浅析含氟电子气体相关标准现状及发展趋势

首先介绍了含氟电子气体研究现状,然后分析了含氟电子气体相关的标准情况及发展趋势。     

我国含氟电子气体发展现状及技术进展

介绍了我国含氟电子气体发展现状以及技术研究进展。国内含氟电子气体产品在下游应用企业中的接受度较低,与国外发展存在明显差距。研究和开发含氟电子气体的关键技术主要包括合成、纯化、分析和包装等技术。     

黎明院拟投资逾9亿建设4600t/a特种含氟电子气体项目

正3月13日晚间,昊华科技(600378)发布公告,为发展电子化学品产业,公司全资子公司黎明化工研究设计院有限责任公司(以下简称"黎明院")拟投资9. 14亿元建设4600 t/a特种含氟电子气体项目。昊华科技指出,电子气体在半导体领域具有广泛的应用,是半导体生产过程中的重要原料之一。近年来,随     

浅析我国含氟气体标准的发展

本文基于我国含氟气体产业的发展,概述了含氟气体标准的发展现状,分析了相关标准情况,进而探索了含氟气体标准的发展趋势。     

六氟-1,3-丁二烯的提纯方法及应用优势

介绍了六氟-1,3-丁二烯的性质、纯化技术以及与传统含氟刻蚀气体刻蚀性能的比较。六氟-1,3-丁二烯是一种新型的电子气体,主要应用于超大规模集成电路的干法刻蚀方面。优越的刻蚀性能和优良的环境性能使其成为具有发展前景的下一代刻蚀气体。     

高纯氟甲烷中杂质含量色谱分析

高纯氟甲烷作为新型的含氟电子气体,常温下是一种无毒、无色、无嗅、可燃的存储在钢瓶中的液化气体。一氟甲烷作为刻蚀气体对纯度要求甚为严格,往往需要大于99.99%,甚至99.999%。探讨了高纯氟甲烷的杂质含量分析方法,采用高灵敏度的氦离子化放电检测器(DID),高效的色谱柱系统,实现了对其中杂质含量的分析。     

含氟废水的处理研究

近年来,现代工业的快速发展,特别是电子工业和含氟矿物的开采加工排放的废水含大量氟化物,导致每年的含氟废水排放量急剧增加。氟的大量排放污染环境的同时威胁着人类的健康,因此必须加强对含氟工业废水的处理。     

含氟聚酰亚胺的气体渗透性研究

在玻璃态聚合物中引入立体侧基,能够降低主链堆叠,增加自由体积,提高聚合物的气体渗透性.提出利用立体结构的六氟三苯二胺(BABTFMM),同六氟二酐(6FDA)进行缩聚制备具有高气体渗透性的含氟聚酰亚胺,采用巨正则蒙特卡罗(GCMC)和分子动力学(MD)方法预测了其气体渗透分离性能.分子模拟结果表明,二胺单体中的六氟二甲苯侧基通过空间位阻和主链构型限制,增加了含氟聚酰亚胺的主链间距,降低了堆积密度,增加了自由体积,可以提高含氟聚酰亚胺的气体渗透性.制备了6FDA-BABTFMM和6FDA-ODA两种含氟聚酰亚胺的均质膜进行气体渗透性能测试.结果表明,气体渗透性能测试结果同分子模拟结果一致,6FDA-BABTFMM较6FDA-ODA型聚酰亚胺的渗透性大幅增加,O_2、N_2、CH_4和CO_2渗透速率分别为25.1×10~(-9)、6.8×10~(-9)、5.7×10~(-9)、103.8×10~(-9 )mol/(m~2·s·Pa).     

混合钙盐沉淀法处理含氟废气吸收液探析

以砖瓦厂含氟废气吸收液为研究对象,用CaO与CaCl2混合钙盐沉淀法处理含氟废气吸收液。通过控制投加Ca的总量,改变CaCl2与CaO的摩尔比,测定去除率和处理后溶液pH,并和模拟含氟废水处理结果进行对比,研究混合钙盐沉淀法处理含氟废气吸收液的可行性。结果表明:模拟吸收液处理实验中,当CaCl2/CaO为1:1时去除率为92.30%,pH为11.85,处理效果较好;砖瓦厂含氟气体吸收液处理实验中,当CaCl2/CaO为7:1时去除率为94.14%,pH为6.48,处理效果较好;混合钙盐处理含氟废气吸收液操作方便,在处理砖瓦厂含氟废气吸收液方面有一定可行性。     

四阀四柱分析流程在检测含氟特种气体中杂质的应用与探索

近些年来含氟特种气体市场需求不断的加大,高纯含氟气体生产工艺数据的分析与产品质量的检测对氦离子气相色谱仪提出了更高的要求,本公司就CF4中NF3杂质及SF6中O2、N2、CF4、CH4、C2F6、SO2F2、C3F8等杂质检测在GC-126PDD四阀四柱分析流程上得到很好的解决。     

Mass-Spectrometric Investigation of Gases Evolved from Fluorinated Multi-Walled Carbon Nanotubes at Heating

The mass-spectrometric investigation of the gases evolved from fluorinated multi-walled carbon nanotubes under heating was carried out. It was shown that in temperature interval from 20°C to 120°C the gases are composed predominantly of CO₂, CO and H₂O. Molecules of COF₂ can be finding in gas phase of products of decomposition at 120-300°C. Molecules of CF₄ and C₂F₆ realized from fluorinated nanotubes at 300-450°C.     

敢问中国电子气体路在何方

对中国电子气体的历史进行了回顾,通过对某些具有代表性的电子气体的描述,可以清晰地看到我国电子气体同发达国家的差距。对中国电子气体未来的发展走向进行了剖析。     

超纯电子混合气体及标准气体的配制技术

介绍了电子混合气体的配制方法,指出我国此类气体在制备过程中存在的诸多问题。并对国外电子混合气体配制精度、组分气体和平衡气体的杂质要求进行了极其详细的分析。     

中国电子气体的现状及发展走向

详细地介绍了中国电子气体的技术现状。从光电子、微电子生产中具体使用的几种主要气体的工艺制造上进行了极为详细的介绍。同时,对电子气体的未来发展进行了展望。     

含氟聚芳酰胺合成化学研究进展

聚芳酰胺是一类重要的高性能聚合物材料,广泛应用于航空航天、交通运输、电子电气等领域.从含氟芳香二胺、二酸单体及聚合物合成等几个方面进行了阐述,综述了近年来国内外在含氟聚芳酰胺合成研究领域中的最新进展.     

电真空器件残气质谱分析和贮存寿命的快速测试研究

电真空器件内的残气压强是制管和管子工作过程中管内吸气剂材料吸气后形成的平衡压强,器件击破后质谱分析室本底气体会被吸气剂吸收。因质谱分析室放出的本底气体量一般远小于吸气剂在器件内原吸收的气体量,故器件内的残气压强的新平衡值增量可以忽略,分析室本底不会影响正确的分析结果;大气漏入管内后只表现出该管内惰性气体氩的积累;据此,我们提出了充氩法贮存寿命的快速测试方法。只有吸气剂失效或吸气饱和后管内残气质谱图才反映出漏入的大气成份或分析室本底气体干扰的特征。     

Plasmochemical Utilization of Spent Radioactive Organic Fluids

A procedure was proposed for decomposing liquid radioactive organic wastes in low-temperature plasma to form solid inorganic products. Thermolysis of two types of extraction systems with heavy fluorinated diluents, proposed for application in radiochemical industry, was studied. The solid and gaseous thermolysis products were completely analyzed. No fluorine-containing organic compounds were detected in the exhaust gases. To prevent formation of corrosive products, a metal cation was added forming insoluble compounds with the decomposition products. A convenient procedure for simultaneous feeding of organic compound and calcium salt in a methanol solution was proposed.     

国内外工业气体市场概况

综述了近两年全球工业气体市场,着重论述了北美、欧洲、亚洲地区的气体市场。     

Environmental risk assessment of hydrofluoropolyethers (HFPEs)

Hydrofluoropolyethers (HFPEs), a new family of linear oligomeric fluorinated fluids, are being used as potential replacements for halon, hydrochlorofluorocarbons (HCFCs) and perfluorocarbons (PFCs) that have been listed as ozone depleting substances and/or greenhouse gases. Because of their physicochemical properties, these substances may be industrially used as cleaning solvents in the electronic components, fire suppression agents in the fire protection, and heat transfer fluids in the heat exchangers. From the environmental, ecological, and healthy points of view, it is urgent to understand their environmental risks of these HFPEs. This article aimed at introducing these HFPEs in physiochemical properties and potential uses, and evaluating their environmental risks (i.e., global warming, photochemical potential, and environmental partition). Further, the updated data on their toxicological profiles and potential exposure hazards from their degradation products were also addressed in this paper. It is indicated that HFPEs still pose some significant hazards, especially global warming and photochemical potentials, to the atmosphere. Regarding the estimation of partition properties (i.e., vapor pressure, octanol-water partition coefficient and bioconcentration) of HFPEs, the predicted values of logKow for several HFPEs were found to be below zero, suggesting that they should possess very low potential for bioaccumulation in the environment.