共查询到20条相似文献,搜索用时 15 毫秒
1.
2.
微机械加工技术与微传感器 总被引:1,自引:0,他引:1
传感技术的一个重要发展方向是传感器的微型化,微机械加工技术同昌硅微传感器的基础工艺技术,也是制作微执行器和微电子机械系统的基础工艺技术。本介绍微机械加工技术的概况以及采用微机械加工技术研制的几种微传感器。 相似文献
3.
微机电系统(MEMS)是在微电子技术的基础上兴起的一个多学科交叉的前沿领域,集约了当今科学技术发展的许多尖端成果,在汽车电子、航空航天、信息通讯、生物医学、自动控制、国防军工等领域应用前景广阔.该文介绍了微机电系统发展的背景与基础理论研究,综述了微机电系统所涉及的器件设计、制作材料、3大加工工艺(硅微机械加工、精密微机械加工与光刻、电铸和注塑(LIGA)技术)、微封装与测试等关键技术,总结了微机电系统在微纳传感器、微执行器、微机器人、微飞行器、微动力能源系统、微型生物芯片等方面的典型应用,最后指明了MEMS技术的发展趋势,有望在近几十年将大量先进的MEMS器件从实验室推向实用化和产业化. 相似文献
4.
介绍了微电子机械系统的四种基本制作技术,即本体微机械加工、表面微机械加工、铸模工艺和晶片键合工艺。重点讨论了实现微系统突破的集成工艺技术。最后简单概述了传感器、执行器和微电子机械系统的发展现状 相似文献
5.
6.
下世纪初微电子机械系统的发展 总被引:4,自引:0,他引:4
介绍了微电子机械系统的四种基本制作技术,即本体微机械加工,表面微机械加工、铸模工艺和晶片键合工艺。重点讨论了实现微系统突破的集成工艺技术。最后简单概述了传感器,执行器和微电子机械系统的发展现状。 相似文献
7.
微机械传感器除运用在微电子制造技术外,大量应用化学腐蚀,特种高分子落膜材料,电镀和电化学工艺等化学领域的技术,形成了很多独特的微机械加工技术,这些技术的运用解决了很多关键性技术问题,极大地推进了微机械传器技术的发展,本文从体微机械加工,表面微机械加工和LIGA技术三方面论述化学在近来新型传感器发展中的技术突破和成果。 相似文献
8.
9.
微电子机械系统技术及其应用 总被引:3,自引:0,他引:3
微电子机械系统技术的特点是可使制品微型化、集成化并以硅作为加工材料。该技术可分为体微机械加工、表面微机械加工、金属微机械加工和复合微机械加工四类。所采用的基础技术主要有:腐蚀技术、硅键合技术、多层无应力薄膜沉积技术、牺牲层技术、LIGA技术以及以上技术的复合,该项技术应用广泛。本文重点介绍在微传感器、微电机、机械滤波器和谐振滤波器等方面的应用,并探讨了发展方向。 相似文献
10.
微机械加工按传统习惯可分为两种类型,即块体的微机械加工和表面物微机械加工。新近对块体微机械加工技术的一个改进已经引起人们密切的关注,这个改进方法就是在衬底材料顶部的几个微米内进行微机械加工。许多人也把这类技术叫做外延微机械加工。因为这种微机械加工的器件常常是在外延层上形成的,这类技术具有块体和表面两种微机械加工技术的许多优点而没有什么缺点。使用这类新技术所制造的器件结构,不仅在水平方向可以加工成所 相似文献
11.
12.
微机械加工技术在微执行器方面的应用最引入注目,但迄今从微机技术发展中得到最大好处的仍是传感器,在微机加工技术的推动下,微机械传感器,特别是力敏传感器获得了很大的发展,压力传感器获得了很大的发展,压力传感器继续扩大市场并向高性能化方向发展,加速度传感器已商品化,微机械陀螺产品也行将问世。而微机技术在其它各类传感器中的应用例子则比比皆是。本文将结合实际综述国内外微机械力敏传感器的进展。 相似文献
13.
本文主要介绍日本东北大学电气通信研究所的荒井贤一教授和本田等人开展磁致伸缩薄膜驱动器的研究工作.他们把半导体集成电路制造技术应用于微机械加工中,试制成磁致伸缩型微驱动器.随着半导体集成电路技术发展起来的半导体微机械技术,实现微机械加工技术的研究正在广泛开展,最近已报道了在硅基片上制作成功微小发动机和各种微型机构的消息,在半导体以外的领域中也出现了很多微 相似文献
14.
近来,微机械的实现仍被认为是未来的梦想.目前,在微机械加工的基础上,研究人员正在探究微机械电子学、进而是融汇了光技术的微光机械电子学的可能性,本文对微机械加工,其微型化的方法和存在的问题作以叙述. 相似文献
15.
在航天、国防、医学、核物理学领域,有着对仪器设备向小型化、复杂化、集成化方向发展的要求。在这一动力驱动下,精神机械加工、LIGA技术以及硅技术有了长足发展,制造出许多部件和产品,但对于复杂的微机电系统,单靠这些难以实现,需要进行系统的装配工作,微夹钳也是在这一需求下发展起来的,除此之外,在细胞操作箕 细操作过程中也迫切需要这样的执行软件。本文利用LIGA技术进行了这方面的研究工作,并得到了一些结果 相似文献
16.
17.
18.
19.
20.
微机械力敏传感器及其发展动向 总被引:3,自引:0,他引:3
微机械加工技术的出现把传顺,特别是力敏传感器,推向一个新的发展阶段。微机械力敏传感器以其小型、廉价和集成化成为力敏传感器发展的主流。本文介绍微机械压力传感器、加速度传感器和微机械陀螺的现状及其发展动向。 相似文献