高加速度超精密激光外差干涉测量模型

为了精确地描述激光外差干涉在高加速度超精密测量中加速度对位移测量精度的影响机理与规律,建立了高加速度超精密激光外差干涉位移测量模型.通过分析测量棱镜三维运动对多普勒频移的影响,推导出高加速度激光外差干涉位移测量模型.理论分析和仿真实验表明,当测量加速度为9m/s2,匀加速运行的位移为500mm时,由于加速度变化引起的相对论性效应对测量精度的影响为5nm.高加速度超精密激光外差干涉位移测量模型的建立,可提高激光外差干涉在高加速度超精密测量中的测量精度,为激光外差干涉在高速和超高速测量领域的应用提供了理论依据.     

激光干涉波形解调测量振动相位新方法

激光干涉频比计数法广泛应用于绝对法振动标准装置,针对频比计数法只能测量振幅不能得到振动相位,提出一种利用激光干涉条纹与振动台运动位移之间的关系,实现测量振动相位的新方法,并给出激光干涉波形解调测量振动相位的数学模型。该方法基于零差的迈克尔逊激光干涉仪,利用高速采集器同步采集激光干涉信号和传感器信号,并在Lab VIEW虚拟仪器开发平台上,软件解调振动波形,实现振动幅值和振动相位的实时测量。测量结果与正弦逼近法相一致。     

用于微位移测量的迈克尔逊激光干涉仪综述

迈克尔逊干涉术测量微位移可实现纳米甚至更高的分辨力,并且具备能直接溯源至激光波长等诸多优点,是目前微位移测量的重要技术手段.以限制迈克尔逊干涉仪品质提高的非线性误差为主要切入点,对目前各种基于迈克尔逊干涉原理的激光干涉技术进行了分类介绍,主要讨论了微位移测量中实现高精度和高分辨率的干涉测量技术,最后展望了激光干涉法测量...     

浅谈激光计米器

一、激光计米器的原理 激光计米器用双光线的激光多普勒干涉测量技术,实现非接触式长度测量.激光源发射出的激光通过光束分离器产生两束光在被测物体表面产生明暗相间的干涉条纹,光检测器通过回收激光检测到干涉条纹的变化,输出相应的电信号.被测物体移动,光检测器获得信号,测出被测物体的速度,并精确计算出通过测量区域的该物体的长度.     

绝对距离测量技术综述

本文从非相干测量和干涉测量两方面综述了绝对距离测量技术方法。重点介绍了干涉测量法中的半导体激光调频干涉测量技术在绝对距离测量中的一些新应用和新方法。     

新型激光干涉仪

ＬＭ－６Ｄ激光干涉测量系统是于１９９８年推出的新型激光干涉仪,一次安装调整能同时测出位置（长度）,Ｘ及Ｙ方向直线度、信仰角、偏摆角和滚动等六个参数值。不仅保持了激光干涉测量精度高的特点,同时实现了多参数同步测量,减少测量时间８０％,大大提高了测量效率。     

激光自混频干涉法测量表面粗糙度的理论分析

设计了一种半导体激光自混频干涉法测量表面粗糙度的实验，对半导体激光自混频干涉法测量表面粗糙度中的干涉效应进行了理论分析，推导了干涉信号与表面粗糙度的数学关系式，讨论了影响测量信号的因素。实验结果表明，随着加工表面粗糙度的降低，反射光的强度逐渐增加，被测物体表面的反射率越高，越有利于测量。     

光学倍频影响激光外差干涉测量精度的机理

为了同时提高激光外差干涉测量的分辨力和精度,必须深入分析光学倍频对激光外差干涉测量精度的影响机理。在此基础上,建立了光学倍频相位测量模型,从理论上证明,光学倍频能够实现对激光外差干涉信号的细分,提高测量分辨力。光学倍频改变非线性误差的相位而使非线性误差减小,但同时改变了激光干涉多普勒频移的v/c平方项,使得残余累计误差增大。仿真结果表明,光学N倍频使非线性误差减小到原来的1/N,但使残余累计误差增大N2倍。因此,光学倍频仅适用于低速测量的场合。     

半导体激光端点测长干涉仪实验系统

半导体激光端点干涉测长法是利用半导体激光频率调制特性的一种在长度的两个端点干涉测量长度的新方法。本文介绍基于这种测长方法研制的半导体激光端点测长干涉仪实验的基本原理,构成,定标方法和测量结果。     

动态三维面形测量

简述三维测量必要性和要求后，提出用光栅莫尔三维测量，激光全息干涉计量和计算机全息干涉计量的工作原理。     

动态三维面形测量

简述三维测量必要性和要求性，提出用光栅莫尔三维测量，激光全息干涉计量和计算机全息干涉计量的工作原理。     

原子干涉中的拉曼激光技术

介绍用拉曼激光激励冷原子云团实现原子干涉以及用原子干涉测量重力加速度的原理，讲述了拉曼激光的组成及其频率、相位的控制以及多普勒频移补偿的方法。     

激光回馈精密测量技术及应用

介绍了激光回馈干涉的理论模型,阐述了激光回馈测量灵敏度高、装置结构简单、可自准直、能够对非合作目标进行精密测量的技术特点。探讨了激光回馈测量技术在工业和科研领域中的应用方向,包括位移、角度、振动、绝对距离测量等,指出利用倍频复用、频率复用、偏振复用、全程准共路等技术可提高回馈测量的应用性能。分析了激光回馈测量相较传统干涉测量的优势,展望了激光回馈测量技术在科学研究、工业生产、精密制造等领域的应用前景,提出通过提高光源稳频精度、研究不同光回馈水平下的实验现象和理论模型、探索新型激光器的回馈效应等方式,进一步提升激光回馈干涉仪的灵敏度和测量性能。     

气体脉冲压力的激光干涉法测量

对气体动态压力的非接触测量和溯源方法进行了研究。研制了基于激光干涉法测量气体脉冲压力的实验装置,通过光程与压力关系计算分析出气体脉冲压力的幅值和脉宽。建立了动态压力测量模型,并对测量不确定度进行了分析。开展了气体脉冲压力激光干涉测量实验,使用动态压力传感器和激光器进行同步测量,激光干涉法测量结果偏差较小,验证了装置测量的准确性。结果表明：本装置产生的脉冲压力信号稳定可靠,光学测量信号准确度高,具有实时性、非接触、可溯源等优点,可实现气体脉冲压力的测量,装置测量结果的相对标准偏差小于0.8%,测量结果的不确定度小于2%(k=2)。     

新型零差激光干涉仪测量误差因素分析

介绍了新型零差激光干涉仪的测量原理,实验和理论分析了干涉条纹宽度、激光光强、散斑效应对该激光干涉仪测量误差的影响。结果表明,干涉条纹宽度对振幅测量值影响并不明显,测量误差为0.5%;光强变化引起的振幅测量误差为0.5%,光强较弱会增大测量误差;散斑效应引起的振幅测量误差与透镜参数有关,测量误差为0.4%。该新型零差激光干涉仪可有效降低测振系统对测量环境的要求。     

激光—多普勒弹射冲击速度校准方法

介绍了采用激光－多普勒振干涉系统绝对复现大位移、宽脉冲的冲击加速度量值的方法，说明了干涉系统的构成及原理。这种方法适合于长距离干涉测量和动态干涉测量。     

CCD线阵摄像机用于激光干涉条纹的微机数据采集系统

本文介绍适于摄取和分析激光干涉图象的微机数据自动采集系统的原理和结构，并就激光干涉条纹用于成象镜头质量检测的实例给出了测量结果。     

激光─多普勒弹射冲击加速度校准方法

介绍了采用激光─多普勒偏振于涉系统绝对复现大位移、宽脉冲的冲击加速度量值的方法，说明了干涉系统的构成及原理。这种方法适合于长距离干涉测量和动态干涉测量。     

激光全息和其他光学检测术在航空航天工业中的应用

激光全息和其他光学检测术在航空航天工业中的应用朱建堂（成都飞机工业公司工研所，６１００９２）激光全息检测系指应用激光干涉技术对任意形状和表面状况的物体进行三维干涉检验和测量。。全息干涉计量术是普通干涉计量与光学全息术相结合的计量术，是一种微差位移（或...     

共路激光干涉测量系统的研究

激光干涉测量系统在精密测量领域占有重要地位,它对温度变化、大气变化、激光波长变化、机械安装误差和外界振动等比较敏感,影响系统的测量精度和稳定性。针对此情况,该文提出一种新型的激光干涉光路,两光臂呈完全共路结构,使干涉条纹信号具有极强的抗干扰能力;对光路进行抗干扰分析和理论推导;构建位移测量系统,进行系统测试实验和误差分析。实验表明,本系统测量分辨力0.72nm,合成标准不确定度5．2nm（k=2）,运行速度0．56mm／s,量程0．01mm。