致冷机低温泵中光屏蔽问题的探讨

低温泵一级冷阵对外界热辐射的屏蔽效果将直接影响到泵的抽气速率、极限压强、抽气容量、致冷时间等抽气性能。本文作者从低温泵冷阵的整体结构进行全盘考虑，对致冷机低温泵一级冷阵的光屏蔽性能做了研究．作者用蒙特卡洛方法模拟光子在致冷机低温泵中的运动，从而计算出一级冷阵的光子透射率和二级冷阵对光子的吸收率，以此分析了冷阵表面不同部位上，不同的发射系数对屏蔽作用的影响，并根据不同的物理模型做了对比性计算，同时对部分计算结果进行了实验验证。得到了较为满意的结果。这项研究工作对低温泵冷阵结构的设计和冷阵表面处理工艺的选择具有一定参考价值。     

可换式抽气面结构的致冷机低温泵

本文设计了一种口径为φ２００毫米的可换式抽气面结构的致冷机低温泵，粘有吸附剂的抽气板用可拆紧固件固定，具有易装和更换的优越性，其冷阵结构使非凝性气体易流向吸附剂材料。作者分析了冷阵结构与低温泵抽气性能的关系，并用Ｏａｔｌｅｙ—ＭｏｎｔｅＣａｒｌｏ方法对一、二级冷阵结构参数进行了优化，使该泵抽气效率的设计计算值达到了较高水平，对 Ｎ２为０．４０， Ｈ２为０．２２５，尤其对 Ｈ２，远远超过了国外同口径致冷机低温泵的最高指标（０．１５）。     

一种新型结构的致冷机低温泵

致冷机低温泵的抽气效率主要取决于冷阵的结构，为了提高抽气效率，在结构设计上所需采取的措施往往是互相矛盾的，难以协调，致使目前的致冷机低温泵对 Ｈ２、 Ｈｅ、 Ｎｅ这类非凝性气体的抽气效率都较低，这一弱点对于小口径致冷机低温泵尤为突出。 本文着重分析了冷阵结构对致冷机低温泵抽气效率和其它性能的影响因素，提出了结构设计的基本原则，介绍了作者依此而设计出的一种新型冷阵结构的致冷机低温泵。结构设计是借助了蒙特卡洛方法而完成的。作者在口径为φ１５０毫米的致冷机低温泵中使用了这种结构，进行了性能测试，实验结果同理论计算值基本一致。 测试结果表明，该泵对Ｎ２、Ａｒ等可凝性气体的抽气效率为０．３６～０．３７，接近国外同口径致冷机低温泵的最高指标（０．３８），对Ｈ２、Ｈｅ，等非凝性气体的抽气效率达０．２６，大大超过了国外同口径致冷机低温泵的最高指标（０．１３）。     

关于举办致冷机低温泵学习班的通知

随着表面科学、电子、半导体、镀膜等技术的发展,迫切需要具有清洁无油、耐腐蚀、工作压强范围广等特点的致冷机低温泵,目前国内已研制、生产了此种设备,为适应推广、应用这种泵的需要,中国真空学会真空获得技术专业委员会将于十月下旬,在南京工学院电子工程系举办为时十六天的致冷机低温泵学习班,人数五十人左右,有理论讲授、讲座及实检,其详细内容及报名具体办法另见报名通知单。 讲授内容; 1.低温抽气的理论基础; 2.致冷机低温泵的抽气模式及参量分析; 3.致冷机低温泵的结构及设计; 4.低温泵的冷源──小型致冷机; 5.低温泵的特性测试及…     

镀膜设备上致冷机低温泵的工作性能

迄今为止’人们都喜欢用扩散和涡轮分子泵作为镀膜设备的抽气手段。随着操作可靠和不用保养的低温致冷机的发展，使低温泵同样能应用于镀膜设备。 本文所介绍的试验是使用一台在２０°Ｋ工作温度下具有１０瓦致冷功率的低温泵，其对氮的抽速为４５００升／秒，对氢为７０００升／秒。对氢具有这样高的抽速，这对镀膜设备正是特别重要，在低温面上涂上活性碳才能达到这样高的抽速。     

基于CFD方法的低温泵热力学设计与数值仿真研究

通过CFD数值仿真的方法对低温泵一级冷阵和二级冷阵降温过程以及稳态平衡过程的热力学情况进行了研究。研究针对低温泵不同的运行工况, 导热柱的设置以及冷屏厚度等因素的影响, 分析了各种情况下低温泵的温度分布情况。同时文章还对低温泵降温过程分别采用稳态物性和变化物性进行计算, 分析物性的定性温度以及低温泵一级冷阵的结构对计算结果的影响。针对DN400低温泵建立测试系统进行降温情况的测试, 通过测试和仿真计算的结果进行对比, 确认了设计和分析方法的有效性, 降温时间的计算误差约为7%。     

制冷机低温泵抽速测试方法探讨

本文指出用常规的抽速测试方法来测量制冷机低温泵的抽速是不合理的。根据低温泵的特点以及对低温抽气研究的回顾，对低温泵的抽速测试罩进行了理论分析，并给出了压强的理论计算误差，据此推荐了几种制冷机低温泵的抽速测试方法。本文最后介绍了最新研制成功的ＺＤＢ－１３００制冷机低温泵的抽速测试。     

举办致冷机低温泵学习班

随着表面科学,电子,半导体,镀膜等技术的发展,迫切需要具有清洁无油,耐腐蚀,工作压强范围广等特点的致冷机低温泵,目前国内已有研制,生产,应用此种设备。为推广其应用,中国真空学会真空获得技术专业委员会于十月下旬,在南京工学院电子工程系举办为时十六天的致冷机低温泵学习班,人数五十人左右,有理论讲授,讲座及实验,详细内容及报名具体办法详见报名通知单。讲授内容: 1.低温抽气的理论基础, 2.致冷机低温泵的抽气模式及参量分析, 3.致冷机低温泵的结构及设计,     

双级G-M循环制冷机的研制

为了研制 ＤＺＢ－２００型封闭循环式低温泵的需要，我们研制了双级 Ｇ－Ｍ循环制冷机。 本文主要介绍了Ｇ－Ｍ循环制冷机的一般概况，制冷机的流程图、工作原理、热力学分析的结果。从而提供了Ｇ－Ｍ循环制冷机最佳运转参数的选择，制冷机基本结构型式及其主要尺寸的确定。最后介绍了双级Ｇ－Ｍ循环制冷机测试手段、方法和结果等等。     

低温抽气──工艺和应用

低温抽气是在温度很低的表面上冷凝气体的过程,现在已证明这是在自由分子流范围内获得最清洁真空的方法之一。它能消除油扩散抽气系统存在的污染的危险性并建立一个很安全的环境。其它固有的特点包括:对所有的可冷凝气体都有很大的抽速,真空室的开始粗抽和低温泵的定期再生仅需要粗抽泵。大部分低温泵可以用任何角度安装,并能耐大气偶然漏入。 为了适应空间模拟方面应用需要建立极清洁的真空环境而研制了低温泵。作为初期研究成果,低温泵已经广泛地用于要求清洁表面和工作可靠的薄膜溅射和蒸发工艺,半导体、光学镀膜和装饰镀膜。 低温泵的主…     

12位清洁开关管真空排气系统

这个系统是真空开关管的真空排气系统。由机架、主真空室、１２支预抽管路、超高真空插板阀和ＺＤＢ－２５０型低温泵组成。经过半年的运转系统工作正常。     

低温泵的应用

由于低温泵具有无污染、工作压强范围宽、极限真空度高、排气量大、使用方便等优点,因而在各种需要应用真空的领域有了愈来愈多的应用。1.半导体工业真空溅射、汽相沉积、离子注入、电子束制版、离子束剥离、等离子刻蚀等新工艺的出现,不断地推动着半导体和集成电路工业的革新和发展。这些工艺对真空技术的共同要求是清洁无油、抽速较大,并能在器件工艺室内快速获得高真空。采用小型致冷机低温泵完全能满     

溅射离子镀膜

溅射离子镀膜是一种高度牢固性离子镀膜的新方法。它特别适用于高熔点金属合金和混合物的沉积，而且同样适用于更有用的低熔点材料。目前研制的这种方法，来用简单的氩中直流辉光放电，通过离子轰击（溅射）作用，由相应的阴极（靶子），把材料输送到适当地装在低真空室内部的基板上。成功与否取决于室的正确设计和在约１０－４巴压力下纯净气体的连续流量。室本身或内部衬套的布置，适于在 ２００℃以上的高温下工作，泵的连接，能防止污染气体和蒸汽的返扩散。因此，即使维持过程要求的低真空，只需要简单的机械泵，但是在镀膜区也能容易地得到纯洁的气体条件。可以把阴极配成薄板形或其他要求的几何形状，以便获得高的发射能力和高度的镀膜均匀性，一般不要求基板的旋转或运动。除混合物阴极（或具有两个以上的元件的阴极）的直接溅射外，可以放进化学活性气体并控制其浓度，以便通过反应性溅射来沉积混合物。目前镀膜速率为０．５──５微米／小时。对基板加负偏压，以进行离子清洗，同时在沉积过程中控制镀膜结构。如果实现了适当的寓子清洗，涂层对基板的粘着力总是很高的。     

小型闭循环氦致冷机低温泵的结构设计与特点

引言低温抽气是利用低温表面和低温吸附介质来冷凝和吸附气体从而获得并保持真空的一种装置。它具有清洁无油、使用灵活、抽速大和工作压强范围宽等优点。特别是致冷机低温泵还具有结构简单,操作方便,能连续工作,寿命长等特点。因此它被广泛地应用于空间模拟、受控热核反应、高能物理、等离子体物理、电子学、极高真空技术、真空镀膜等领域,具有较强的生命力。 ZDB—150型低温泵是用小型闭循环氦致冷机冷却的,泵口直径为150毫米,该泵是在我院研制成功G—M氦循环致冷机的基础上进行设计和制造的。致冷机的致冷原理,是基于气体的膨胀,──西…     

制冷机低温泵的抽速测量

为了简便地、正确地测定制冷机低温泵的抽气速率，回顾了泵的抽速测量发展过程和现行测试规范的制定。分析了制冷机低温和扩散泵特性的相似性。认为测试罩的几何尺寸、进气管的位置与进气管的位置与进气方强的正确测量。它们都与本征抽速的测量方法有关。用两种测试方法对我们研制的ＺＤＢ－５００Ｋ制冷机低温泵的抽速进行了测量，并对测量结果进行了分析。认为ＩＳＯ中为扩散泵抽速测量所制定的规范对制冷机低温泵是适用的。     

低温泵的新发展

本文评述了小型致冷机低温泵，对氦、氢吸附抽除及供核聚变实验用超大型低温泵。     

现代低温泵优化设计

现代低温泵（制冷机低温泵）是七十年代末发展起来的一种新型真空泵，目前国外巳大量生产并在半导体微电子技术、新型材料科学、光学和装饰类镀膜、原子能工业、空间模拟以及环境试验等方面得到了广泛应用。本文简要介绍了低温抽气机理、典型结构及主要参数和尺寸的设计计算，并给出了降温时间计算式，最后对低温泵优化设计提出一些看法。     

论文题录

(以收到论文先后为序)真空获得技术专业委员会首届学术会议论文选辑ZDB—500型致冷机低温泵──性能及结构特点简介　　　　　　　　　　　………………………510所　崔遂先、郭盛厚、杨一民、郝兰英超高真空镀膜机用低温真空泵的设计考虑…………………………………南京工学院     

带有整体式K20致冷机的低温泵在真空淀积工艺中的应用

用致冷机工作的低温泵证明在研究和发展中是十分成功的。同普通真空泵相比，这种低温系统具有抽速大，获得无碳氢物真空、工作范围宽和操作成本低的优点。Ｋ２０型双级致冷机同在冷凝和吸附下抽气的低温泵组合在一起。本文讨论了这种泵的结构和性能。通过商用镀膜机的操作，测出了泵对氮、氢和水蒸汽的抽速以及容器压力对抽气时间和抽降周期数的曲线关系。测量结果表明，这种冷凝和吸附面设计合理的低温泵大大地超过了今天所使用的各种类型泵。     

金拍得丽Z—2000D

今年４月，普立尔照相机有限公司又推出了金拍得丽系列的新品相机Ｚ７００２Ｄ、Ｚ２０００Ｄ、ＢＦ８７Ｓ／Ｄ，据普立尔（香港）有限公司总经理刘明识先生透露，新品相机一面市，即受到广大消费者的青睐，尤其是Ｚ—２０００Ｄ出现了供不应求的好势头，目前，该相机外销...