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纳米压痕技术理论基础 总被引:14,自引:1,他引:14
针对纳米压痕技术的应用现状和存在的问题,分析了现有理论研究方法以及它们的不足之处。在纳米压痕试验的基础上,提出了微硬度的新定义并根据量纲分析方法给出了微硬度的表达式。结果表明纳米尺度上的微硬度可以表达为一个与压入深度无关的常量和一个随压入深度减小而增大的分量,这为深入研究纳米压痕技术及纳米硬度的尺寸效应提供了简单易行的新方法。 相似文献
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纳米压痕法测试电刷镀镍镀层的硬度和弹性模量 总被引:1,自引:0,他引:1
介绍一种新型的多功能纳米材料性能测试仪,阐述仪器工作原理和压痕数据分析法。应用该仪器对钢基体上的电刷镀镍镀层的硬度、弹性模量以及抗压痕形变能力等微观力学性能进行测试,并研究镀层力学性能随镀层厚度的分布规律。结果显示,镀层表层和亚表层存在硬度和弹性模量较高的区域,镀层内部存在缺陷区域的硬度和弹性模量降低,在镀层与基体的界面处存在过渡区。除此以外,整个镀层的力学性能较为一致,没有明显的梯度分布,其平均硬度和弹性模量分别为7.02GPa和183GPa,其中硬度为钢基体的2.9倍。在试验载荷下镍镀层具有比钢更好的抗压痕形变能力。为改进镀层工艺、开发新型体系材料以及扩大镀层应用领域提供了有效数据。 相似文献
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基于纳米压痕技术和AFM的单晶铝硬度测试实验研究 总被引:3,自引:0,他引:3
利用纳米压痕技术对单晶铝作压痕试验,获得载荷-压深的加载和卸载曲线。根据O liver-Pharr方法求出压头与测试材料之间接触表面的投影面积Ac和硬度值Hop。再利用原子显微镜(atom ic force m icroscopy,AFM)得到压痕的真实三维形貌图。结合M atlab对压痕进行分析,得到压痕的真实残余面积Aresidual,并计算出其硬度Hresidual。通过对两组单晶铝的硬度数据进行比较分析:在微纳米尺度下,两种方法计算得到的压痕硬度都存在压痕尺寸效应,Hresidual的压痕尺寸效应比Hop要更明显。 相似文献
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纳米压痕技术及其应用 总被引:5,自引:2,他引:5
介绍了纳米压痕技术在微机电系统、材料科学、摩擦学性能研究、生物工程和信息技术等领域中的应用,以及纳米压痕技术在理论研究方面的进展及今后的研究重点。 相似文献
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KDP晶体光学零件超精密加工技术研究的新进展 总被引:11,自引:0,他引:11
KDP晶体作为优质的非线性光学材料 ,被广泛的应用于激光非线性光学领域。由于大型KDP晶体具有一系列不利于光学加工的特点 ,因此被公认为是最难加工的光学零件。本文概述了KDP晶体超精密磨削和磁流变抛光的加工方法 ,阐述了KDP晶体光学零件单点金刚石加工技术的研究现状 ,并详细地分析了单点金刚石切削加工时机床精度、加工工艺参数、装夹变形、晶格方向变化、金刚石刀具几何参数、冷却液等对加工表面质量 (平面度、表面粗糙度、小尺度波纹等 )的影响 相似文献
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基于分子动力学角度,本文主要分析了单晶硅的纳米压痕过程,并尝试解释其瞬间原子位置、作用力变化以及其压痕过程等原理。经过笔者试验发现:磨粒的不断压入,会使单晶硅的硅晶格发生变成,且磨粒产生的能量会以应变能的形式存储在晶格之中。同时,随着硅原子势能增加到一定数值时,硅原子键就会以断裂形式变成非晶层堆积在磨粒下方。当磨粒离开单晶硅时,非晶层开始重构,释放能量,达到新的平衡状态。 相似文献
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Tanveer Iqbal Saima Yasin Muhammad Zafar Sana Zahid Shagufta Ishteyaque Brian J. Briscoe 《摩擦学汇刊》2013,56(5):801-806
The effects of imposed strains on the polymeric surfaces during scratching on the material deformation below the visible surface have not been reported in the literature. The major concern for the polymeric surfaces is the problems related to the effective sectioning for imaging/scanning unlike metal and ceramics. This article describes an experimental qualitative methodology, based on nanoindentation data, to analyze subsurface deformations of polymers resulting from scratch deformations. Poly(styrene), a brittle polymer, poly(methylmethacrylate), a ductile polymer, and poly(etheretherketone), a semicrystalline polymer, were selected for the present study. Nanoindentation responses of the scratched poly(styrene), the scratched poly(methylmethacrylate), and the scratched poly(etheretherketone) surfaces were analyzed with emphasis on the detection of subsurface crazing damage. The polymers were scratched using a 900 conical indenter on a pendulum sclerometer. The scratched polymeric surfaces were assessed using scanning electron microscopy (SEM). The polymeric surfaces were observed to be deformed by a well-known ductile ploughing mechanism. The deformed polymeric surfaces were indented using an MTS Nanoindenter. The data show that the hard asperity scratching initiates subsurface damage, which may tentatively lead to the development of subsurface voidage or crazing in certain areas of the deformed polymers, particularly within the base of the scratch groove. Major conclusions of the work are that the nanoindentation of damaged polymeric surfaces provides a qualitative methodology to estimate the subsurface damage and craze formation. This methodology is important in the context of polymers where conventional effective sectioning of the damaged surface to analyze the subsurface deformations might not be possible. 相似文献
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单晶硅微桥式梁力学性能的弯曲测试 总被引:1,自引:0,他引:1
微梁是微电子机械系统(M EM S)中常见的结构,单晶硅是M EM S最基本、最常用的材料之一,其材料力学性能需要精确的评价。应用光刻等技术加工了六组不同尺寸的微桥式梁试件,并进行了弯曲测试,梯形截面的试件可代表矩形、方形等截面的常见微梁。弯曲测试选用的纳米压痕法适用于弹塑性材料,且可同时获取弹性模量、硬度和弯曲强度等多种力学性能参数。实验测得单晶硅的平均弹性模量为(170.295±2.4850)GPa,没有呈现尺寸效应;弯曲强度在3.24~10.15GPa范围内变化,有较强的尺寸效应,平均硬度为(9.4967±1.7533)GPa,尺寸效应不太明显。 相似文献
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