集成硅微悬臂梁融合式传感器制造技术

简要地描述了以各种微结构的硅悬臂梁作为敏感元件构成的不同用途的新型融合式传感器及其列阵；介绍了硅微悬臂梁融合式传感器的设计和制造工艺；对笔者正在研究的硅微悬臂梁与光纤组合式列阵感器作了初步的报道。研究结果表明这是一种很有前途的技术。     

硅微型传感器的现状与发展趋向

采用与标准集成电路工艺相兼容的技术来制作微型传感器是近来所能达到的,这将有助于将传感器、执行器的元件部分与接口电路集成为一体,来形成微系统。如加速度计、谐振传感器和化学传感器等发展的例子都可以证明这一点。     

多传感器集成的智能化微测量系统研究

通过分析国内外坐标测量机的智能化和微测量方面的研究现状,提出多传感器集成的高速智能化微测量研究思路,并阐述了研究方法和测量系统原型.该研究将对智能化微测量具有重要的指导意义.     

基于厚膜混合集成的硅微机械加速度传感器

采用厚膜混合集成技术实现了硅微机械加速度传感器工程样机。介绍了厚膜混合集成电路工艺的原理和特点、传感器的结构和工作原理，研究了信号提取和处理方法，优化了反馈控制校正电路网络，利用电容转换专用集成电路，通过厚膜技术组装了工程样机。实验结果表明：该单片加速度传感器具有较高的精度和零偏稳定性。     

阀片式硅微流量传感器的研究

提出了一种结构简单、易于加工的阀片式硅微流量传感器。该微流量传感器通过阀片将流量转换为梁表面弯曲应力,再由集成在阀片上的压敏电阻桥检测出流量信号。该传感器采用硅微细加工工艺制作,直接在单晶硅上加工出阀片和压敏电阻桥。该微流量传感器芯片尺寸３ ．５×３．５（ｍ ｍ） ,封装后的外形尺寸为Φ１０×４（ｍ ｍ） ;在１０ ～２００ｍｌ／ｍｉｎ 的气流量下,线性度优于５ ％ ．     

基于MEMS技术的硅微机械流体传感器的原理及应用

传统的流体传感器由于存在着灵敏度低、体积大、成本高等缺点,而且微流体与宏观流体流动特性不同,所以其在微流体的流体特性测量中存在很大的局限性。随着MEMS技术的发展,硅微机械流体传感器的出现克服了传统流体传感器的缺点。硅微机械流体传感器已成为MEMS的研究热点之一。按其用途进行了分类,着重介绍了流体压力传感器、流量传感器和表层摩擦力传感器。分别从各种传感器的基本原理、性能、应用范围、优缺点及其所能达到的技术指标方面进行了描述。基于MEMS的硅微机械流体传感器具有广阔的前景。     

基于单片机硅微机械谐振传感器真空测量研究

本文介绍了一种新颖的基于单片机的硅微机械谐振传感器测量方法及其实现。在微传感器工作原理理论分析的基础上,证明其适合于真空环境测量。利用闭环测控电路方式,使整机具有良好的灵敏度和可靠性。讨论了测量仪的测量原理、硬件组成和软件设计。该测量仪的真空度测量范围接近10^2-10^-1Pa,具有可靠性高,响应速度快等优点。     

一种集成三轴加速度、压力、温度的硅微传感器

针对恶劣环境和严格空间体积限制条件下的多参数测量问题,利用绝缘体上硅（SOI）材料,采用微型机械电子系统（MEMS）技术,研制了一种可以同时测量三轴加速度、绝对压力、温度参数的单片集成硅微传感器,其中加速度、绝对压力传感器基于掺杂硅压阻效应,温度传感器基于掺杂硅电阻温度效应.结合芯片中各传感器的工作原理,用有限元方法对设计的结构进行了仿真,确定集成传感器的电阻分布和结构参数.根据确定的集成传感器结构,制定了相应的制备工艺步骤.最后给出了集成传感器芯片的性能测试结果.     

硅微机械谐振传感器稳幅式真空计的研究

文中介绍硅微机械谐振真空传感器的特点及配套研制的真空计。利用恒定振幅闭环测控电路方式,使整机具有良好的灵敏度和可靠性。真空度测量范围接近１０２～１０－１Ｐａ,测量响应速度为十几毫秒。     

计划评审技术工序综合重要度分析方法

针对如何识别影响整个项目进度的关键工序的问题,提出了面向计划评审技术（PERT）的工序综合重要度分析方法。首先将PERT中工序按照时序关系划分为始工序节点、终工序节点、紧前工序节点和紧后工序节点,并给出了对应工序时间的概率分布计算方法。然后,基于PERT中不同工序对项目整体进度的影响程度,提出了工序综合重要度分析方法,并研究了基于工序综合重要度的PERT关键工序识别方法。最后,以神舟飞船研制过程甘特图为例说明了基于工序综合重要度的关键工序识别过程,验证了工序综合重要度与工序持续时间之间的关联关系。     

CIMT2001数控系统展品评述

本文对CIMT2001展出的数控机床及它们所配置的数控系统数量进行了统计分析,国外数控系统占了90％,FANUC和Siemens两家占近2／3;分析了国产数控床床展品所配数控系统情况,国外的数控系统占85％。介绍了FANUC、Siemens等国外公司数控系统展品的特点,以及国产数控系统展出情况。简述了数控技术的发展趋势和对发展国产数控系统的看法。