静电梳微谐振子结构中的静力学问题

本文针对微机械领域中常用的静电梳微谐振子中存在的静力学问题 ,对其悬臂梁的两种结构——蟹脚型结构和直脚型结构的受力情况作了分析 ,推导出应力和位移的计算方法 ,并对蟹脚型结构的设计进行了优化 ,和国外文献进行了相比 ,它们更符合实际情况     

静电梳微谐振子蟹脚型结构的振动特性

运用梁的理论讨论了静电梳微谐振子常见结构－蟹脚型结构的振动特性,推导出计算蟹型结构谐振频率的计算公式,分析各几何参量对结构谐振频率的影响,并和静电梳微谐振子的另一种常见结构－直脚型结构的振动特性进行了比较,得到的结论对静电梳微谐振子的设计具有设计具有指导意义。     

静电梳微谐振子蟹脚型结构的振动特性

运用梁的理论讨论了静电梳微谐振子常见结构———蟹脚型结构的振动特性 ,推导出计算蟹型结构谐振频率的计算公式 ,分析了各几何参量对结构谐振频率的影响 ,并和静电梳微谐振子的另一种常见结构———直脚型结构的振动特性进行了比较。得到的结论对静电梳微谐振子的设计具有指导意义     

静电梳微谐振子直脚型结构的振动特征

静电梳微谐振子是微机械领域常用的直线型驱动装置。运用梁的理论讨论了一种常用的结构－直脚型结构的振动特性,提出了计算机结构谐振频率的实用算法。并探讨了影响谐振频率的几何参数,得到的结论对静电梳微谐振子的设计具有指导意义。     

静电梳微谐振子直脚型结构的振动特性

静电梳微谐振子是微机械领域常用的直线型驱动装置。运用梁的理论讨论了一种常见的结构———直脚型结构的振动特性 ,提出了计算结构谐振频率的实用算法。并探讨了影响谐振频率的几何参数 ,得到的结论对静电梳微谐振子的设计具有指导意义     

引导硅微结构弹性系统的力学分析方法

对静电梳微谐振器中引导硅微结构的弹性系统进行了全面的力学分析,建立了符合实际的力学模型,提出了有关的力学分析方法,推导了应力、位移、弹性常数等力学参量的计算公式。与国外文献相比,得到了结论更符合实际。     

静电梳状硅微单侧直脚谐振器的力学性能

建立单侧支撑直脚型静电梳状硅微谐振器的三次超静定简化力学模型,给出该模型中谐振频率、弹性系数和横向最大位移的计算公式.与五次超静定系统的双侧支撑直脚型静电梳状硅微谐振器的各力学性能参数的计算公式对比发现它们有显著差别.分析表明,与双侧支撑直脚型静电梳状硅微谐振器显著不同,单侧支撑直脚型静电梳状硅微谐振器的谐振频率、弹性系数、横向最大位移会随两根支撑梁的间距变化而改变,并当此间距超过某一值后,上述三变量的变化均很小且趋向于一定值.同样,后者的谐振频率会随支撑梁厚度的变化而单调改变,这也是前者所没有的现象.为此从两者因为超静定次数不同而约束冗余度不同的角度,对此现象进行了物理意义上的解释.经与试验结果对比,单侧支撑直脚型静电梳状硅微谐振器横向谐振频率的理论值与实测值吻合较好,最大误差为12.07%.     

三维微型梳齿的静电结构耦合特性研究

为了解微机电系统中,静电结构耦合作用对微梳齿结构性能发挥的复杂作用,对三维微梳齿驱动器的静电结构耦合特性进行了研究,用有限元方法仿真和分析了耦合作用在3个方向上对梳齿结构静电力或位移的影响。结果显示出3个方向的耦合作用都随着电压增大而增大,不同方向耦合作用对静电力和位移的影响不同,其中x方向上的作用最为显著,考虑梳齿在不同情况下的耦合作用对梳齿结构的设计、驱动电压的选择等有指导意义。     

单侧支撑静电硅微谐振器的试验研究

对设计梁长120μm、梁宽2μm的单侧折叠梁微谐振器进行试验研究,测定了常温常压下的谐振频率、品质因子以及不同电压下的谐振振幅,并与相同条件下、相同梁长的双侧支撑微谐振器的试验结果进行了对比.研究表明谐振振幅是直流偏置电压的线性函数,是交流驱动电压的二次幂函数;相同条件下,单侧支撑微谐振器的振幅输出大于双侧支撑微谐振器的振幅输出.     

微谐振器中静电切向阻力的仿真分析

微谐振器在MEMS器件中广泛作为感知或致动单元，但其工作在静电场中的部分构件，因微小间隙常会产生静电切向阻力。通过简化硅微谐振器为一微平行板电容模型，利用有限元仿真软件ANSYS时光滑与粗糙表面平板所受到的静电切向阻力进行了仿真分析。结果表明：静电阻力随着平板之间电压、ly／d的增大而增大，光滑表面平板模型仿真结果和理论结果具有较好的一致性，而粗糙表面平板模型仿真结采和理论结果的偏差随着电压的增大而增大。     

高楼逃生装置的从动轴力学分析

从动轴是逃生装置的重要零件.通过有限元分析得出从动轴的受力变形,主要是在轴受力的情况下,对从动轴的受力和动态特性进行分析,达到从动轴轻量化设计的目的,实现了模型结构的优化设计,同时为同类零部件的生产加工提供理论依据.     

ZJ50J双升式机械驱动石油钻机振动模态分析

应用模态分析技术、振型截断法,对专利证书号第 ３５２４６６号的 ＺＪ５０Ｊ双升式机 械驱动石油钻机振动特性进行研究。通过对结构固有频率和固有振型数据分析,判 断其对设计结构关键部位、基本参数的影响;通过对结构在设计的外界激励下动态 响应的研究,对该石油钻机的设计、动力配置、安装联结等提供理论依据。     

精梳机顶梳的作用分析及改进

分析了顶梳的功能及作用,指出了现行顶梳的缺陷,并分析了其原因,提出了顶梳的改进方向及发展趋势。     

散热片与散热管紧固效果力学分析

采用弹塑性理论计算在不同胀头作用下,不同材料散热片与散热管的应力与变形从理论上探明了通过机械胀管法使散热片与散热管紧密配合机理,并通过实验验证了理论结果。     

六自由度伺服机器人的运动特性分析

对伺服机器人的运动特点,运动学模型,运动学正解,运动学逆解等问题进行深入分析,获得了机器人的运动学参数,为进一步研究机器人的轨迹规划、动力学分析、机器人的控制等问题打下良好的基础.     

机械离心式转速敏感元件的灵敏性分析

本文从理论和试验二个方面论证影响机械离心式转速敏感元件灵敏性的因素。为进一步改善敏感元件性能奠定理论基础。     

基于UG的液体黏性调速离合器被动轴有限元分析

对液体黏性调速离合器被动轴实现了UG精确建模与有限元计算,对计算结果加以传统力学计算验证,定量分析了应力集中对被动轴应力的影响,定性分析变形对轴密封性能的影响,为被动轴优化设计提供了参考依据.     

压电式振动给料器驱动部件的力学分析

利用ANSYS软件分析了压电式振动给料器驱动部分,提取了固有频率和应力分析图,计算得出了幅频特性曲线。研究共振弹簧与系统共振频率之间的关系,找出了振动料斗的共振频率范围,为更好的自动化控制提供理论依据。