准分子激光器微细材料加工

通过光蚀刻进行材料去除，是利用准分子激光器使塑料、陶瓷、玻璃；金属、半导体及复合材料结构成型的基础。去除的深度达到每个脉冲几纳米至几微米，它取决于材料、波长和能量密度等。如使用紫外辐射，则结构的尺寸可达到微米和亚微米级，而不至烧坏其余的材料。     

紫外激光微细加工的优势

二极管泵浦的Q开关固体激光器现已广泛应用于加工业．如半导体电子器件、印刷电路板、陶瓷和塑料等器件的加工。激光器在工业加工中应用范围之广意味着激光器制造商必须根据波长、功率、重复率、脉冲宽度、峰值功率扩大其产品生产的范围。目前在加工领域，激光器的研究和     

利用准分子激光器进行微细加工的现状及展望

由于激光经射束聚焦可获得极高的能量,故广泛地用于各种加工.其中,准分子激光器与其它波长较长的激光器(如二氧化碳激光器、YAG激光器)相比,被认为最适于微细加工,其特点:①被加工物为高分子材料时,采用以烧蚀现象为主的加工工艺.②因属短波段,故分辨率非常高,可实施100μm以下的打孔.③采用干刻加工工艺,可使前后工序简单化.采用准分子激光器进行微细加工、尤其是近来对印刷电路板的打孔加工引起人们的关注.以往采用钻孔加工,要使孔直径在     

用于微细加工的CO2激光器

最近DEOS公司的工程师们向人们展示了亚微秒激光脉冲的微细加工能力。光脉冲从密封的CO2激光器平台发出,利用新颖的Q开关技术产生150ns的脉冲。用该种激光器加工的几种材料展现了非常好的性能,如较好的成形,清洁的边缘,很好的持续性,以及最小的热影响区。     

微细加工设备与工艺的发展研究

阐述了发展微细加工设备是发展微电子产业的基础和先行。微细加工设备在军事上的应用、光刻制版和光学制版设备的技术突破及发展趋势。     

光学微细加工设备及工艺的进步与微电子技术的高速发展

本文根据多年来光学微细加工技术的发展情况评述了光学微细加工目前及未来在微电子产业中的战略地位。并对光学微细加工设备涉及到的关键技术进行了系统分析。最后,作者从行业角度出发,就如何高速高效发展我国的光学微细加工技术提出了几点建议。     

光学微细加工技术的发展和我所的历史使命

<正> 光学微细加工技术的飞速发展 目前,世界微电子器件正朝着高集成化、高功能化和高可靠性的理想境界发展,不断缩小图形线宽,增大晶片尺寸,采用新的设计结构,从而导致微细加工设备更新速度加快。半导体工业的附加值和技术含量正不断移向微细加工领域,设备的作用越来越重要,半导体设备工业已成为向整个半导体     

利用准分子激光器对多层基板进行微细打孔的加工系统

最近,随着移动体通信及多媒体仪器的问世,印刷线路板正在向多层化、高密度化方向发展.以往,印刷线路板间布线用的打孔,通常是用对感光树脂进行曝光现象的方法加工成的.而目前,利用准分子激光器取代上述方法进行加工引起了人们的关注,其理由是:(1)能实施以往被认为比较困难的微细(几十毫微米)、高纵横比(1～4左右)加工.     

新材料拓宽了900nmDPSS激光器的应用领域

波长为900nm的固体激光器产生的二次谐波使其有希望实现那些要求蓝光波长输出的各种应用，如生物医学仪器，图形复制设备和显示器等。900nm波长激光器在紫外波段产生的基谐波、三次谐波和四次谐波也可满足很多应用的需要，诸如水蒸气光探测和测距（雷达）、臭氧差分吸收激光雷达以及紫外共振喇曼光谱分析等。最近对非线性晶体的研究又取得了新进展，获得了比现有激光系统的输出功率更高的蓝光和紫外光以及更高的转换效应，这使人们对900nm波长激光器的谐波研究再次产生兴趣。     

LD端泵全固化紫外激光器

文章围绕全固态355nm紫外激光器进行了理论和实验研究,根据相位匹配原理,晶体相位匹配特点及其光学特性,选用了LBO/LBO晶体,三混频LBO晶体在输出面采用布儒斯特角切割,对于对P偏振方向的基频光和紫外光具有高透过性,同时起到分光作用,由于不用镀膜,明显地降低了紫外激光对于晶体的损伤.采用声光调Q技术,在LD单端泵功率为27W,重复频率为20kHz时,获得了平均功率为1.85W、脉宽为11ns的355nm紫外激光输出.     

有机材料激光器研究的进展

从谐振腔结构和材料两方面,对有机材料激光器的研究进展和发展方向作了综述与分析。     

半导体激光器与新材料

介绍了半导体激光器和半导体光电材料研究的新进展。     

几种新型多波长光纤激光器

综合报道几种新型多波长光纤激光器 ,并对这些激光器的机理、实验装置和研究结果进行了详细介绍 ,对今后多波长激光器的发展方向作一展望。     

电子辅料常见的几个质量问题

论述了电子辅料检测以及电子焊接失效分析工作中的几个常见于电子辅料，主要是助焊剂、焊料与清洗剂中的质量问题，以及这些问题对所组装的电子产品可能带来的质量与可靠性问题，以引起有关方面的关注。     

新型长波长半导体激光器材料GaInNAs

对新型长波长半导体材料GaInNAs进行了述评.通过材料性质的介绍,表明GaInNA s材料是一种很有前景的长波长半导体材料.同时介绍了目前GaInNAs材料的几种主要制备手段并进行了比较,指出了目前MOCVD生长GaInNAs材料存在的难点.介绍了目前国际上基于GaInNAs材料的长波长VCSEL的器件研究情况.     

LD泵浦的M-NYAB自倍频激光器

本文报导一台LD泵浦的M-NYAB自倍频激光器。它的性能比至今已见报导的LD泵浦的NYAB自倍频激光器的更好,阈值泵浦功率低三分之一以上,全部可以得到基横模运转。本文简单报导实验结果。     

孤子激光器最新进展

本文系统地综述了国外发展很快的孤子激光器和有关光孤子源的组成，原理及其应用，着重介绍了近年来的新成果。最后讨论了该研究领域今后的发展方向。     

第二类新光束激光

将突变反射率光腔用于高功率CO2激光器上，产生耦合模，具有多功能的特点。