微流体系统驱动技术的研究进展

微流体驱动大致可以分为两类:一类是从宏观流体驱动移植过来的驱动方式;另一类是根据微尺度下流体特性设计的驱动方式。对两类不同的驱动方式进行了介绍与比较,前者原理成熟,基本都符合经典流体理论,在亚微米以上级微流体流道尺寸中的应用较广;相比之下,后者设计原理新颖,常用于微米甚至纳米级的微流体系统中,具有更好的发展前景。     

基于MEMS技术的微流体混合器及相关技术

介绍了基于MEMS技术的微流体混合器及相关技术,给出了各种微流体混合器的结构、原理和特点,同时对微管道中流体混合的仿真、实验技术以及微管道中微量流体混合程度的评价方法等作了概述。     

基于免疫微传感器的微流体系统

作为提高免疫微传感器一致性及稳定性方法极型免疫微传感芯片的基础上,设计和制备微反应室以及微进出样沟道,以期利用微流体系统配合完成敏感膜固定化及免疫检测过程,探索提高生物敏感膜固化的稳定性和一致性,提高免疫微传感器检测一致性的技术和方法.设计了不同结构的微流体结构,并通过软件对不同结构对免疫检测过程所带来的影响进行了分析和比较.该研究对于面向应用的微型免疫生物传感器的研制有着重要的研究意义和实用价值.     

基于免疫微传感器的微流体系统

作为提高免疫微传感器一致性及稳定性方法的关键研究内容之一，在MEMS工艺制备的电极型免疫微传感芯片的基础上，设计和制备微反应室以及微进出样沟道，以期利用微流体系统配合完成敏感膜固定化及免疫检测过程，探索提高生物敏感膜固化的稳定性和一致性，提高免疫微传感器检测一致性的技术和方法。设计了不同结构的微流体结构，并通过软件对不同结构对免疫检测过程所带来的影响进行了分析和比较。该研究对于面向应用的微型免疫生物传感器的研制有着重要的研究意义和实用价值。     

基于免疫微传感器的微流体系统

作为提高免疫微传感器一致性及稳定性方法的关键研究内容之一,在MEMS工艺制备的电极型免疫微传感芯片的基础上,设计和制备微反应室以及微进出样沟道,以期利用微流体系统配合完成敏感膜固定化及免疫检测过程,探索提高生物敏感膜固化的稳定性和一致性,提高免疫微传感器检测一致性的技术和方法。设计了不同结构的微流体结构,并通过软件对不同结构对免疫检测过程所带来的影响进行了分析和比较。该研究对于面向应用的微型免疫生物传感器的研制有着重要的研究意义和实用价值。     

基于MEMS的微泵研究进展

基于微加工技术的微流体系统是微机电系统(MEMS)的一个重要分支,可广泛应用于航空航天、生物、医学、化工、电子等领域。本文主要综述了微流体系统中的微型泵结构、工作原理以及国内外研究现状。     

MEMS的前景

微机电系统(MEMS)在研究领域已经有很长历史了,但一直没有真正进入大规模产业化阶段.而现在将硅芯片和微机械结构结合在一起的光学元件为MEMS带来新的商业机会.MEMS热了起来,各种新起步的MEMS公司开始吸引大量的风险资金.一些在此领域已经发展了数年的公司宣称自己开始得到回报,甚至已经赢利.但业内人士认为MEMS元件仅仅是刚开始从实验室走向实用,对许多半导体公司来说,MEMS业务最终能否取得成功的关键在于他们如何充分利用在IC方面获得的设计、制造和市场经验.     

用于光波网络的微机电系统(MEMS)和微光机电系统(MOEMS)

硅微型机械是个新兴领域，它正使几乎每一科技领域都变得紧凑。在各种领域中，如化学，汽车，细胞和光通讯工业，硅微型机械正成为许多问题解答的选择，本文介绍什么是微机电系统，它们如何制造以及它们对光波网络系统革命有怎样的潜力，正如光开关，可变吸收体，主动平均器，加/减多路传输器，光交叉互连，增益倾斜平衡器，数据传送器和许多其他元件，正开始在先进光波系统中寻找无所不在的应用，本文将给出这些器件的例子，并描述这种技术可能有数十亿美元市场中所面临的一些挑战。     

无线通信系统中的MEMS天线

本文分析了常见的MEMS天线及其应用,包括多对称锥形弯曲缝隙微带天线、用于WLAN中的微尺度宽频天线、开关式微机械毫米波天线、微机械自适应贴片天线等,对这些天线的结构原理、制造方法及其性能做了分析。这些天线设计简单、可用CMOS工艺制造、利于集成,兼有宽频、高辐射效率、小尺度等优点。但相对普通天线而言,这些制造工艺明显复杂、尺度更微小,增加了实现难度,要实现MEMS天线批量应用,还需要在基础理论及其微细工艺进行研究。最后,对MEMS天线在无线通信系统中的应用作出展望。     

Thermal issues in MEMS and microscale systems

Transduction mechanisms involving thermal phenomena play a central role in a wide range of microelectromechanical systems (MEMS) applications. An overview of a subset of thermal issues in MEMS technology is presented, including a discussion of traditional and emerging applications for microscale thermal systems. Issues relating to fundamental limitations and opportunities in thermal microsystems are presented. The use of thermal phenomena in three specific microsystems is reviewed, namely microhotplate chemical sensors, microfluidic systems, and electrothermal micromotors. Future directions in microscale and nanoscale thermal systems are presented.     

Polydimethylsioxane fluidic interconnects for microfluidic systems

This paper presents novel polydimethylsioxane (PDMS) based interconnects for microfluidic systems with a low dead volume. Through-hole type and "/spl lceil/" type PDMS interconnects have been designed, fabricated, and tested for glass and plastic capillary tubing. Oxygen reactive ion etching and epoxy bonding methods are employed to bond PDMS interconnects to different substrate materials including silicon, glass, polymer and other thin film materials. Leakage pressure, leakage rate, and pull-out force are characterized for these interconnects. For reusable PDMS interconnects, the maximum leakage pressure reaches 510 kPa (75 psi) and the maximum pull-out force is about 800 mN. For nonreusable PDMS interconnects, the maximum leakage pressure is found to be 683 kPa (100 psi) and the maximum pull-out force is 2 N. For both types of PDMS interconnects, the leakage rate test demonstrates that the leakage is not detectable at a working pressure of 137 kPa (20 psi).     

射频微电子机械系统的发展与展望

介绍了射频微电子机械系统 ( RF MEMS)的最新进展、研究内容及应用前景。该系统装置包括开关、继电器、电容器、电感器、滤波器及微波和毫米波元件。     

MEMS技术的发展与应用

主要介绍了MEMS技术的背景、分类、应用、发展趋势。     

微电子机械系统的研究进展

本文从微电子机械系统（MEMS）的基本加工技术和MEMS器件等方面介绍了MEMS的发展过程;综述了国内外MEMS加工技术,特别是新型MEMS器件与系统方面的最新研究进展,介绍了欧美日等发达国家和我国为MEMS的发展所作的努力,提出了“只有产业界及时介入才是中国MEMS研究的唯一出路”。     

MEMS微陀螺仪研究进展

回顾了MEMS微陀螺仪的研究进展,简单介绍了MEMS微陀螺仪的市场应用。微陀螺仪是MEMS器件中非常重要的一类器件。它的运用已经从单纯的航空领域逐渐转向汽车、消费电子行业等低端市场,这意味着微陀螺仪除了传统意义上的高精度高稳定性的要求,也可以向低精度商品化发展。传统的振动式陀螺,由于原理的局限性和加工技术的限制,很难达到战术级和惯性级的要求。导航级集成微陀螺(NGIMG)项目建议使用其他途径,以减少器件的可移动部件和降低工艺难度,从而提高其精度和抗干扰能力。各种设计方法近年来层出不穷,其中悬浮转子式微陀螺是目前精度最高的陀螺仪,微集成光学式陀螺也将在未来一段时间拥有巨大的研究潜力和发展空间。     

军用MEMS箭在弦上

MEMS(微电子机械系统)融合了微电子与精密机械制作技术，主要包括传感器、执行器，以及信号处理与控制电路，是系统集成芯片的一个发展方向。MEMS在军事应用中也有十分广阔的前景，正成为国防科技发展的一条新途径。迄今为止，军事装备上大量采用MEMS尚不多见，但其研发涉及范围相当广泛，军用MEMS已是箭在弦上。射频元器件射频介于100KHz至100MHz，但通常指的是100KHz到300GHz的射频、微波和毫米波的频率范围。在射频应用中，MEMS的研究目标为实现集成在单芯片上的射频系统。现基于MEMS的开关、滤波器、可变电容、电感器等射…     

MEMS技术现状与发展前景

介绍了微电子机械系统（MEMS）技术的发展现状、加工工艺及产品市场。结合MEMS材料与加工技术,讨论了MEMS产品的封装技术及存在的问题,展望了MEMS技术的发展前景。     

RF MEMS封装的研究与发展

本文介绍了RF MEMS封装的分类、特殊性和基本要求。根据RF MEMS封装的基本要求,文章从封装材料、封装结构、焊接技术、电连接技术和封装新技术等方面介绍了RF MEMS封装的研究与发展现状。