电子级多晶硅生产技术探讨

高端电子级多晶硅是集成电路产业的基础,但由于其对产品纯度和稳定性的苛刻要求,国内并没有厂家能够进行商业化量产,这并不利于集成电路行业的健康稳定发展。本文在国内已掌握的改良西门子法多晶硅生产技术的基础上,结合国外先进技术,对精馏、还原的工艺和配套设备都进行了改良,并将光伏级多晶硅和电子级多晶硅生产系统进行了耦合,提高了效率,降低了整体生产成本,降低了原料对于电子级多晶硅生产的制约,形成了闭路循环生产体系。     

浅析多晶硅杂质引入因素及解决方案

如何进一步降低卤硅烷中杂质含量,使国内多晶硅的质量达到国外电子级水平一直是行业关注的话题。本文首先阐述了改良西门子法生产多晶硅流程中杂质的主要来源,其次概述了近些年国内外关于痕量硼、磷等杂质高效去除的技术方案,着重探索了络合法、吸附法、部分水解法等杂质去除机理;最后提出了电子级多晶硅国产化进程中应侧重的提纯技术研究方向。     

大连理工大学分子筛基绿色催化技术实现产业化应用

正据精细化工国家重点实验室网站消息,近日,大连理工大学化工学院刘家旭副教授团队研发的分,子筛基环境友好催化技术在精细化学品清洁合成、电子级新材料合成及柴油车尾气无害化处理等产业,化项目中实现了工业应用,技术许可合同总额达到 2000万元。分子筛基环境友好催化技术在电子级溴化氢生产中的应用,是由刘副教授团队与绿菱电子材料,(天津)有限公司合作研发的。采用该技术的国内首套100t/a电子级溴化氢项目,已经在绿菱电子材,料(天津)有限公司一次性开车成功,顺利投产并产出合格产品。高纯度电子气体是保证当今各种高,性能电子器件质量的关键原料,电子级溴化氢在半导体生产和等离子刻蚀多晶硅方面有重要应用,属,     

超快激光在多晶硅还原炉的应用技术优化研究

针对电子级多晶硅还原炉底盘附着的残留物，研究超快激光技术在电子级多晶硅还原炉的应用。通过超快激光电子级多晶硅还原炉清洗设备结构，分析其清洗电子级多晶硅还原炉设备过程。选取试验材料、试剂和设备后，分别制备含有无定形硅粉、氯硅烷水解物、二氧化硅粉尘、甲基硅油油脂、多晶硅颗粒等污染物的基板作为还原炉污染样本；并以制备的还原炉污染样本为基础，设定初始条件和边界条件后，展开电子级多晶硅还原炉污染试件清洗试验。结果表明：污染物基本被去除；在不同清洗次数下，超快激光清洗时的重复频率和扫描速度越高，其清洗电子级多晶硅还原炉污染试件效果越好。     

电子级多晶硅生产技术

电子级多晶硅是多晶硅经过高度提纯所获得的一种材料,广泛应用于高纯硅制品,是人类现代高科技所不可缺少的一种原材料。而随着人类科学技术的发展,对于原材料质量和纯度的要求也不断提升,对此,也产生了对于电子级多晶硅生产技术的探讨。以全球发展技术状况的阐述作为基础,充分探讨了当前能够获得高质量、高纯度电子级多晶硅的相应生产技术。     

半导体级多晶硅隐性指标研究

对于半导体行业对多晶硅产品的需求而言,6寸及以下晶圆用原生多晶硅料,国内光伏行业的生产技术全面提升至极致,可初步满足下游用户需求。而8寸、12寸晶圆用原生多晶硅料,不仅对产品的显性指标要求十分苛刻、还对产品的隐性指标要求极高,这已突破光伏行业的认知。对于半导体级多晶硅的隐性指标,目前业内相关技术研究十分少见。本文将对其相关隐性指标进行探究,为本领域的技术创新抛砖引玉。     

电子级多晶硅生产还原尾气中无定型硅去除工艺研究

对电子级多晶硅生产还原尾气中无定型硅产生原因进行分析,从还原炉工艺优化调整、尾气回收系统过滤除尘方面研究相对应无定型硅的去除工艺,可以有效降低无定型硅含量,进一步提高循环氢气质量,有助于提升电子级多晶硅产品质量.     

电子化学品

迅天宇提纯高纯度多晶硅技术成功实现产业化由迅天宇科技有限公司研发的物理法提纯高纯度多晶硅技术成功实现产业化,这一技术不仅打破了国内太阳能产业的高能耗瓶颈,还首次实现出口,确立了中国在世界光伏产业链上的地位。其生产的99.9999%以上纯度的太阳能电池硅产品的生产成本     

电子级多晶硅酸洗过程分析及经济成本论证

电子级多晶硅材料是集成电路产业链中一个极为重要的基础材料,是制造集成电路抛光片、高纯硅制品的主要原料,是信息产业最基础的原材料。电子级多晶硅表面金属杂质含量的高低对单晶硅的制备以及晶圆片良品率的高低有着密切的关系,因而通过硅块酸洗来控制多晶硅的表面金属杂质含量对多晶硅的品质提升有着至关重要的影响。目前,我国在电子级多晶硅酸洗方面的研究成果几乎还是空白。因此,如何使电子级多晶硅酸洗质量既满足电子级多晶硅酸洗标准又能达到酸洗最佳经济成本的目标,就是一个必须解决的课题。     

我国多晶硅产业将迎来黄金发展期

近日,随着河南洛阳中硅高科公司年产300吨多晶硅项目建成投产,标志着国外对我国多晶硅生产技术实行多年封锁垄断的坚冰已被成功打破,我国多晶硅产业发展长期以来受制于人的状况即将改变。不久前,中国电子材料行业协会在京召开了多晶硅材料“十一五”科技发展战略研讨会。会上许