微电子学用高纯砷烷、磷烷或硅烷混合物中痕量杂质的气相色谱分析

介绍的分析方法是测定含有H_2或Ar的PH_3、AsH_3或SiH_4混合气中的痕量O_2、N_2、CO、CO_2和C_1～C_4的碳氢化合物。此法用化学法除去PH_3、AsH_3或SiH_4,然后用气相色谱分离,在低温下用13X分子筛富集痕最成份,再用TCD和FID检测。检测极限值估计O_2和N_2为0.5vpm;CO和CO_2为0.1vpm,碳氢化合物为0.01vpm。用同一个扑集柱进行吸附富集与解吸分离,可在同一个流程中,对所有感兴趣的痕量杂质进行分析。测量结果总的相对标准误差,估计在±22％左右。     

特种气体贮运,应用,安全与特性—磷烷和硼烷

磷烷化学名:磷烷(phosphine) 别名:磷化氢(hydrogen phosphide、phosphorous hydride、phosphorated hydrogen) 分子式:PH_3 1 物化性能磷烷是一种无色、可燃性气体,具有腐鱼气味。相对分子质量33.998。蒸汽压4.02MPa(21.1℃)、6.30MPa(40.6℃)、6.998MPa(46.1℃)。在21.1℃和0.10MPa下,气体密度1.405kg/m~3。在25℃和0.10MPa     

砷烷的气相色谱分析

砷烷是半导体生产和科学研究中的重要原材科,不但可应用于半导体外延膜N型掺杂和扩散工艺,还可以应用于离子注入工艺。同时,它对于砷化镓薄膜的制备,也是很重要的材料。砷烷是一种剧毒的易燃无色气体,具有令人厌恶的类似大蒜的气味,是溶血性毒物。由于它有剧毒,且易燃,虽然在实际工     

磷烷的纯化方法

该磷烷纯化方法的特点是，在无氧状态下，将含有杂质砷氢化物的粗制磷烷与活性炭接触，使处理的磷烷量小于活性炭重量，从而吸附除去了砷氢化物。吸附剂活性炭在使用结束后，进行加热抽空再生，可反复使用。     

砷烷的合成与纯化

砷烷是重要的电子特气之一,是半导体工业中不可缺少的基础材料.由于其本身的剧毒性、合成纯度要求高,净化难度大等因素,在国内的安全大背景下,很少有企业愿意冒风险开展此类工作.在此,列举了关于砷烷制备、提纯等一系列工艺的进展.     

毒性气体报警仪标定装置的研制

本文介绍了一种毒性气体报警仪标定装置的原理、组成和结构特点,描述了该装置的工作原理、结构、流量控制方式和浓度计算方法。通过对所配制的标准气体不确定度各影响分量的评估,验证了该装置可用于毒性气体报警仪的标定工作。     

砷烷的纯化技术研究进展

砷烷是发光二极管、超大规模集成电路、Ga As、Ga As P生长,N型硅外延、扩散、离子注入掺杂等不可缺少的重要原料,因此需要有极高的纯度。主要概述了砷烷常用的纯化方法,包括吸附法、低温冷冻/精馏法、膜分离法等。     

我国超纯砷烷产业化生产技术研究

砷烷是电子气体中用途十分广泛,技术难度非常大的烷类气体,它是一个国家电子气先进与否的重要标志。超纯砷烷的产业化技术,涉及到砷烷的合成、净化、分析检测等诸多专业,为发展我国IC产业,尽快开展超纯砷烷产业化技术研究意义重大。     

浅谈气体分析仪和气体检测报警仪的区别

1 问题 某化工厂在制氢设备检修前做动火分析,当安全科长用一台可燃气体检测报警仪测定低温制氢设备内氢气含量时,仪器显示值<4%(实际上,几次测定均在3.0%～3.8%H2之间).     

特种气体贮运,应用,安全与特性——硅烷,砷烷,二氯二氢硅

特种气体贮运、应用、安全与特性——硅烷、砷烷、二氯二氢硅梁国仑（化工部光明化工研究设计院大连１１６０３１）硅烷别名甲硅烷；四氢化硅英文名称Ｓｉｌａｎｅ；Ｍｏｎｏｓｉｌａｎｅ；Ｓｉｌｉｃｏｎｔｅｔｒａｈｙｄｒｉｄｅ分子式ＳｉＨ４１物化性质硅烷是一种无色...     

环氧乙烷检测报警仪校准方法的研究

选择有证标准气体是保证环氧乙烷检测报警仪校准结果准确可靠的前提。鉴于目前市场上很难买到符合要求的有证标准气体,文章通过对不同厂家的气体标准物质进行核查,确定了校准所用的环氧乙烷标准气体。并结合报警仪的结构特点,重点确定了环氧乙烷检测报警仪的校准项目、校准方法及主要计量特性指标。     

氯气报警仪和剩余氯气的监测

最近，首都管理公司研制了几种新型测量仪器，可用于改进氯化工艺的安全性和有效性。     

储油罐超声波高位报警仪的研制及应用

介绍储油罐超声波高位报警仪的结构原理,阐述其硬件系统和软件系统设计,分析部分硬件电路,给出了实验结果并分析产生误差的原因。实际应用表明该仪器性能稳定报警可靠。     

高纯砷烷的合成与开发进展

砷化氢(AsH3)是一种重要的电子特气,它主要用于N型半导体的掺杂、离子注入、化学气相沉积(CVD)等。AsH3的工业合成主要有化学合成法和电解合成法2种,后者可在恒定浓度条件下制备AsH3。为满足电子工业所需的高纯度需求,需要对其进行精制。AsH3的精制方法主要包括吸附法、低温冷冻/精馏法、膜分离法等,它们均能满足各自不同的需求。同时介绍了AsH3的国内外经济概况和产品标准。     

2019:中国气体

回顾了2019年中国气体行业的现状,对于我国各类主要电子气体做了详细的介绍,对未来中国气体产业发展进行了简要预测。     

氮气中正已烷标准气体研制

一、概述正已烷 (ｎ -Ｃ6Ｈ14 )在常温下呈无色液体状态 ,沸点为 69℃ ,分子量为 86.2 ,蒸汽压为 13332Ｐａ。正已烷是一种可燃可爆物质 ,其自燃温度为 2 4 0℃ ,2 0℃时 ,正已烷在空气中的爆炸下限为 1.2 % (Ｖ/Ｖ) [1] 。正已烷标准气体广泛应用于仪器仪表业、石油化工业、环境监测部门及石油勘探部门。它主要用来测定机动车辆排放气测试仪的ＨＣ转换因子 ,石油炼制和勘探过程中流程色谱仪定量用的标准气体。研制成功的氮气中正已烷标准气体完全可以替代进口 ,以满足国内日益发展的仪器仪表业的需求。二、实验氮气中正已烷标准气体采用Ｉ…     

氯乙烯气体检测报警仪示值误差的不确定度评定

以氯乙烯气体检测报警仪为例,分析了不同不确定度分量的来源,对示值误差的不确定度进行了评定。     

磷烷中砷烷的选择性分解催化性能研究

研发制备NATA-PH-1型催化剂,能够高效的将磷烷中约100×10~(-6)砷烷去除到仪器检测限30×10~(-9)以下,完全能够达到半导体制程关于高纯磷烷中砷烷低于100×10~(-9)的标准。与传统沸石分子筛吸附机理不同,NATA-PH-1型催化剂能够在室温条件下诱导砷烷分解。其中砷键合在催化剂表面,氢气不属于半导体制程杂质。此催化剂在动态纯化试验中,砷烷分解容量达到4.5 L/L(线速率15 cm/s),且二次再生后仍保持高活性,与其较大的静态分解饱和量有关。目前,该催化剂已通过中试认证,已取得600 kg高纯磷烷(5 kg催化剂)。     

高纯磷烷的研制

用亚磷酸热分解法制备的磷烷，经分级冷冻、真空蒸馏后，除去H2、N2、O2、CH4及大部分H2O等杂质，然后进一步用A型分子筛及高效干燥剂吸附干燥，障去微量水及碳氢化合物，从而获得电子级高纯磷烷。