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氩气与氮气流量比对磁控溅射法制备TiN薄膜的影响 总被引:5,自引:0,他引:5
用直流反应磁控溅射法在Si(100)基底上制备了TiN薄膜,采用X射线衍射仪和原子力显微镜对其结构和形貌进行了表征,利用四探针测试仪测量了TiN薄膜的方块电阻,使用紫外可见分光光度计测定了薄膜反射率;研究了溅射沉积过程中氩气与氮气流量比对TiN薄膜结构及性能的影响.结果表明:在不同氩气与氮气流量比下,所制备薄膜的主要组成相是(200)择优取向的立方相TiN;随着氩气与氮气流量比的增加,薄膜厚度逐渐增大,而表面粗糙度与电阻率先减小后增大;当氩气与氮气流量比为15:1时,薄膜表面粗糙度和电阻率均达到最小值;TiN薄膜的反射率与氩气与氮气流量比的关系不大. 相似文献
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采用氩放电检测器气相色谱仪分析了氩气纯度。结果表明,仪器测量灵敏度、精密度较好。讨论了使用中应注意的问题。 相似文献
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建立了一次进样分析氩气中的碳、硫化物信号和质量数丰度值与比值的方法,并可获知单位氩气内不同质量数的分子、原子分布20,Ar≈3.28%;36 Ar≈0.17%;37 Ar≈0.09%;40 Ar≈62.6%;41 Ar≈33.84%;42 Ar≈0.02%。 相似文献
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研究了用气相色谱电子捕获检测器(GC-ECD)和气相色谱热导池检测器(GC-TCD)测定发射药老化后N2O含量的方法。考察了电子捕获检测器和热导池检测器对N2O含量的不同测量范围和不同固定相以及不同色谱条件对测定的影响。采用GDX-104为固定相的色谱柱和热导池检测器,对不同批次发射药老化后样品中的N2O含量进行了测定。结果表明,N2O的色谱保留时间在1.6min左右,4批老化后发射药样品中的N2O含量分别为376.8、264.7、1036和1812μL/L,RSD分别为4.11%、2.64%、3.87%和0.78%。 相似文献
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利用气相色谱法跟踪测定发酵液产氢含量 ,对微生物发酵农作物秸秆产氢菌种进行筛选。实验结果表明 ,C3(产气肠杆菌 ) ,M1(麦芽糖假丝酵母菌 ) ,H4[C3 +M 1+D2 (丁酸梭菌 )混合菌 ]是较好的产氢菌种 ,所产氢气的体积分数分别为C3( 6 0 0 4% ) ,H4( 5 9 4 1% ) ,M 1( 11 2 7% )。色谱柱为TDX 0 1( 2m× 0 .5mmid) ,鉴定器为TCD ,柱温 10 0℃ ,载气Ar 40mL/min。方法操作简单 ,快速方便 ,重现性好 ,灵敏度高。 相似文献
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目的:研究采用加速溶剂萃取法提取土壤中的阿特拉津、百菌清、溴氰菊酯和环氧七氯微量残留,气相色谱-电子捕获检测器法定量检测的分析方法。方法:采集某地土壤样品,风干后,打成细粉,取粉碎后的土壤样品约12 g,置萃取池中,用环己烷进行萃取,萃取液氮吹至近干,加1mL乙腈溶解,涡旋1 min后滤过,上气相色谱仪定量检测。结果:阿特拉津、百菌清、溴氰菊酯和环氧七氯浓度范围0.01~8.0μg/mL内线性关系良好,相关系数均不低于0.995;检出限在0.006~0.010 mg/kg范围内;加标回收率在84.1%~92.3%之间;重复性RSD分别为2.85%、3.19%、2.77%和3.47%。结论:结果表明,方法具有操作简单、检测准确等特点,可以用于土壤中微量农药残留的检测。 相似文献
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建立了食品中熏蒸剂氯化苦的毛细管气相色谱测定方法。样品用乙醇提取,提取液经C18和N-丙基乙二胺固相吸附剂净化后,用正己烷进行反萃,配电子捕获检测器的气相色谱测定。样品的平均添加回收率介于74.9%~98.9%,相对标准偏差(RSD)在0.5%~3.2%之间,定量限为0.01 mg/kg。该方法简单、快捷、灵敏度高、重现性好,可用于食品中氯化苦的检测。 相似文献
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介绍了裂化催化剂微反活性指数的气相色谱分析方法.实验中,采用SP-3420A型气相色谱仪对标准原料油中汽油含量的百分数和油样微反活性指数进行测定,取得了满意的效果. 相似文献
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尿素工艺对脱氢反应器出来的CO2气体中的H2含量有严格要求,采用SP-9800气相色谱仪对其定量分析,取得了很好的效果。 相似文献
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顶空气相色谱法测定食品中溴甲烷的含量 总被引:2,自引:0,他引:2
以顶空气相色谱法结合μ-ECD(徽池电子捕获器)检测器测定食品中溴甲烷,利用盐析作用使用饱和氯化钠溶液浸润样品,更利于溴甲烷挥发至气相,优化平衡时间30min,同时优化气相流速1mL/min时,目标物甲基溴有较高的响应。方法线性范围在10μg/kg~500μg/kg,线性相关系数0.996,最低检测限0.01mg/kg。添加标样10μg/kg和50μg/kg,回收率在71.6%~92.1%之间,变异系数为4.11%~5.55%。 相似文献