性.     

一种新的重构语义分析方法及其应用

提出一种新的重构语义分析方法,引入了后置条件作为重构后程序语义的分析条件,然后基于该方法提出一种重构异常行为检测方法,利用不同重构之间的关系及其关联语义特征,发现重构实施时的错误.分析表明,该方法可以有效发现E-clipse中存在的若干缺陷,并且可以检测出使用Eclipse实施相应重构时产生的程序异常行为.