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本文建立了包括间隙泄漏在内的涡轮叶片三维分子动力学抽气模型.运用MonteCarlo方法计算单叶列的抽气性能,研究了涡轮分子泵中运动叶列顶端与泵壁间的间隙泄漏效果.计算结果展示出间隙相对叶列长度的大小(间隙比)对压缩比有很大影响,尤其是在高的叶列运动速度和重分子量气体下抽气.间隙效果对抽速影响较小. 相似文献
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本文分析了涡轮分子泵内动叶片和定片间空隙所产生的影响,讨论了一个基于级间反流传导的简单模型。作者把单级的分析结果结合起来,用来评定多级泵的性能。计算结果表明间隙尺寸对抽速影响很小,而对压缩比的影响却是惊人的,尤其是对于高分子量的气体。最后,本文对不同间隙计算出来的压缩比和抽速与实验结果进行了比较。 相似文献
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本文分析了涡轮分子泵和拖动分子泵抽气机理的不同物理图象,并论证了短叶片涡轮分子泵的抽气作用是这二种分子泵抽气机理同时作用的结果,从而,这种泵具有涡轮分子泵和拖动分子泵的共同优点。 相似文献
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涡轮分子泵中存在着通过分子泵各级的泄漏现象,影响了分子泵实际的压缩比。如果在计算压缩比时不考虑这个影响,那么实际测得的压缩比大多远小于计算所得。对于从高压强级到低压强级的泄漏所产生的影响,本文作了一个理论估算。提出了一个简单模型亚计算泄漏引起的压缩比的降低。 相似文献
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现代涡轮分子泵的技术现状与展望 总被引:1,自引:0,他引:1
本文介绍了涡轮分子泵的优点及普及的原因,讨论了泵轴承系统的改善,泵的工作寿命与可靠性的提高以及宽域型复合分子泵的开发,还给出了极高真空的获得方法和泵快速抽气的措施。 相似文献
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在电视显像管的生产过程中,要求在封离之前用真空泵进行镀铝,并对装好的显像管进行抽真空。讨论了一股的真空及抽气特性.描述了同扩散泵相比,如何应用涡轮分子泵来改进产品质量及生产效率,然而直到今天对于这一应用来讲,使用扩散泵一直是一种工业标准。由于泵车的间歇运动,以及较高的环境温度,必须要考虑象显像管爆炸,外部震动等严格的工业操作条件。多年以来,不断改进涡轮分子泵在这方面的应用。也说明了这种泵的典型配置情况。 相似文献
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涡轮分子泵组合叶列几何参数优化设计方法的研究 总被引:1,自引:1,他引:0
本文在分析了组合叶列内在抽气机理的基础上,以涡轮叶片的基本几何参数:叶片倾角,节弦比为设计变量,以气体连续性方程和最大抽速为约束条件,把压缩比做为目标函数,给出求压缩比极大值的计算方法,本文对涡轮分子泵提高抽气性能,改进结构具有实际意义。 相似文献
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研究了涡轮分子泵电源制动单元的设计、制动功率和制动电阻的计算方法。为涡轮分子泵选用理想制动电阻提供依据。根据此设计和计算方法为我公司生产的FD系列涡轮分子泵电源选用了最佳的制动电阻,使涡轮分子泵的停车减速时间大为缩短,该泵的性能和效率显著提高。 相似文献
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在Pro/E环境中针对涡轮分子泵的涡轮叶片(动片和静片)编写了专用的3D模型设计程序,使涡轮分子泵繁琐的叶片建模变得快速、简洁而准确。通过引用该程序,在规划好涡轮叶片参数的情况下,在数十秒时间内即可创建出一片涡轮叶片的3D模型,大大缩短了产品的3D建模周期,降低了设计成本,尤其是在产品设计初期需对叶片参数反复修改和调整进而优化产品性能的情况下,更能显示出该程序的优越之处。 相似文献
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七十年代以来,国内各真空应用领域和科研部门对涡轮分子泵的发展极为重视。一些学者和专家为 涡轮分子泵的研究、设计制造做出许多贡献并积累了大量宝贵经验,目前已趋于完善阶段。中、小型涡 轮分子泵的产量逐年增加,泵的主要性能指标接近国外水平。在F-200、F-600、F-1500型泵相继研制成 功的基础上.为补全涡轮分子泵产品系列.增加大规格品种,进一步满足各使用部门急需,我所自行设计、 制造F-3500型涡轮分子泵,于1986年9月通过部级鉴定。鉴定结论指出:F-3500型涡轮分子泵的 极限压强、抽速和压缩比三项主要性能指标均达到原设计技术要求,几项参考指标也不低于国外同类型 产品水平。 相似文献