数字电影滤光反射镜光谱设计

为了满足数字电影光学系统色温要求及提高光源能量利用效率,降低设计及光学薄膜镀制难度,计算了色温变化小、光源利用效率高的可见光高反射光谱波段。根据椭球滤光反射镜的工作原理及滤光薄膜的光谱特性,结合氙灯光源光谱及人眼的视觉函数,分析了可见光不同光谱波段对系统光效率及色度坐标的影响。获得了可见光波段光效利用率高,色度参数变化小的波段范围,解决了数字电影反光镜滤光薄膜可见光高反射波段初始设计问题。由滤光薄膜设计及镀制结果得到,405～690nm波长范围可作为数字电影滤光反射镜薄膜高反射区域,相比与氙灯光源光谱,x、y色度偏差不超过0.001,理论反射光光效率达99%以上。     

35mm座机冷反光镜的镀膜

用电子枪蒸镀TiO_2～SiO_2,用补偿挡板修正膜层厚度分布,在真空室直径为450mm的镀膜机中镀制了口径为300mm和350mm深椭球面型的35mm电影放映座机用的反光镜上的冷反光膜。膜层牢固、防潮、耐高温、化学性能稳定、光、色、温效果良好。     

近紫外区宽带反光镜的膜系优化设计与制备

依据紫外光学系统中紫外反光镜的使用要求,并结合汞灯发光光谱,提出了R93%@300~450 nm(R为反射率);T_(avg)85%@500~1 000 nm(T_(avg)表示平均透过率)的近紫外区宽带高反射率的设计指标。选用Ta_2O_5和SiO_2分别作为高低折射率材料,并采用正交试验法确定了Ta_2O_5和SiO_2膜料的折射率、消光系数和制备工艺参数。在规整周期性膜系的基础上,利用膜系设计软件进行优化设计,同时分析了膜层的敏感度,保证了镀制的可重复性。通过曲线测试和环境试验结果表明,该膜系满足设计使用要求。     

望远镜红膜物镜色度设计与检验初探

在红膜的设计与镀制过程中，由于影响薄膜的因素较多，因而实际镀制的红膜其反射颜色是不一致的，造成了红膜标准的多样性。为此本文将从色度计量方面给出设计的具体要求，即从光谱特性曲线计算红膜物镜的透射色度和反射色度；ＸＹＺ表色系统的色度座标值（Ｘ、Ｙ、Ｚ）及其取值范围，色饱和度的大小，检验时的光路、光源等。     

冷反光镜镀膜前超声波清洗方法

一、前言当前,电影放映系统(包括座机,流动机),已普遍采用了新型的电光源——氙灯,而相应配套的反光镜,也改成了由氧化物TiO_2-SiO_2多层冷反光膜涂层的反光镜。这种膜层牢固,稳定性好的反光镜,其使用寿命成倍地增长,因而深受欢迎。镀膜前基片的清洗处理是冷反光镜生产的主要工序之一。基片要经过严格的清洗,才能保证冷反光镜膜层的牢固度。目前,我国生产大尺寸冷反光镜的清洗方法仍采用手工擦洗,这不仅劳动强度高,而且还不能保     

陷波滤光片的类褶皱设计

针对当前陷波滤光片设计方法中,因需要大量薄层和折射率连续渐变而导致的制作难度较高的问题,介绍了一种陷波滤光片的类褶皱膜系设计方法。此方法中,每层薄膜的层内折射率不变,层间折射率呈离散型渐变,每层为1个光学厚度,膜系模拟计算的光谱很好,并可降低制造工艺难度。给出了膜系的基本结构形式,并分析了其中各参数对陷波滤光片光谱的影响,指出了参数变化对光谱影响的基本规律。通过对典型膜系设计,模拟分析了膜厚偏差和折射率偏差对光谱的影响。结果表明,膜系对膜厚偏差更加敏感,为膜系镀制工艺中的误差控制提供了理论依据。     

用X射线反射测量法表征双层结构中 低原子序数材料的特性

介绍了用X射线反射测量术表征双层薄膜中低原子序数材料特性的方法。由于低原子序数材料的光学常数与Si基板材料的光学常数非常接近,用X射线反射法确定镀制在Si基板上的低原子序数材料膜层结构的变化十分困难,因此,提出了在镀制低原子序数材料前,首先在基板上镀制一层非常薄的金属层的方法。实验中,选用Cr作为金属层材料,制备并测试了三种不同C膜镀制时间的Cr/C双层薄膜。反射率曲线拟合结果表明,C膜密度约为2.25 g/cm³,沉积速率为0.058 nm/s。     

用脉冲多弧离子源研制镍铬铁合金膜

介绍了采用脉冲多弧离子源镀制镍铬铁合金膜的新技术,研究了采用这一新技术镀制镍铬铁合金膜的镀制工艺,对采用这一新技术所镀制的镍铬铁合金膜进行了性能测试。结果表明：选用合适的工艺参数,采用这一新技术镀制的镍铬铁合金膜膜层均匀,牢固度好,膜层成分与脉冲多弧离子源阴极靶材成分含量误差小于±３％ ,符合实际应用要求     

透红外冷反射镜的研制

本文介绍一种透红外冷反射镜反光杯（碗）的光学设计、光学薄膜膜系设计和镀制工艺,特别介绍镀制工艺中膜层的均匀性、冷光膜的重复性、牢固性等的影响因素和解决办法。     

用脉冲多弧离子源研制镍铬铁合金膜

介绍了采用脉冲多弧离子源镀制镍铬铁合金膜的新技术,研究了采用这一新技术镀制镍络铁合金膜的镀制工艺,对采用这一新技术氙镀制的镍络铁合金膜进行了性能测试。结果表明：选用合适的工艺参数,采用这一新技术镀制的镍铬铁合金膜膜层均匀,牢固度好,膜层尬发与脉冲多弧离子源阴析靶材成分含量误差小±３％,符合实际应用要求。     

Quantification of the Thickness of Carbon Transfer Films Using Raman Tribometry

A method to quantify transfer film thickness of diamond-like nanocomposite (DLN) coatings during sliding is presented. Previously, we showed that as the transfer film thickened then thinned, Raman carbon spectra evolved from that of the coating, to the transfer film, then back again to the coating. In this paper, the transfer film thickness is quantified using Raman spectra with stylus profilometry and a light-scattering model based on Beer's Law. Non-linear least-square fits of Raman intensity versus thickness data of several transfer films gave an optical mean free path of 500 nm. The model was also used to quantify transfer film thickness between 10 and 960 nm from the Raman intensity (at a given frequency) of the combined coating–transfer film spectrum. Finally, the model was applied to in situ spectra during sliding to establish a thickness at which a transfer film wore through causing a rise in friction.     

数字滤波在光学镀膜宽光谱监控中的应用

使用CCD(电荷耦合器件)进行光学镀膜宽光谱监控过程中,监测信号受外界杂散光干扰、真空室内背景辐射等因数影响,信噪比低,难于准确监控。在对系统前端光路改造的基础上,采用了数字滤波技术对后期数据进行处理,达到信号压噪目的。实验证明该宽光谱膜厚监控系统具有稳定性好、精度较高、响应速度快等优点。     

基于宽光谱的嵌入式膜厚监控系统

为了实时准确监控光学镀膜膜层厚度,基于宽光谱扫描法,结合嵌入式控制技术,开发出一套以ARM9与Linux系统的高效嵌入系统为基础,应用于光学镀膜工艺过程监控镀膜层厚度的监控系统。本系统能通过在薄膜生长过程中实时、高精度地测量其宽光谱特性,对镀膜过程进行自动控制。详细阐述了该系统的工作原理、硬件系统和软件系统,实验结果表明,系统具有较高的监控能力,性能稳定。     

中红外双通道滤波器的研制

针对中红外目标探测需求,采用多个截止带拼接的设计方法,结合TFCal膜系设计软件优化各个膜层厚度,得到了中红外双通道滤波器膜系。通过对膜系敏感层的分析,将总膜系分成两个膜系进行镀膜,成功制备出2.7~3.0μm和4.1~4.4μm双通道滤波器。得到的样品在2.7~3.0μm波段平均透过率为73%,在4.1~4.4μm波段平均透过率为81%。该方法提高了膜系设计效率,减少了膜层数和总厚度,可解决膜系过厚带来的开裂和脱膜等问题,节约了镀膜时间和成本。     

对在复制轻质金属反射镜上镀红外8～14μm反射膜的探讨

针对复制轻质金属反射镜的构成特点,采用镀膜技术解决了该镜在实际应用中的问题,使零件可在恶劣环境中长期正常工作,镜面经得起高速旋转时大气流的冲刷,在红外８～１４μｍ 波段镜面反射率ρ＞ ９８％ ,可达到９９％ 。     

高质量非规整多层膜自动制备的研究

为解决专门制备DWDM薄膜滤光片的LeyboldAPS 1104DWDM镀膜机制备包含几十层膜层的非规整膜系存在一定困难的问题,分析了非规整膜系光控曲线中关键区产生的原因,认为这是触发点位置与非理想环境因素共同作用造成触发点漂移产生的结果.误差校正功能的实现与监控曲线的走值趋势密切相关,曲线必须存在理论触发点和至少一个拐点.实验结果表明,采用准规整膜系设计方法能有效避免关键区的危害,同时充分发挥误差校正的功能.利用该镀膜机在精度、灵敏度和算法等方面的优势,设计出了与其配套的膜系,成功地制备了各种高性能薄膜滤光片.     

硫化锌基底上减反膜的镀制

硫化锌是红外波段重要的光学材料 ,在许多光电系统应用中 ,要求镀制适当的减反膜增加其透过率。介绍了硫化锌基底上的减反膜 ,该设计是用薄的氧化钇层作为与硫化锌的结合层 ,用一氧化硅和锗分别作为低、高折射率膜料的膜堆组成的。这种五层膜满足环境稳定性标准 ,在 3μm～ 5 μm波段的某应用范围内平均透过率即可达 96% ,并在 4.2 μm处有超过 98%的峰值透过率。     

双重膜厚监控在中远红外光学镀膜工艺中的应用

为提高中远红外增透膜镀膜工艺中膜厚监控的精度,对石英晶振监控和光学极值法监控进行了对比研究,分析了两者的优缺点。通过对两种监控方法的结合,在镀膜工艺中应用一种新的薄膜厚度监控方法——双重监控法。该方法适合于监控中长波段红外光学薄膜的沉积,提高了膜厚监控的精度。