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硅片键合界面的应力研究 总被引:3,自引:0,他引:3
本文主要研究硅片直接键合界面结构与应力大小.当抛光硅片直接键合时,界面出现极薄的过渡区,并存在微小的晶向差,但不引起多余应力.当热生长了二氧化硅层的硅片相键合时,界面存在二氧化硅层,并引起张应力,其大小与硅二氧化硅系统应力大小相当. 相似文献
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随着DC-DC变换器的实际应用领域的不断扩大,人们对变换器系统的稳定性提出了更高的要求,因此,精确而有效的建模和仿真对于变换器的发展有着重大的意义。本文以电力电子Buck电路为例,提出混合键合图模型和键合图平均模型两种模型,这两种模型都是在键合图建模理论的基础上,根据电路中开关控制方式的不同而得到的。首先经过分析得到Buck电路的两种键合图模型,并在GME(Generic Modeling Environment)软件中搭建模型,然后通过该软件将它转换为Matlab框图模型并仿真,最后将仿真结果与实际电路模型的输出波形进行对比分析,验证了两种模型的可行性和正确性。 相似文献
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两电极多层阳极键合实验研究 总被引:1,自引:0,他引:1
介绍了用2个电极通过一次电极反接的方式实现多层样片之间阳极键合的操作工艺和键合机理,并以玻璃-硅-玻璃三层结构为例对其进行了实验研究。结果显示:多余的玻璃对第一次键合过程的电流特性影响不大,而第一次键合的玻璃对第二次键合电流产生显著的影响,电流出现不规则的突变。而且,在第二次键合过程中,第一次键合的玻璃在键合面上会出现由于钠元素积聚而产生的黄褐色斑点。拉伸强度实验的结果表明:第二次键合过程中在第一次键合面形成的反向电压会减弱键合的强度;通过合理选择键合参数可以得到满足MEMS封装要求的键合强度。 相似文献
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李亚宁 《自动化与仪器仪表》2015,(1):195-197
以兰州轨道交通1号线上安宁区世纪大道站的土壤样本为研究对象,对不同牵引电流、土壤电阻率、钢轨纵向电阻、土壤深度等条件下的杂散电流进行了实验测试,获得了兰州土质条件下这些影响因素与杂散电流的关系。根据实验结果,提出了相应的施工管理措施和杂散电流腐蚀防护措施。研究为兰州轨道交通1号线杂散电流的腐蚀防护提供了理论参考。 相似文献
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Hongshuo Wang Jinsong Chen Fulong Chen 《International journal of remote sensing》2013,34(17):5615-5628
Normalized difference vegetation index (NDVI) time series have the potential to delineate vegetation phenology change. For a mixed pixel, time-series fluctuations representing phenological change in a year indicate percentage cover changes. In this study, noise in the Moderate Resolution Imaging Spectroradiometer (MODIS) NDVI time series was removed by a Savitzky–Golay filter and wavelet filter. Principal component analysis was conducted to generate new variables characterizing the variations of percentage cover. The results show that the first principal component (PC1) is not sensitive to filters and that PC1 and percentage forestland cover are significantly correlated, with a coefficient of determination (R 2) greater than 0.55, while PC1 and percentage cropland cover are uncorrelated, with R 2 < 0.01. This study also indicates that MODIS percentage forestland cover can be roughly estimated by multi-temporal NDVI data in cloud-prone areas and that the spatial features of mixed pixels can be characterized by temporal phenological features. 相似文献
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黄酮类化合物抗肿瘤活性的构效关系研究 总被引:6,自引:2,他引:6
应用分子力学MM 和半经验量子化学AM1法对18种黄酮类化合物进行了几何优化,并计算了各化合物的电子结构,根据其电子结构,结合它们在体外抑制60-Cellline人体肿瘤细胞的活性数据(IC50)进行讨论,得出了黄酮类化合物抗肿瘤活性的定量构效关系。结果表明:B环和C环对黄酮类化合物抗肿瘤活性影响大;且B环负电性越高,活性越强,而C环正电性越高,活性越强。 相似文献