基于基片集成波导的湿度传感器设计

采用了边界积分谐振模式展开(BI—RME)方法和Floquet定理相结合的方法,对基片集成波导(SIW)结构进行设计,并利用电磁带隙对敏感区进行构建,用空腔微扰法分析.根据湿度对介电常数的影响引起频率偏移的原理,对谐振器的谐振频率和信号幅度进行测量.实验结果表明:用SIW设计的谐振器的湿度范围为11％～97％RH,灵敏度为13.371～46.51 kHz/RH,设计的新的微波器件具有较好的研究意义和测量效果.     

基片集成波导滤波器的设计

从设计指标出发,采用基片集成波导结构,研究并设计了一种小型化的滤波器。通过采用四分之一基片集成波导谐振器,实现了整体电路的小型化。通过引入微带谐振器,在频带高端引入一个传输零点,提高了滤波器的选择性。滤波器的中心频率设置在3.6GHz,通带的带宽为400MHz。     

基片集成波导多模宽带天线研究进展

基片集成波导由于其自身的独特优势,低剖面、易制作且易于平面电路集成,在天线中应用广泛。多模宽带、可重构、多输入多输出是当前天线发展的主要方向。阐述了当前基片集成波导多模宽带天线的主要实现方法和发展前景,为更好地设计基片集成波导多模宽带天线提供了依据。     

多模基片集成波导波束成形网络的散射矩阵分析及应用

通过对多模波束成形网络散射矩阵的分析,我们在介质基片Rogers5880上设计并加工了基于多模基片集成波导的波束成形网络。这一新型的结构不仅具有传统波束成形网络(如Butler矩阵)的优良性能,而且具有诸如小型化和辐射功率高等一系列优点。将这一结构与基片集成波导缝隙阵天线相级联,可集成为平面多波束天线阵。测试结果表明这种多模波束成形网络适用于微波毫米波多波束智能天线系统,且与仿真分析相比具有较好的一致性。     

一种基于谐振腔结构的微波位移传感器

设计了一种基于谐振腔原理的位移传感器,能够通过谐振频率的改变进行位移的测试。此微波传感器能够承受高温、高污染等恶劣的工作环境,适合应用于航空发动机的叶尖间隙测试。在理论分析的基础上,建立了工作在24 GHz 左右的微波传感器模型,通过模拟计算得到了量程在0～6 mm 时大于240 MHz/μm的测试灵敏度,验证了该设计的正确性。     

硅基光波导压力传感器

硅基光波导压力传感器由于具有灵敏度高、耐高温、抗电磁场干扰能力强、微型等优点 ,特别适合于在特殊环境中的应用。简要介绍了全反射光波导和抗共振反射光波导压力传感器的结构特点、工作原理及其研究现状。     

硅微机械加工光波导压力传感器的设计

随着波导材料的研究和进展 ,采用新的波导材料设计出了一种波导式压力传感器 ,就光波导压力传感器的原理和特性作了一个简要阐述 ,对它的工艺流程作了详细的描述     

柔性-微环光波导耦合结构的集成光学加速度传感器

给出了一种利用柔性-微环光波导耦合结构的集成光学加速度传感器.通过聚合物材料设计的柔性光波导,在外力作用下产生形变.该形变改变了柔性光波导与微环光波导的层间距,从而改变波导耦合器的耦合比,使得微环光波导谐振腔输出谱特性发生相应改变.继而有效地实现了加速度的传感.本文给出了这种新型的设计,推导了其检测原理并同时分析了其灵敏度的影响因素.     

一种单片集成电容式压力传感器的设计、制造和测试

提出了一种新型电容式压力传感器.在外加压力下,该传感器的极板面积、间距以及介质层介电常数均发生改变,并导致电容发生变化.同时介绍了接口电路的设计,该电路基于电容-频率转换原理.该传感器结构简单,实现了与CMOS接口电路集成.传感器采用标准CMOS工艺与后处理工艺相结合的方式制造.结果表明,在800 hPa到1 100 hPa的压力范围,传感器灵敏度约为44 fF/hPa,接口电路的分辨率为3.77 Hz/hPa.     

基于次波长谐振原理的新型压力传感器

利用一维的次波长左/右手谐振器结构,提出了一种新型的压力传感器.谐振器由两层结构组成,一层是具有负折射率的媒质,另一层是具有正折射率的媒质,正折射率媒质部分与压力薄片相连.研究结果表明,当压力变化时,谐振器的波长随压力的对数值呈线性变化,具有较高的灵敏度,由于这类谐振器可以做得很薄,在实际应用中具有很大的优势.     

基于MEMS工艺的硅基四电极电导率与温度集成传感器芯片的研制

水参数的集成测量是水资源保护和海洋科学的基础,具有重要的意义.基于MEMS技术设计了流程简单、易于制备的铂电阻式温度传感器与圆环形四电极式电导率传感器集成芯片,采用专用的温度检定箱和双运放结构的测量电路分别对集成芯片的温度部分和电导率部分进行测试,得到了较好的测量结果.良好的线性曲线有利于后续的标定与应用.这款集成芯片...