无油排气质谱

一、无油排气系统 从1974年开始,在北京仪器厂的协助下我们组装了一台无油真空系统专用于大功率发射管的排气,(1)该系统以两级吸附泵或带分子筛吸附阱的机械泵为前级,以冷钛泵为主泵、钛升华泵为辅泵。这样的组成方案目前在电真空器件的研制单位、包括使用无油真空技术制作发射管的厂家中是广泛应用的。这类排气台提供无油清洁真空的效果如何?在应用中应注意一些什么问题?这便是本实验所要探讨的。 目前我们使用的无油排气台如图1所示; 它与当初报导的系统(1)相比,几年来作过如下几点改进: l、用活性氧化铝挡油饼(配合机械泵)代替了分子筛挡…     

涡轮分子泵与钛升华泵的组合真空系统

涡轮分子泵，钛升华泵各自对不同种类的气体有不同的排气性能。利用它们的特性来互相弥补彼此间的缺欠而获得低的极限压强和大的抽速。本文叙述了这种装置的设计方法和试验情况。从设计出发点至达到的预想效果都进行了较系统的介绍。该装置得到了满意的效果，获得１０－１１托的极限压强，对氮气或空气的抽速为３０００开／秒左右，而对于氢气的抽速为１万升／秒。并对涡轮分子泵和钛升华泵联用的系统获得超高真空的方法进行了讨论。     

电离吸气钛泵及其在电子管排气中的应用

无油超高真空技术对真空器件的研制和生产来说都有它特殊的意义。从现有掌握的资料来看,无油超高真空排气不但能提高电子管的发射性能,改善耐压,耐高频性能,使管子的合格率和优品率提高,还能缩短管子的排气时间,改善排气环境,不怕突然停电等优点。现在国内在电子管排气中广泛使用以溅射离子泵为主,升华泵为辅的组合形式钛泵,这样的组合使排气系统体积庞大,笨重,价格贵,因此,在电子管生产上推广应用还有很多技术问题需要解决。 电子管排气与其它超高真空无油抽气装置有着很多不同的地方,如管子体积一般都较小,管子与系统联接都有一根通导能力…     

第十六讲 真空系统的操作与维护

(上接2010年第1期88页) 除了涡轮分子泵和钛升华泵各自的优缺点外.涡轮分子泵还由于机械结构与高速旋转的原因,使得它要获得大的抽速较为困难.而钛升华泵造价低,而且易于实现大抽速.目前它的抽速在高真空或超高真空获得设备中是较大的一种,而使用和维护都十分方便.只是由于排除惰性气体性能差而限制了它单泵进入超高真空.考虑到空气中的惰性气体主要是以氩气为主,可以用抽速小一点的分子泵来排除惰性气体,以充分发挥钛升华泵的大吸气性能的优点.     

红外探测器生产中的超高真空系统

讨论了红外探测器生产中应用的超高真空系统的组成,分析了喷射泵、液氮冷却吸附泵、钛离子泵及钛升华泵的工作机理,并给出了一些数据.系统具有无油污染、噪音低、工作稳定等特点。真空度可达1×10~(-6)Pa。     

小型四极质谱计用于某些材料气相成份的定性分析

一、实验装置和方法采用全金属的半无油真空系统(见图1)。前级用2XQ-1型机械泵,超高真空使用的是3TL-300型溅射离子钛泵。自行设计了不锈钢的六通样品分析室。分析室、前置真空、钛泵以及进样系统之间,均用CDS型超高真空阀门隔离。四极分析器以垂直方向密固在分析室的法兰上。     

HL-2A装置中性束注入器高抽速钛泵及其实验运行分析

针对中性束注入等离子体加热过程中的高真空条件要求,借助于国际合作方式,我们为HL-2A 装置中性束注入器设计了一种大吸附面积的高抽速钛泵系统.钛泵系统抽速设计值为30万L/s,由两台大泵和一台小泵组成,两台大钛泵分别置于注入器主真空室左右两侧,小钛泵置于注入器副真空室右侧.运行实验结果表明,钛泵完全满足HL-2A中性束注入实验的要求.本文主要介绍了钛泵的工程设计和实验运行结果,简要分析了HL-2A装置中性束加热系统高抽速钛泵的运行特点.     

快速的简易的实验用极高真空系统

本文介绍一种实验室用的、抽气时间短、简易的极高真空系统。它由一台特殊设计的玻璃冷冻钛升华泵与超高真空玻璃油扩散泵串联所组成,可在10小时内从低真空抽到10~(-13)托(使用新型的轴向式抑制规测)。文章介绍了该系统的结构特点,并分析了影响该系统极限真空的因素。     

钛升华泵的残气分析

一、引言分子束──表面散射装置是研究气体分子与表面作用的重要手段,也是表面分析的方法之一[2]。它可从分子(原子)水平揭示诸如表面吸附、解吸、催化、腐蚀、能量适当等表面物理化学过程。为满足实验中所要求的超高真空,该装置除使用沈阳教学仪器厂生产的JWC-1型无油超高真空机组外,还配有大抽速的钦升华泵作为辅助泵。为提高测量的精度和准确度,我们对钛升华泵升华前后真空度的化变、残气成份及含量作了全面测量,以便消除钛系对实验结果的影响。 二、实验装置及方法 实验装置如图1,图中分析室部分用隔离阀与束源部分隔开。作该实验时…     

复合式溅射离子泵

目前在中小型无油超高真空抽气系统中,大多采用溅射离子泵为主体系,尽管溅射离子泵具有一系列优点,如使用简便,寿命长,耗用功率小,不用水冷却,但是对活性气体抽速低,不能承受较大的放气量,故在电真空器件排气中仍要在泵内或系统中附加一只升华泵,帮助抽除大量活性气体。除此之外,溅射离子泵成本贵,体积庞大而笨重。因此,溅射离子泵对中小型无油超高真空抽气系统来说并不是一种理想的主体泵。而目前这种情况的存在原因是:(1)国外溅射离子泵成熟的历史早;(二)升华泵中升华器寿命太短。一台溅射离子泵的性能应有二方面的指标:第一方面是技术指…     

容积吸气剂泵的特性

一、前言 最近市场上出现了一种增大容积吸气剂表面积而获得清洁真空的吸附泵。这种泵比较简便,以前曾与溅射离子泵组合使用。但是,在大多数情况下,与溅射离子泵组合使用的还是钛升华泵。容积吸气剂泵与钛升华泵不仅有其类似的地方,而且可以说在某些方面有其特长。本文有不少地方通过与升华泵相比较,来阐述容积吸气剂泵的特性。但是,并不意味着容积吸气剂泵能够完全代替升华泵使用。 二、容积吸气剂泵的构造 在金属片的两面分别涂复50μ厚的非常活泼的Zr-A1合金。Zr-A1合金层起活泼、非蒸发吸气剂的作用。为了有效地增加吸气剂的表面积,金…     

一种8.0×105 L/s大抽速钛吸附泵的设计

结合中国环流器2A装置(HL-2A)中性束注入器真空系统的设计,介绍了一种可用于加速器等实验室的通用大抽速真空系统的主泵--钛泵的设计和计算,采用的单元式结构对于要求大抽速、高真空的工业和实验装置都具有重要意义和实用前景.     

IC生产工艺中真空获得设备的合理应用

真空获得设备如何在ＩＣ生产工艺中正确合理的使用是至关重要的，作者依据 多年从事半导体设备设计和维修工作的实际经验撰写了本文。阐述了罗茨泵、油扩散泵、涡轮分子泵、钛升华泵及低温泵等系统在半导体生产工艺中合理使用的经验。     

分子束—表面散射装置的真空系统

一、引言分子束-表面散射装置是研究气体分子与表面相互作用的重要手段,也是表面分析的方法之一。该装置由两大部分组成。一是在进气压强为133～13300帕的条件下,为保证得到高强度超声速的分子束而采用差分抽气系统组成的分子束源部分;二是在进行反应散射、弹性散射及非弹性散射实验时所需的超高真空系统。该系统是由无油超高真空机组及升华钛泵超高真空分析室组成。本文阐述了全套装置系统的匹配问题。     

一台表面分析仪的超高真空系统设计与调试

本文介绍了一台表面分析仪的超高真空系统的设计与调试。由涡轮分子泵与钛升华泵组合抽气,真空室中最高真空度可达2.6×10~(-10)托,钛升华泵停止升华和停加液氮8小时后,仍能维持在4.3×10~(-10)托。质谱分析表明真空室中未发现油污染。该超高真空系统满足表面分析的要求,并具有一定的优越性。     

钛──钽合金丝的电热特性及算图

钛升华器是升华钛泵的关键部件。目前广泛使用的钛升华器主要有两种类型:一种是钛球升华器,另一种是钛合金丝升华器。后一种主要有钛──铂合金丝与钛── 钽合金丝两种。合金丝形式的升华器主要优点是可根据需要选择合适的长度与直径,易于成形;热容量与热情性很小,可很快加热到所需要的温度。缺点一是钛的贮存量不大,故只能在中小型系统中长时间使用;另外在使用过程中丝的直径和表面状态在改变,因而电流、电压也发生变化,不易控制。特别是钛──钼合金丝在高温状态下再结晶现象很严重,很难控制[1]。而钛──钽合金丝在高温状态下却没有再结…     

具有冷冻升华阱的金属超高真空系统

在以金属油扩散泵为主泵的抽气系统中,附加一冷冻钛升华阱,消除了一般扩散泵抽气系统中普遍存在的压强脉动现象,获得了1× 10-11乇的极限真空。这是目前用来获得同等真空水平的简单、经济、适用的好方法。而且实质上是一台用有油的手段达到“无油”目的相当清洁的系统。 一、引言 油扩散泵抽气系统几十年来都是用以获得高真空和超高真空的重要抽气手段。但是近年来由于表面物理,空间模拟,电子器件等科研和生产对更清洁的真空环境的要求,完全采用无油抽气手段获得清洁真空环境的所谓“无油”系统迅速地发展起来。因此流行着一种看法:认为采用…     

1987年本刊总目录

学术报告高技术与真空科学1(2)炭纤维石墨化炉的结构与性能研究2(36)油蒸汽流泵的抽气量和它所需的蒸汽喷射量之间关系的探讨2(41) 试验研究CT—8低温泵在产额谱仪中的应用1(6)三级罗茨泵工作阻力分析与计算1(8)低温泵真空系统的安全问题1(16)油蒸汽流泵的抽速及喷嘴几何尺寸计算的探讨1(22)高真空相对校准装置1(30)显象管内残气的定量分析l(36)多弧离子镇技术3(43)磁力传动技术3(46)钛升华泵的残气分析3(51)压强控制器的研究4(18)二硫化铝在超高真空系统中的应用4(23)低温抽气与再生。 4(25)国产13x分子筛吸附特性的实验研究—6(48)DLX—…     

加强日常管理延长真空排气系统的寿命

构成真空排气系统的部件主要是真空系、真空阀门、冷阱、真空计等。现暂且不谈它们的基本技术,而仅就排气系统的使用做一些说明。 真空泵的种类和日常管理 表1是现在广泛使用的真空泵的种类及其工作原理。表中记载了常用压强范围、日常在运转初期和运转中应该注意的地方、以及处于停止状态时所应有的压强状况。 真空排气系统和使用上需注意的地方 表2是具有代表性的真空装置和使用压强范围以及最近配用的真空排气系统。 即使是同样名称的装置,如果所使用的压强范围不同,那么其排气系统的组成也将发生变化,但是在此只表示出比较大型装置的排…     

热辐射球式钛升华泵的自动控制

热辐射球式钛升华泵作为无油污染的高真空抽气方法,目前已被广泛采用。为了克服泵内钛储量所限而影响泵的工作寿命,介绍了热辐射球式钛升华泵钛升华率的自动控制方法。使泵工作在最经济合理的状态下,达到延长泵的工作寿命的目的。