玻璃扩散泵的新发展(二)

本文叙述一种新型的超高真空玻璃油扩散增压泵的设计思想及其特性的研究结果,泵的内径是 7 cm,在 1× 10-9乇至 5 × 10-3乇压强范围内保持抽速曲线平坦,加双层水冷帽后的平均抽速为150升/秒,泵的极限真空是 5 × 10-10乇,在 1× 10-3乇的最大前级耐压为1.2乇。新泵的特点是结构简单,极限真空高,工作范围很宽,返油率低。 引言 油扩散泵和油增压泵都是利用定向高速运动的油蒸气来排除气体,由于它们的结构不同和使用不同的工作液,因而其工作特性也就不同。油扩散泵的前级耐压较低,一般在0.3—0.76之间,但能在10-‘王以下相当宽的压强范围内保…     

真空油扩散泵及其设备泵液返流率红外光谱测定法

本文叙述了用红外光谱分析法对真空油扩散泵及其设备进行泵液返流率的测定。该方法简便、精度高。一般可测量泵液返流率达10~(-7)毫克/厘米~2分。它还可以测定真空系统中泵液返流率空间分布状态以及返流物质和来源。     

油扩散泵返油率的控制分析

基于真空系统油扩散泵的工作原理,分析油扩散泵返油的原因,总结出油扩散泵控制返油的方法;引用实例阐述如何查找返油原因;并根据具体原因采取具体措施,以降低油扩散泵的返油率。     

扩散泵返油主要原因的分析

返油是油扩散泵的最大弱点,且返油只能减少,不能根除。为了减少扩散泵返油,首先要搞清楚返油的主要来源,是怎样造成的。而后,方能采取相应措施,更有效地降低扩散泵的返油率。 一、扩散泵返油的主要原因 扩散泵的返油主要来自第一级喷咀出口附近的区域,这已为大家所公认。但是造     

最近油扩散泵技术的发展与实例

1、前言 近十几年来,油扩散泵在工艺上已有了显著的发展。近来,不使用液氮冷阱可获得10-9托的极限真空度,同一口径的泵抽速几乎提高了一倍;最大允许反压强及最大流量也大幅度地提高了,泵入口处工作液返油率已降低到10-3毫克/厘米2·分左右。 扩散泵性能的这些提高在很大程度上是依赖高性能的工作液(即常温下蒸汽压强在10-10托以下,在高温下不会引起热分解及氧化,在常温下具有适当粘度的工作液)的相继出现而实现的。 油扩散泵最伤脑筋的问题是工作液蒸汽的返流引起被抽系统的污染。油扩散泵所具有的许多优点都被这一缺点所掩盖了,因而出现了…     

玻璃扩散泵的新发展(Ⅲ)

本文对超真空玻璃油扩散泵获得大抽速作了一些分析,认为采取扩大泵的腔体和进气口径是克服玻璃材料强度差,获得较大抽速的两种好办法。并介绍了两种新型超高真空凸腔玻璃油扩散泵的设计和特性,泵的极限真空是1x10～-15乇,抽速分别是550升/秒, 850升/秒。 一、概述 油扩散泵增加抽速,除在结构上改进外,最有效的途径是扩大泵径。扩大泵径目的是为了使各级喷咀得到大的过流面积和大的进气口径,大幅度地增加油扩散泵的抽速。影响油扩散泵高真空抽速的主要部分是顶喷咀的过流面积,对顶喷咀来说,为了有利于气体分子的扩散,要求工作的蒸汽流是高速…     

玻璃油扩散泵的应用

扩散泵是一种利用高速定向蒸汽流喷射抽气原理制成的真空获得设备。按泵的构成材料来说可分为金属扩散泵和玻璃扩散泵两类,按使用的工作液来说又可分为油扩散泵和汞扩散泵。由于玻璃油扩散泵具有使用简便、造价低廉、制作简单、极限真空度高、返油率低、同时又无毒害等优点,使得它在工业生产和科学研究各部门获得了广泛的应用。但是由于玻璃油系存在着机械强度差,泵的抽速受到玻璃管道的限制等缺点,使得玻璃油泵只能够适宜于作为小容器的真空获得工具。在电真空器件、激光管、特种光源等的工业生产中,在各种科研的小容器超高真空实验装置中,…     

从第七届国际真空展看扩散泵产品的变化

评述现有国产扩散泵产品的进展情况,存在的不足之处,今后应努力改进的方向.讨论测量扩散泵返油率的几种方法,提出采用石英晶体振荡器测量扩散泵返油率的新建议.     

新型K-800A高真空油扩散泵的研制

介绍了新研制的高真空油扩散泵在拓宽抽气速率范围、提高临界前级压力、降低返油率方面的创新设计。给出了新研制的K-800A高真空油扩散泵各项技术指标的实测结果。     

JK型真空机组油扩散泵的修复

JK型真空机组主要由机械真空泵和油扩散泵组成,是高真空的获得设备。目前,在科研单位、学校、企业等都得到广泛应用。我厂从1977年起有14台JK──10(JK-200A)真空机组用于生产。 JK型真空机组工作时,机械真空泵是做为前级泵。在扩散泵工作前,使系统和扩散泵内达到一定的预抽真空度(≤5×10-2托)。在扩散泵工作中,把送到排气口的气体抽出泵体。扩散泵是获得高真空的主要设备。扩散泵加热后,泵内油蒸发,油蒸汽连续不断沿导流管经过备级喷阻得到高速蒸汽流。被抽容器的气体,由进气口扩散到蒸汽流中,即被高速蒸汽流迅速带走。蒸汽与其夹带的…     

金属油扩散泵的快速启动

本文着重对金属油扩散泵加热方式的改革进行研究分析。 半个多世纪以来,油扩散泵一直以超群 的生命力不断发展和完善着自己,特别是近年来随着多学科的不断发展,油扩散泵应用。之广泛是出乎意外的,这不能不归结于它的独特优点。尽管如此,油扩散泵仍然存在诸如返油率大、耗能高和启动时间长等不足之处。其实各国从事这方面研究的专家学者早已注意到这些问题。比如日本的大亚真空株式会社,为提高生产率缩短泵启动时间,用2～3倍的正常工作功率启动;美国NRC公司对VHS4、VHS6扩散泵启动时间也进行了一系列的研究工作。我所过去也曾进行过将管…     

高真空油扩散泵冷却水管新型焊接工艺

本文介绍了高真空油扩散泵一种新型的冷却水管与泵壁异种金属焊接工艺,通过焊接材料和焊接方法对比,并进行了大量试验验证,得出了此焊接工艺工作效率高,导热效果良好,并且消除了高真空扩散泵冷却水管易脱落,返酸等现象。     

扩散泵返油率在泵口平面的分布

扩散泵的返油限制了它的使用范围。用挡油障板阻挡油分子的同时，又将减小泵的抽速，这是一个矛盾。本文给出一种测量扩散泵返油率在泵口平面分布的方法。对返油率高的部分加以有效的阻挡，而低的部分留作抽气通导，这对设计低返油、大通导的挡油障板无疑是一种启迪。     

超高真空扩散泵用硅油的性能研究

使用油扩散泵获得超高真空，扩散泵油的蒸汽压、稳定性以及纯度是影响极限真空的主要因素。我们曾经对三种低蒸汽压硅油样品进行性能比较。编号ＤＣ—７０５（１），ＤＣ—７０５（２），它们为本所合成样品． ＹＧ ２７５为上海树脂厂产品。以及三个本所合成的副产物平４、平５及特６。通过测量极限真空、确定质量以及在操作上使用这种低蒸声压硅油应注意事项、防止污染、进一步提高真空度方法等给以报导，以供生产及使用各方面参考。     

新型玻璃水银扩散泵的研制(二)

玻璃水银扩散泵早在20世纪初就巳获得应用,但是当高性能的油扩散泵出现后,水银扩散泵除在一些特殊用途使用之外,一股就不再用了。 水银的蒸汽压在常温下为10-3托,欲得到压强低于10-3托的高真空,必须利用冷阱才能获得。因而操作繁杂,运转费用增加,特别是水银蒸汽对人体健康的危害和环境的污染是限制它广泛应用的主要原因。 但是水银扩散泵也有其独特之处,单原子的水银分子在高真空条件下不分解。而多原子的油分子则不同,会分解出一些碳氢化合物,使被抽系统受到污染,这对某些应用部门来说是不许可的。 近年来冷冻技术的飞速发展,液态氮和干冰…     

如何选择和使用涡轮分子泵

本文首先介绍了涡轮分子泵的工作原理,结构型式及其优缺点。为了利用涡轮分子泵,获得清洁真空,国外多利用干式机械泵作其前级泵,构成无油的真空系统。然而,目前国内涡轮分子泵多以油封机械泵为其前级泵,构成了有油真空系统,如果操作不当,很难避免油蒸汽返流,对真空系统的污染。利用有油系统获得清洁真空,国内外都有一些有效防止返流的措施和成功的操作经验。这些对用户正确选择和使用涡轮分子泵有油系统获得清洁真空,有一定的参考价值。     

φ200口径新型油扩散泵的研制

一、前言 科学技术、新兴工业的发展,要求真空技术相应发展。对于常用的油扩散泵的性能提高,尤以抽速和极限真空更为迫切,这不仅有技术意义而且有经济价值。其中的中、小型油扩散泵,用户较多,批量较大,更有直接的现实的意义。因此,我们选择K-200油扩散泵做为研究对象。在连接尺寸符合部标准JB1088-67并采用普通材料的情况下,争取在现有的技术基础上使泵性能有一个新的提高。经过一个阶段的研究试验,性能已得到如下的数据(参阅表1): 二、结构的选择 本结构的选择主要考虑提高下述两个重要性能指标: ①极限真空为10-8乇数量级。 ②在压强1×…     

机械泵的返油(节译)

3.机械泵的返油 (原文第一、二两节从略,以下编号顺序仍按原文──校注) 一个设计良好的扩散泵真空系统,即使在扩散泵进口采用高效液氮冷阱、也仍然会出现某种程度的碳氢化物污染。这种污染的根源一般都归因于扩散泵返油、但是实际上在大多数情况下都可以查到机械泵油的痕迹。 考察旋片泵在从大气压下开始工作直到达到其极限压强时在旋片泵扩散泵间联接管道内气流状态所发生的变化可以看出、在粗抽阶段(压强降至1毫巴以前)管路中高密度气流占绝对优势因而阻止了机械泵油向扩散泵方向的返扩散。可是,随着压强的下降,气流变为过渡态,蒸汽分子…     

玻璃扩散泵的新发展(I)

前言 玻璃扩散泵问世最早,自从盖德·朗缪尔·格劳佛等发明了玻璃扩散泵、水冷凝泵和平行喷射蒸汽泵后已有五十多年了,但是,由于后来金属扩散泵的迅速发展,使它在近十几年来发展极为缓慢,技术性能大大地落后于金属扩散泵。前几年,国内立式玻璃四级油扩散泵的出现,为玻璃油扩散泵的设计提供了新的途径。玻璃具有低的化学活动性、清洁,容易获得绝对不漏的焊接,加之制造和使用又很简便,用来制造50—1000升/秒抽速范围的超高真空油汞扩散泵是很适宜的。玻璃超高真空扩散系已在实验室,电真空器件工厂等方面得到广泛而普遍的应用。所以,玻璃扩散泵…     

扩散泵的世纪回顾与发展

本文叙述了盖得的发明专利,从初期的汞扩散泵到分馏油扩散泵的演变过程.讨论了泵体结构、喷咀型式、泵油性能和几个关键技术问题.现代油扩散泵的何氏系数达0.65以上,返油率达10-5 mg/cm2·min,1 kW功率抽气量可达200 Pa L/s.最后对泵的性能、结构和应用前景作了展望.