平板平面度测量不确定度分析及测量标准选择

对用电子水平仪检定平板平面度测量结果的不确定度进行了分析评定,通过将测量结果不确定度与平板平面度最大允许误差进行分析比较,提出了不同于JJG-2005《平板检定规程》选择平板平面度测量标准器的方法.     

用封闭法测量平板平面度

本文对平板检定中按米字型布线，推导出封闭法测量平面度的全部计算公式，该项研究为平面度误差不等精度提供理论依据，同时为平板检定提供了一种新方法。     

激光跟踪仪在平面度测量上的准确性探讨

对大型平面的平面度测量一直是一个难点,采用水平仪法或平直仪法获得的数据处理困难,且费时费力。针对这一问题,本文通过激光跟踪仪来解决,通过实例与标准水平仪法的比较,验证了激光跟踪仪在平面度测量上所具有的准确性能满足哪些需求。     

对《平面度检定中一个容易忽略的问题》一文的异议

本刊 2 0 0 3年第 6期发表的《平面度检定中一个容易忽略的问题》(以上简称《问题》)一文 ,实际上是水平仪正确读数的问题 ,本人认为该文所说的读水平仪的方法值得商榷。对于水泡水平仪来说 ,划分所谓的“A”端和“B”端是没有必要的。读数时 ,只需要测量者按水平仪水泡的位置     

微晶玻璃板材的平面度测量

微晶玻璃板材是一种新型建材，平面度在线检测是微晶玻璃板材生产企业质检的一个重要环节。由于现有的磁砖平面度测量工具与方法不可能对面积超过1m^2的微晶玻璃板材的平面度进行测量，而水平仪和自准直仪对平面度的测量方法不可能对大批量生产出来的每一块微晶玻璃板材实现直观、便捷、快速地平面度测量。     

按节距法测量平面度误差时,测量结果不确定度的相关计算方法

本文通过实例指出：用节距法测量平面度误差时，测量结果不确定度的相关计算方法，改进了通常按独立测量的计算方法存在的问题；本方法对检定平板时的不确定度计算具有参考价值。     

平面度误差测量的几种方法

本文简要介绍了平面度误差的几种常用测量方法及其特点 ,在截面直线法中还分析了不同布线方式对测量精度的影响     

电子水平仪节距法测量平板平面度的误差分析与处理

本文将对电子水平仪以节距法测量平板平面度过程中产生的粗大误差和定位误差进行分析和研究,并提出抑制定位误差产生的方法,确保平板平面度测量的准确性。     

三点法检测环形平面的平面度误差

基于三点法测量直线度误差原理(三点法误差分离技术),提出了一种新的针对大型环形工件平面度的检测方案.不同于传统的三点法测量直线导轨,该方案以封闭的圆环作为测量对象,测量结果为平面度误差而非直线度误差.叙述了三点法测量原理,以及三点法在大型环形平面的平面度检测中的应用.讨论了调零误差对测量结果的影响.提出一种有效的消除调零误差的数据处理算法,最后对该方法进行了仿真验证和实验.实验结果表明,该方法可以很好地消除调零误差,分离出被测工件的形状误差信号.     

高精度平面度测量方法的研究

本以中等尺寸０００级平板为研究对象,采用双频激光测量系统的直线度测量部件进行平面度测量,分析计算了这一测量方法的测量不确定度,并进行了实际测试。     

平晶平面度综合测量方法探讨

在JJG28-2000平晶检定规程中,对平晶有效直径d范围内的平面度和(2/3)d范围内的平面度均有规定的要求.本文将对此问题进行分析,最后给出了符合现行规程要求的新测量方法,补充了计算公式.     

基于相移干涉仪的平面度测量软件设计

以相移干涉法测出的点阵波面数据为基础,设计了计量用平面度测试软件Flat Ex,包括标准平晶的绝对检验、研磨面平尺的斜入射测量和子孔径拼接及三个功能算法模块。通过与等倾干涉仪检定过程的比较,从理论上说明从密集点阵数据中提取稀疏点数据的合理方法,以符合规程的要求或约定俗成的做法。程序已经用于处理Matro Pro和Phase One等多种相移干涉仪数据,提取出符合要求的平面度结果。在相移干涉仪与等倾干涉仪检定结果进行比对实验中,表现出良好的一致性。     

多光束移相干涉在镀膜平面形貌测量的应用研究

本文以光干涉原理为基础,分析多光束干涉原理特点及其在平面形貌(平面度)测量中应用可能,提出应用移相方法对被测镀高反膜表面进行调制,得到一系列被调制的干涉图样,经计算机对干涉图样进行自动采集和图像解包裹,获得被测表面的三维形貌数据,并通过实际测试验证了该方法的可行性和科学性。     

基于测量不确定度的平面度误差搜索范围研究

为了避免评定平面度误差时的过度迭代或迭代不足问题,提出以0.467倍测量不确定度与步长比值作为平面度误差评定的终止条件。逼近搜索范围小于0.467倍测量不确定度与步长比值时,继续逼近则无意义。该结束条件比用时间条件和迭代次数、适应度限等作为算法评定平面度误差结束条件更为科学、合理。     

一种基于圆度仪的平行度、平面度测量方法

本文介绍了一种基于圆度仪的平行度，平面度测量方法，对于零件圆形端面可实现无盲区测量，对φ50mm端面测量扩展不确定度（k=2)为0.2μm。     

多光束移相干涉在镀膜平面形貌测量的应用研究

本文以光干涉原理为基础,分析多光束干涉原理特点及其在平面形貌（平面度）测量中应用可能,提出应用移相方法对被测镀高反膜表面进行调制,得到一系列被调制的干涉图样,经计算机对干涉图样进行自动采集和图像解包裹,获得被测表面的三维形貌数据,并通过实际测试验证了该方法的可行性和科学性.     

电子测量仪器故障排除的基本方法

根据作者长期从事仪器检修工作的实践经验，结合电子测量仪的特点，归纳出故障的排除的７种基本方法。对每种排故方法的适用场合及注意事项亦作出详细的说明。