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讨论了皮秒脉冲激光微细加工时半导体中电子-空穴等离子体的作用及动力学特性,指出高密度电子-空穴等离子体使半导体的介电和光特性发生了显著变化,通过测量材料表面反射比的实验表明,它与热熔化模型比较符合,等离子体将能量瞬时转换给晶格,加热晶格到熔点,从而进行微细加工。 相似文献
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徐国昌 《真空科学与技术学报》1997,(2)
讨论了皮秒脉冲激光微细加工时半导体中电子-空穴等离子体的作用及动力学特性。指出高密度电子-空穴等离子体使半导体的介电和光特性发生了显著变化。通过测量材料表面反射比的实验表明,它与热熔化模型比较符合,等离子体将能量瞬时转换给晶格,加热晶格到熔点,从而进行微细加工。 相似文献
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在激光的传输光路中加入掩模板,采用纳秒脉冲激光对水下靶材进行了掩模微细刻蚀加工,与飞秒激光微细加工相比可显著提高加工效率,加工精度由掩模保证.在所构建的试验系统中,分别在空气中、纯水中和盐溶液中进行了加工试验,在水流的作用下,激光辐照的多余热量被带走,加工边缘热影响区明显减小.同时,水下激光辐照还会在加工区域造成光学击穿,产生等离子体冲击波,在水层的约束限制作用下,加工表现出了明显的冲击波力学效应.通过这种热-力学的复合效应,使金属材料表面产生材料去除和变形的加工效果.最终在质量分数为15%的NaNO3的溶液中,利用热-力学效应和化学反应的复合作用,实现了线宽120μm左右、热影响区小、成形精度较好的微细刻蚀加工. 相似文献
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大直径测量点的瞄准和定位是国内外部未能很好解决的技术难题,是实现大直径高精度测量的关键.本文提出一种新型瞄准定位方法,并介绍由此瞄准定位系统和双频激光干射仪构成的激光大直径测量系统的原理,给出了500mm直径对比实验结果,表明测量系统的不确定度优于5×10-6. 相似文献
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电解液流体辅助激光打孔温度场仿真 总被引:1,自引:0,他引:1
根据电解液流体辅助激光打孔加工的特点,建立了加工过程的热力学模型,模型考虑了激光束空间分布和材料相变潜热对孔的影响,给出了小孔的温度场瞬态分布和界面演化过程.在应用ANSYS有限元软件中重启动及生死单元技术并结合APDL语言编程的基础上进行了打孔过程的温度场仿真分析,给出了不同工艺参数对孔形的影响规律,为实际电解液流体辅助激光打孔实验选择最优工艺参数提供了理论参考. 相似文献
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随着经济的不断发展,对产品的精度要求越来越高,对计量仪器的要求也越来越高,这其中也包括对影像测量仪的要求.文章介绍了一种以激光为主要基准的极坐标测量系统,能大幅提高影像测量仪的精度. 相似文献
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现如今,我国经济实力得到快速发展,综合国力得到了快速的提高。各项领域都取得了一定的成就。经济在一定程度上也取得了不错的发展。我国在各项领域中,激光领域的发展获得了突出的地位。从我国成立至今到现在,人们对于技术的追求越来越渴望,随着人们生活水平的提高,人们对于生活质量的追求也越来越高标准。所以说我们要想取得更加长远的进步,就要从科技上入手。我国激光位移测量系统在长度计量技术在最近几年获得兴起,并且在逐渐获得完善,本文主要对其中激光位移测量系统进行技术应用的研究。 相似文献
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