湿敏元件电极的制造方法和提高黄金利用率的措施

<正> 引言 众所周知,湿敏元件的功能是检测环境空间湿度的电测元件,通常有电解质、高分子、半导体陶瓷这三大类型,不管是属于那一种类型的湿敏元件它都由感湿、电极、结构这三个部份所组成。 湿敏元件电极的理想特性应当是:     

电容式高分子湿敏元件响应时间的测定

<正> 一、前言 响应时间是湿敏元件重要参数之一,评价一种湿敏元件,总是比较关心这种湿敏元件的响应时间。 测定响应时间必须规定湿度变化率及选择合适的湿度源。对陶瓷等电阻式湿敏元件,常规定达到63％湿度变化量所需的时间为响应时间。对电容式高分子湿敏元件,常规定达到湿度变化量的90％时所用的时间为响应时间。至于测定响应时间时所选择的标准湿度源,没有统一规定,通常     

铁酸镧与高分子复合材料湿敏元件特性分析

采用纳米铁酸镧与高分子复合材料制成湿敏元件。研究了复合材料和湿敏元件的制作,测试讨论了灵敏度、湿滞、电容特性、阻抗特性、响应 恢复时间等湿度敏感特性。结果表明:元件的灵敏度较高、湿滞较小,元件的电容值和阻抗值随频率与相对湿度而变化。     

电容式湿度传感器“输出限幅”的机理探讨

介绍了高分子电容式湿度传感器“输出限幅”现象出现的三种情况 :在特定的振动环境条件下、在湿敏元件失效前期时、在高湿环境条件下。从电路、湿敏元件、使用条件等方面进行机理分析 ,给出了试验结果。     

应用新型电容式湿度传感器与逻辑鉴宽器结合调节空气湿度

０　前　言由各种材料制成的阻抗式湿敏元件,虽然其灵敏度高,但温度系数也大,其阻抗对温度的函数关系复杂。这给湿度传感器带来温度补偿的困难。实践证明,采用阻抗式传感器来检测湿度,检测误差大,动态特性与静态特性都不太理想。对湿度控制系统来说,湿度检测是个难点,也是关键。笔者采用新型电容式湿度传感器与逻辑鉴宽器结合,能方便而可靠地调节湿度。１　电容式湿敏元件几何结构一定的电容器,其电容量与两极间介质的介电常数成正比。而介电常数又随空气湿度变化而变化。依此原理可制成电容式湿敏元件。专门用于检测湿度的电容介…     

以石墨粉为造孔剂制成的多 孔湿敏陶瓷及其特性分析

本文报道的钴铁尖晶石多孔湿敏陶瓷,具有电阻率低,电阻和相对湿度呈线性关系的特点。该材料制成的湿敏元件不需要加热清洗,性能稳定。以石墨粉为造孔剂制成多孔湿敏陶瓷,可以提高湿敏元件的湿度灵敏度,并且有利于改进湿敏元件的长期稳定性。最后,讨论了石墨的钝化作用。     

高分子薄膜电容式湿敏元件

本文叙述高分子薄膜电容式湿敏元件的研制意义,测湿原理、湿敏元件的构造,感温材料的感湿机理、湿敏元件的性能。性能包括感湿特性,响应特性,温度特性,频率特性,耐湿耐水性,长期稳定性等。湿滞回差小,线性好,响应时间短,温度系数小,稳定性好是所研制的湿敏元件的突出特点。电容式湿敏元件是非常有前途的一类湿敏元件。     

水热腐蚀铁钝化多孔硅的湿敏特性研究

采用水热腐蚀铁钝化法在单晶硅片上生长铁钝化多孔硅(IPS)薄膜,以IPS为感湿介质制成湿敏元件。在不同湿度环境以及测试频率下,测出其电容值,得到了IPS的湿敏特性曲线。研究发现,当相对湿度从11%RH逐渐增加到95%RH的过程中,在测试频率为100Hz时,IPS湿敏元件的电容值增大幅度达1500%,电容响应时间在升湿过程和脱湿过程分别为15s和5s,并且IPS湿敏元件的温度系数在15℃到35℃的范围内较小。结果表明:IPS湿敏元件的特性包括灵敏度、响应时间以及温度系数等均优于多孔硅(PS)湿敏元件的特性。     

基于MWCNTs/Nafion复合膜的高性能声表面波湿敏传感器研究

湿度检测广泛应用于工业、医疗等各个领域,对高性能湿度传感器的需求日趋迫切。首先对声表面波传感器敏感机理进行了深入的分析,得到影响其性能的主要因素。在此基础上研制出一种以多壁碳纳米管(MWCNTs)和Nafion复合材料为湿敏膜,高频声表面波谐振器为换能元件的高性能湿敏传感器。实验表明,制得的湿敏传感器在宽湿度范围内(1...     

纳米ZrO2 基烧结型双敏元件的研究􀀂

纳米ZrO2作为一种新型的陶瓷材料已被应用于许多领域.本文主要介绍了低温强碱法制备纳米ZrO2材料,利用纳米ZrO2进行掺杂制作的元件有较好的气、湿敏特性.元件具有响应恢复快、结构简单等特点.作为湿敏元件时元件电容随湿度变化大,温度影响较小.作为电阻型气敏元件时,元件对NH3的选择性高.     

新型温－湿一体化敏感元件的研究

报道了一种新型温敏和湿敏元件共享一块陶瓷衬底的传感器结构,温度传感器采用半导体氧化物 Ｎ Ｔ Ｃ 材料的厚膜结构,湿度传感器采用高分子电阻型结构,从而实现了温湿一体化。这种传感器不但给温度和湿度的同时测量带来方便,而且使得湿敏元件的温度补偿更为准确,并且具有体积小、价格廉、易于集成、使用方便等特点。     

一种新的高分子湿敏传感特性的计算方法

针对高分子湿敏元件的湿度温度系数具有一定分布范围，在不同的相对湿度下其温度湿度系数又有所区别的问题，提出了一种基于插值法任意温度下高分子湿敏传感特性的计算方法，该方法可以推广应用到存在相似问题的其他类型传感器。     

湿度传感器发展概况

<正> 在湿度传感器中,湿敏元件的物理参数随湿度的变化规则而重复地改变,如可以是材料的介电性能、导电性能、压电性能,折光指数的变化等等。湿敏元件按其功能可分为相对湿度、绝对湿度、结露和多功能式四种;按材料则一般可分为氧化物、电解质、高分子、单晶半导     

电容式湿度传感器设计

电容式湿度传感器是以高分子湿度湿敏电容器为基本感湿元件,利用单片机对测量结果进行分析处理、显示和远距离传输,测量准确度达±2.5%。     

多孔硅湿敏元件的频率特性

用多孔硅作为湿敏元件, 室温下在20Hz~100kHz频率范围,湿度从11%RH升至95%RH进行实验。结果表明:不同测试频率对多孔硅湿敏元件有较大影响,低频范围测量灵敏度高;高频范围效果不佳。讨论了频率影响的机理,其理论分析和实验结果一致。     

湿度传感器的发展趋势

介绍湿敏元件的特性,重点阐述集成湿度传感器、单片智能化湿度/温度传感器的性能特点及产品分类,最后给出集成湿度传感器典型产品的技术指标。     

基于石英玻璃基底湿敏元件的模型比较研究

对基于石英玻璃基底制备的TiO2-20%SnO2薄膜湿敏元件进行复阻抗分析,采用Origin7.5软件绘出不同湿度下的复阻抗图.在Zsimpwin软件环境下,利用3种不同的等效电路模型对该湿敏元件的复阻抗图进行拟合和误差分析比较.研究表明:引入Q元件的等效电路模型是合理的,该等效电路模型便于对薄膜离子的扩散与感湿机理进行分析.     

LB膜湿度传感器的研制

目前,陶瓷湿敏元件和高分子薄膜湿敏元件都存在一定的缺陷。为此,我们想利用新的材料及新的工艺来制作一种全新的湿度传感器,使它既具有陶瓷传感器能在高湿下使用的特点,又具有高分子薄膜传感器性能稳定、响应快等特点,并可改进工艺重复性不好的普遍性问题。LB膜是有机高分子材料有序组成的单分子层或多分子层厚的超薄膜,利用其制作技术使上面的想法有可能成为现实。     

基于Si-NPA的BaTiO3薄膜的电容湿敏性能研究

采用溶胶-凝胶和旋涂技术制备了基于Si-NPA的BaTiO3薄膜(BaTiO3/Si-NPA).场发射扫描电镜和X射线衍射实验表明,钙钛矿结构BaTiO3薄膜很好地覆盖了Si-NPA表面.通过蒸镀双面梳状电极,制作了电容型BaTiO3/Si-NPA湿敏元件并对其湿敏性能进行了测试.结果表明,室温下湿敏元件在11%～95%RH范围内具有很高的灵敏度和较快的响应速度,且电容值的对数对湿度呈现出很好的线性.虽然该薄膜湿敏元件在不同湿度下均存在温度漂移,但分析表明这种漂移有可能通过电极设计或信号补偿加以解决.     

高分子电容式湿度变送器温度补偿方法

提出一种新的高分子电容式湿度变送器温度补偿方法。实验结果表明 ,利用温度特性各异的高分子电容式湿敏元件互补进行温度补偿 ,可有效地减少温度系数和非线性误差、提高高分子电容式湿度变送器的准确度