太阳能集热管的镀膜设备──DJT—800型磁控溅射镀膜机的研制

前言 本机用于镀制真空玻璃太阳能集热管选择性吸收薄膜。是生产太阳能集热管不可缺少的新型设备。 太阳能是取之不尽用之不竭的巨大天然能源。直接利用太阳能是开发新能源的主要途径之一;是一项节省可燃性能源、发展工农业生产、改善人民生活具有深远意义的重要措施。近年来,太阳能的利用引起了各国的高度重视,并开展了广泛的研究。一些先进国家,如美、澳、日、德等国研究颇有成效,现已转入应用之中。 我国对太阳能利用的研究,虽起步较晚,但现已取得初步成效。其中,真空玻璃太阳能集热管是研究单位较多的重点项目。因这种集热管不仅在炎热…     

TX1 800磁控溅射镀膜机冷却系统的改进

以北京天瑞星公司生产的大型TX1 800商用磁控溅射镀膜机为例,分析了磁控溅射镀膜机靶的结构及配套冷却系统,引入航空航天领域应用较多的层板发汗冷却。在高温下气化蒸发带走基材热量,达到材料降温的目的。通过层板间的特殊结构实现对流体流量、流速等的控制,实现预想的冷却效果。     

TRC—2020型磁控溅射镀膜机低温泵的设计考虑

本文从溅射镀膜的要求出发，设计出符合溅射镀膜要求的 ＺＤＢ—２００低温泵。在分析低温抽气机理的基础上，提出了ＺＤＢ—２００型制冷机低温泵的主要参量。为此，在设计一、二级冷阵中，既考虑，到冷阵结构的一合理性，又要考虑冷阵温度分布的均匀一致，同时对如何提高致冷机的致冷效率也进行了讨论。     

提高太阳能集热管磁控溅射镀膜沉积速率的研究

工业上用磁控溅射技术为太阳能集热管制备Al-N/Al选择性吸收涂层,这种吸收涂层最外层为AlN介质减反层.在开环N2流量控制模式下,存在溅射制备AlN介质减反层沉积速率低的缺点.本文依据气相化学反应动力学理论,薄膜的沉积率正比于反应气体的浓度,提出了一种提高制备AlN陶瓷减反层沉积速率的方法.该方法将直流溅射靶电压反馈至模糊控制器,控制N2流量大小,让磁控溅射镀膜机稳定工作在拐点电压附近,实现反应溅射恒电压控制.并且采用单片机技术制作了样机,在SCS-700A型太阳能集热管镀膜机中使用,实验结果表明,镀膜沉积速率提高了4倍以上,整个系统工作稳定.     

KZC—磁控溅射镀膜机电源的研究

本文介绍KZC—磁控溅射镀膜机电源的组成，工作原理和具有自动起动功能及抑 制系统振荡的良好动态特性。文中详述了“自适应电流调节器”、“电流截止负反馈”、 “触发电路”、“给定积分器和电压调节器”。该电源为磁控溅射镀膜设备实现自动控制 提供了方便。     

JZH-900型钛金镀膜机研制成功

锦州真空设备厂研制的JZH-900型钛金镀膜机,及其磁控溅射氮化钛陶瓷仿金镀膜工艺,于1984年12月18日至19日通过了技术鉴定。 JZH—900型钛金镀膜机是国内第一台活性反应同轴磁控溅射氮化钛生产型设备,首次应用在陶瓷表面仿金涂层的批量生产获得成功,填补了国内空白。 该设备适用于镀制瓷质的雕塑品、艺术品、酒具、茶具等表面仿金装饰膜层,同时具有普通磁控溅射镀膜设备的所有功能。 该设备各项技术指标均已达到或优于设计指标,其性能稳定、操作方便、装容量大、工作周期短。 磁控溅射氨化钛陶瓷仿金镀膜工艺比较成熟,在国内首次成功地解…     

JPG—6型磁控溅射低阻值电阻镀膜机的研制

ＪＰＧ－６型磁控溅射低阻值电阻镀膜机，是代替过去生产效率低，产品性能差的蒸发式镀膜机的一种新型镀膜设备。本文就设备的研制意义、工作原理、主要性能指标，以及结构设计特点等问题进行了论述．文中还给出了低阻值金属膜和金属氧化膜电阻的主要参数及其阻值范围。     

双室旋转磁控溅射镀膜机的研制

本文叙述了双室旋转磁控溅射镀膜机的结构、工作原理和主要性能，并对磁场强度、充气压强、放电电压、电流等工作参数以及沉积速率的影响进行了一系列实验，从而选择了该机的最佳运动参数．     

DJT—1型金属陶瓷电离计管

DJT—1型金属陶瓷电离计管是我们学校电真空教研组为了贯彻毛主席的教育为无 产阶级政治服务,教育与生产劳动相结合的教 育方针,在1973年试制的。由于我们工作缺乏 经验,管子难免存在很多缺点,欢迎各单位试 用并提出宝贵意见。 一、DJT-1的结构(见图1) 1.管子的底盘是由无磁不锈钢制成,表 面镀镍。电极引线是由钨杆、可伐帽和95% Al2O3瓷封接而成,然后采用72 %银铜焊料, 钎焊在底盘上,最后经质谱探漏仪检查不漏, 这样就保证真空密封,并可以进行高温烘烤。 2,电极由栅极、两根倒J型灯丝和收集 极构成。栅极采用φ0.5mm钨丝制成直径 20mm…     

TX1800磁控溅射镀膜机冷却系统的改进

本文以北京天瑞星公司生产的大型TX 1800商用磁控溅射镀膜机为例,简要分析了此磁控溅射镀膜机中靶的结构及配套冷却系统,引入航空航天领域应用较多的层板发汗冷却在此基础上,提出了一种全新的思路,对冷却系统进行了重新设计.     

太阳能集热管涂层关键技术进展

本文针对氧化物-金属陶瓷太阳能选择性涂层,研究开发了大功率射频磁控溅射技术,太阳能选择性涂层模拟计算模型,真空太阳能选择性涂层高温光谱仪和真空太阳能集热管热效率真空测试装置,为发展高温太阳能集热管产业化奠定基础。     

LSA—1型电弧离子镀膜机

研制成功立式结构电弧镀膜机。机中有四个电弧源;真空系统采用油扩散泵、罗蒸泵、机械泵抽气。结果表明:为了减少微粒的产生,阴极直径应当尽可能大;为了使源稳定,必须装置限弧器;磁场对电孤等离子体实现了加速运动,不仅减少了熔滴,同时提高了膜层与基体的结合力。还进行了一系列有关的实验。     

塑料ITO膜磁控溅射卷绕镀膜机的研制

本文介绍了塑料 ITO膜磁控溅射卷绕镀膜机的研制 ,就采用磁控溅射卷绕法制备 ITO膜的设备及成膜过程的一些工艺问题进行了探讨     

太阳能集热管镀膜设备与工艺

本文较全面的阐述了利用磁控溅射镀膜设备镀制真空玻璃太阳能集热管选择性吸收涂层（薄膜）新技术，并对适于批量生产高效率高性能的太阳能集热管的先进设备和工艺进行了论述。其设备结构简单、操作方便、性能稳定可靠，薄膜材料来源方便、价格低廉，所镀膜层均匀牢固，使用寿命长，具有较高的集热效果，其吸收率值高达０．９５～０．９７，辐射率为０．０５～０．０８；镀管成品率较高，可达９５％以上，成本低，与化学工艺相比，可降低成本４８％。可见具有明显的经济效益。同时这一新工艺无环境污染，工作人员劳动强度低，对身体无害。     

高温太阳能集热管研究进展及发展趋势

一、高温太阳能集热管简介太阳能热发电是大规模开发利用太阳能的一个重要技术途径,它通过聚集太阳能产生的高温热能加热工作介质,进而驱动发电机发电。在太阳能热发电系统的4种基本类型中,槽式太阳能热发电系统具有结构紧凑、制造成本较低、容易实现标准化和适合批量生产等优点,是目前国际上已经实现大规模商业化稳定运行,且具有良好的技术及市场潜力的技术类型。     

多弧源磁控溅射多功能离子镀膜机的开发

本文系统地介绍了真空多弧源磁控溅射多功能离子镀膜机的开发情况、基本性能、主要特点、结构原理及采取的各种技术措施，评估了该设备的经济技术价值及开发者的良好心愿