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本文用TP-83型椭圆仪给出了硅器件工艺的若干重要数据:如硅片清洗后不同烘干方法的自然氧化层厚度;二氧化硅及其掺磷时的浓度与工艺条件对膜层折射率的影响等.文中用测量数据证明了在200A以内薄层时,取近Brewster角为方位角可以提高测量精度.最后还介绍了用TP-83椭圆仪可以同时输入两组不同角度的(?)、△值,而得到膜层的绝对厚度. 相似文献
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5.2 分离光路椭圆仪 (a)测量系统 图8表示分离光路方式椭圆仪装置的概况。此装置的检测部分,是由渥拉斯顿棱镜、二个凹面镜以及光电倍增管组成的。它固定在与反射侧光具座方向平行的一个支撑圆筒体的中央且能绕着该椭圆仪圆筒体的中心轴旋转。即在单光路的检偏部件的古兰汤姆逊棱镜所在的位置上,于分离光路方式中设置渥拉斯顿棱 相似文献
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1.前言 椭圆仪与其他光学方法不同的是它可以同时测出膜的折射率和厚度,因此在对绝缘膜的测试和评价中是一种有用的方法。 椭圆仪在测试和评价绝缘膜上所起的作用举例说明如下: (a)可以非破坏性地较精确地测出绝缘膜的折射率和膜厚。在测试中评价热氧化膜的精度为 相似文献
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伽马探测器是核测井仪的核心器件,起到将地层放射性物理信息转化为可量化的电信号的作用,是实现数字化测井的桥梁。其输出信号是微弱的负极性电流脉冲,不能直接被信号采集电路所接收,因此,需要设计专门的信号处理电路进行规范化调整。对伽马探测器输出信号进行特征分析并结合煤矿应用环境特点,设计并实现了可满足小体积、低功耗、高可靠性需求的信号处理电路。经测试验证表明,电路性能稳定,能有效将待处理的非标信号调整得到标准的方波信号,达到预期技术需求。 相似文献
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大气红外探测仪的探测器序列定位误差 总被引:4,自引:3,他引:1
官莉 《红外与毫米波学报》2007,26(2):153-156
大气红外探测仪AIRS的核心是一个光栅光谱仪序列,2378个红外探测器分装在17个探测器序列上,本文以实例说明了由于探测器序列在视轴方向有偏移,即空间错误定位误差给AIRS的观测值带来的影响及其光谱分布特征,以及观测值误差对后继红外晴空订正和大气廓线反演的影响.建议以后在设计同类仪器时要避免探测器序列错误定位问题,或选用干涉式分光系统. 相似文献
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分析了非赋形双偏置天线产生椭圆波束的机理,将馈源的椭圆波束照射到轮廓线为椭圆形的付反射面上,通过双偏置天线的对称转换原理,主反射面产生椭圆波束.馈源波束由矩形口径的多模喇叭产生,它提供了等化的方向图.给出了馈源及天线的方向图计算公式.实验结果表明,实测方向图基本与理论计算一致.与其他类型的椭圆波束天线相比,本天线加工简单,同时天线效率也较高. 相似文献
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介绍了一种利用双光源、双电探测器实现一氧化碳浓度测量的装置。该装置主要由探
测器系统、信号放大与处理系统及显示系统三部分组成。描述了该装置的工作原理、基本结构及其主要的技术指标,讨论了其中的技术难点及其相应的解决方法。 相似文献
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被动红外与主动微波组合的探测器是一种双监探测器,从双监探测器工作机理出发,得出了防爆箱探测窗口基本技术要求,并在此基础上对各类窗口材料进行了计算分析及细节设计,实现了双监探测器的主动微波及被动远红外信号低损耗通过。所设计的防爆箱,解决了双监探测器在具有防爆性要求的\环境中的应用难题,对提升易燃易爆等危险环境下的防入侵监测技术水平有着重要的意义。 相似文献
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在高定位精度的运动系统中,光栅尺做为位置反馈元件大量使用。本点样仪选用Galil公司的DMC1800控制卡、松下交流伺服电机、雷尼绍光栅尺和贝塞德运动单元,定位精度可以满足设计要求。控制软件采用VB编写。 相似文献
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张智敏 《红外与毫米波学报》1983,2(1)
本文阐明太阳常数测量仪器——双腔日射仪的工作原理,推导了工作方程,测量及计算了工作方程中的各参量。实验表明,由此研制成的原理性样机可对太阳常数作绝对测量。误差分析表明,其精度达±0.6%。通过误差分析,提出了改进措施。 相似文献
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傅恩生 《激光与光电子学进展》2005,42(9):57-57
中红外激光源,如量子级联激光器和光学参量振荡器的动力学特性,由于在技术上缺乏灵敏的探测器,很难用非线性激光光谱学来测试。最近,德国弗琅和夫应用固体物理研究所和加拿大渥太华国家研究委员会的研究人员,根据共振增强的非线性吸收,将脉冲控制在飞秒范围,开发出一种灵敏的双光子中红外探测器。 相似文献