湿度测量技术与湿度传感器的发展趋势 ——5~(th)IMCS评析

通过对第五届国际化学传感器会议的分析,作者认为,发展专用湿度传感器,例如高温、高湿环境测湿用的湿度传感器以及检测固体表面凝聚水量、检测微区空间气相湿度的测湿技术和湿度传感器等,乃是当前湿度传感器和测湿技术深入发展的主要标志之一。文章对SAW固体电介质（氧离子导体、氢离子导体）、聚合物电阻型以及微型si空气桥热力学式等四类湿度传感器技术与国际先进水平作了一些比对,并对与国际先进水平的差距及其学术上的原因作了某些分析。     

如何选用湿度传感器产品

随着时代的发展,科研、农业、暖通、纺织、机房、航空航天、电力等工业部门,越来越需要采用湿度传感器,对产品质量的要求越来越高,对环境温、湿度的控制以及对工业材料水份值的监测与分析都已成为比较普遍的技术条件之一。湿度传感器产品及湿度测量属于90年代兴起的行业。如何使用好湿度传感器,如何判断湿度传感器的性能,这对一般用户来讲,仍是一件较为复杂的技术问题。多年来,我们作为此种产品的研究和生产单位,积累了许多经验,有了比较深刻的认识,发表此文供大家参考。1　湿度传感器的分类及感湿特点湿度传感器,分为电阻式和电容式两种,产…     

中国湿度与水分测量技术的现状

20 0 2年 8月 12日至 16日 ,中国仪表学会分析仪器学会湿度与水分专业委员会与中国电子学会敏感技术学会气湿敏传感技术专业委员会同甘肃省嘉峪关市科学技术协会合作 ,在嘉峪关市召开了第九届全国湿度与水分学术交流会暨第七届气湿敏传感技术交流会。会议论文反映了我国湿度、水分、气体测量技术的水平和研究现状。本文根据这次学术交流会论文的主要内容综述如下。1　湿度测量技术湿度是指气体中的含水量。湿度测量技术主要涉及电容湿敏元件、湿度传感器、湿度变送器、标准与校准、传感器测量方法、应用研究等。1.1　高分子薄膜电容湿敏元件…     

基于超声波的空气湿度检测方法与分析

设计一个超声波测湿的实验系统,对400kHz超声波在潮湿空气介质中传播36mm距离的衰减情况进行了测量,将空气湿度、温度和衰减后信号有效值电压等数据统计于表中,并对该表中数据进行分析和曲线拟合,从而得出了30℃恒温环境下空气湿度与衰减后信号有效值电压的关系式。利用该关系式,将实验系统与数字温湿度传感器SHT10进行了相对湿度测量对比。结果表明:超声波不仅可以用于测量空气湿度,而且还能够克服传统湿度传感器普遍存在的吸湿、脱湿及滞湿等问题,因此超声波测湿具有很好的应用前景。     

基于单片机的多点湿度检测系统设计

湿度的测量与控制在工业、农业、国防等行业有着广泛的应用。湿度检测系统利用单片机AT89C51的控制与处理技术,采用测量湿度在0％～100％RH之间的集成型恒流测湿元件HS1101,实现多地点的湿．度实时检测和显示功能。     

CMOS集成电容湿度传感器

CMOS集成湿度传感器是利用MEMS技术基于CMOS工艺的新型传感器，将传感器结构与接口电路集成在同一块片子上，具有体积小，价廉、可靠性高等优点，利于批量生产和系统集成。主要介绍了湿度传感器的工作原理和一些常用感湿介质，如多孔硅、聚酰亚胺、空气的感湿特性，比较了几种流行的湿度传感器结构以及接口信号处理电路像开关电容电路、多谐振荡电路之间的优缺点。最后给出了微系统集成的概念，并对CMOS集成湿度传感器的应用前景进行了展望。     

高分子湿度传感器的研制

通过对湿敏材料—聚酰亚胺（PI）的湿敏机理的分析，设计了高分子电容式湿度传感器的芯片结构，并对其制作工艺进行了详细讨论。在此基础上，对传感器变送电路进行了研究，设计了以双时基电路为主的信号处理电路，并最终制备出了输出电压随环境相对湿度线性变化的湿度传感器。对湿度传感器的湿敏特性的测试表明：在1．82％～91．04％RH范围内，带湿度处理电路的湿度传感器输出的信号与环境的相对湿度成线性变化，电路能对湿度电容输出电容量进行放大。     

新型电容式蒸汽湿度传感器及提高测量精度的方法

针对流动湿蒸汽湿度测量难度大、准确度差等难点,根据蒸汽与水的介电常数差异较大的特点,设计了一种同轴式圆筒形电容传感器,可实现蒸汽湿度的在线测量.采用NE555多谐振荡器电路对湿度信号进行测量,通过测量输出频率值来反映蒸汽湿度的大小,同时提出了一些提高传感器测量精度的方法.经标定后,该传感器既可用于在线测量气体的湿度,又可用来测量固体的水分含量.     

我国湿度测量技术的新进展

我国湿度测量技术的新进展武汉仪器仪表自动化工业（集团）公司李玉忠，王淑英一、前言近年来，随着湿度测量在国民经济各部门中重要性的日益提高和应用领域的不断拓宽，我国测湿技术发展很快。在湿敏元件及传感器、测湿仪表及工程应用、计量标准及测试技术等方面均取得了...     

智能湿度计

本文介绍了一种以8031单片机为核心的智能化湿度计。该仪器根据干、湿泡法测湿原理,利用标准铂电阻测温的精确性,实现高精度测湿,以代替常规的湿度传感器或AD590干、湿度泡法测湿。     

BSC湿度传感器

BSC湿度传感器使用了随环境相对湿度变化而变化的有机聚合物薄膜湿敏电容作为敏感元件，专门的转换线路把电容的变化转换成与相对湿度成正比的直流输出电压。这种湿度传感器具有良好的线性度和准确性，工作温度在-40℃～＋50℃，广泛应用于气象、工业、农业、海洋、环保、科研等领域的湿度测量和控制。     

BSC湿度传感器

BSC湿度传感器使用了随环境相对湿度变化而变化的有机聚合物薄膜湿敏电容作为敏感元件，专门的转换线路把电容的变化转换成与相对湿度成正比的直流输出电压。这种湿度传感器具有良好的线性度和准确性，工作温度在-40℃～＋50℃，广泛应用于气象、工业、农业、海洋、环保、科研等领域的湿度测量和控制。[第一段]     

薄膜型集成温—湿度传感器

文章推出一种温—湿度一体化的传感器,该传感器以硅片为基础材料,用扩散法制成P—N结做测温元件,测湿元件是用高频溅射法制成的复合氧化物湿敏薄膜,湿敏膜的加热清洗可用敏感膜下面的扩散电阻加热器进行。这种一体化的传感器使用方便、响应快,且容易做到一致性和互换性。该传感器制作中完成了薄膜工艺与硅平面工艺的兼容和金属氧化物材料与硅材料的兼容。文章讨论了有机敏感机理、给出主要制造工艺和特性。     

正确测量环境湿度的方法

本文说明了湿度测量在工业生产中的重要意义,指出了正确的选择测湿仪器的标准,叙述了只有选择正确的安装方法、安装位置、注意温度的变化、及时对传感器进行校准和维修,才能实现对湿度的精准测量。     

湿度传感器电阻和电容分量测量方法的研究

高分子电阻型湿度传感器是一种有着广泛应用前景的新型湿度传感器，研究表明，对非纯电阻型湿敏元件，可将其等效为一电阻与电容的串联模型。文中提出了测量湿度传感器等效电路中的电阻分量只和电容分量C的实用方法，并介绍了该方法的工作原理，它是一种由传感器、标准电阻和运算放大器构成的负反馈电路。实验结果表明，该测量方法可用于精确测量湿度传感器的电阻及电容分量。     

湿度传感器技术展望

随着工业的发展,湿度监测已广泛地应用在仪器仪表、自动控制系统,农业、气候和环境等各个领域。文中以近十几年的文献资料为基础,介绍了目前利用电学、声学和光学各种不同原理制作的湿度传感器,比较了采用陶瓷,半导体、聚合物和纳米等敏感材料制备的湿度传感器对其灵敏度、湿滞,恢复和响应时间等的影响,给出了一些市场上流行的湿度传感器性能指标。并对未来湿度传感器产品应用、制造材料、工艺的趋势做了展望。     

固体聚合物电解质电容式湿度传感器

利用乙二醇对全氟磺酸固体聚合物电解质Ｎａｆｉｏｎ溶液进行改进，以增加其强度和稳定性。将改性后的电解质溶液涂在梳状碳纸电极上，制得了电容式湿度传感器。用两点温度法对制得的湿度传感器进行标定。在相对湿度为０．３～０．７范围内，传感器电容与相对湿度成良好的线性关系。     

提高湿敏电容测量精度的方法

高分子薄膜湿敏电容是目前湿度测量经常使用的传感器，其基本原理是在高分子薄膜的上下表面蒸镀一层微孔电极，构成一平行板电容器。当测量气体的相对湿度发生变化时，高分子薄膜在吸湿或脱湿过程中其介电常数ε变化，使湿敏电容的容量与被测气体的相对湿度近似为正比例变化，再将容量变化转化成频率信号即可测量相对湿度。但是，湿敏电容的灵敏度漂移较大，参数的一致性较差。如果硬件采用差频测量方法，并配合相应的软件进行数据处理，在一定程度可以消除传感器调理电路电源波动、环境温度变化、分布电容对测量精度的影响。     

气象观测领域湿度传感器性能分析

通过对高分子薄膜电容湿散元件、电测毛发、电阻式通风于湿表及过点湿度表的原理、结构、性能特点分析,指出了它们在气象观测领域中应用的优势和不足,提出了对当前气象遥测站选用湿度传感器的看法和建议。     

基于555多谐振荡器检测的碳纳米管湿敏传感器

针对使用仪器检测电容型碳纳米管湿度传感器的电容信号不利于传感器的使用与推广问题,提出了一种基于555多谐振荡式电路检测的电容型碳纳米管湿度传感器.首先,分析了传感器工作原理以及检测电路的检测原理,设计并制作了电容型碳纳米管湿度传感器;然后,分别使用仪器及检测电路对传感器进行测试;最后,对传感器响应时间进行了测试与分析....