激光产生MgIX等离子体软X射线谱的识别

用掠入射光栅光谱仪拍摄了4～12nm波段范围内镁的激光等离子体软X射线发射光谱。利用等电子数序列离子光谱的规律性,对镁的类铍电离级离子跃迁的软X光谱线进行了识别。     

激光等离子体软X射线量的初步测量

研制了一种脉冲重复频率为１０ＨＺ的激光等离子体软Ｘ射线源。采用Ｘ射线能量计对光源的单脉冲Ｘ射线能量进行了测量并讨论了其结果。     

用激光等离子体产生的软X射线研究活生物组织的超微结构

用激光等离子体产生的软Ｘ射线作光源的接触显微术，在以下几方面都优行电子显微术。首先，软Ｘ射线可穿透水，但却会被碳吸收，因此生物样品不必作任何不甘落后 化学凝固，直接在溶体环境中就可得到高分辨率的图像。其次，使用短脉冲激光保证在样品还来不及移动或被激光辐射破坏之前即可对其记录成像，因此可实现时间分辨成像。     

激光等离子体X射线（LPX）辐射及其实验研究

本文阐述了高功率激光作用到固体靶上产生激光等离子体X射线辐射（LPX）的过程及其主要特性。进行了LPX光谱特性的实验研究，获得了强激光作用下镁（Mg)元素5＝10A的LPX线状谱和连续谱，并对该实验结果进行了分析和讨论。     

小型激光等离子体软X射线源辐射特性研究

研制了一种高重复频率小型激光等离子体软Ｘ射线源，其发射重复性涨落优于±４．５％。采用光谱学诊断方法系统研究了光源的软Ｘ射线辐射特性。     

等离子体波导中光场感应电离软X射线激光研究进展

利用等离子体波导实现光场感应电离(OFI)X射线激光放大,一方面可以降低产生X射线激光的抽运激光阈值,从而提高由于自散焦而降低的有效激光功率密度;另一方面,由于等离子体中产生的大量电子被束缚在等离子体波导内,降低x光信号色散影响,可以大大提高激光增益长度,这是一种实现台上X射线激光新的抽运机制.详细介绍了光场感应电离x射线激光、强激光等离子体波导以及等离子体波导中光场感应电离X射线激光的研究进展.     

13nm投影光刻用激光等离子体软X射线源

软X射线投影光刻能够制作出特征线宽小于0．1μm的线条。激光等离子作源的研究是软X射线投影光刻中几项关键技术之一。本文报道了13nm投影光刻用激光等离子体软X射线源。对Sn（Z＝50）靶的激光打靶条件进行初步优化，测定了其在10～20nm波段范围内的辐射相对强度分布。     

实验软X射线系统及其应用的进展

本特集选自21世纪软X射线国际专题会议论文集。     

Soft X-ray Pulses from a Repetitively Laser-produced Plasma

The operation principle, structure and performance of the newly developed soft X-ray pulses detecting device are presented. The soft X-ray detecting device employed a laser-produced plasma source and a grazing incidence constant deviation monochromator. The measurement reaults of the laser-produced plasma source were given.     

激光等离子体亚微米光刻术的初步研究

描述了用高功率脉冲激光打靶产生的等离子体作为软Ｘ射线源而进行的接近式软Ｘ射线光刻研究。采用正性光刻胶ＰＭＭＡ．得到了一些新的研究结果．     

激光诱导Al等离子体的时间分辨光谱

用YAG脉冲1.06μm激光,在高真空轰下击A1靶,观测到AlⅠ,AlⅡ和AlⅢ等离子体的若干谱线.利用快速脉冲发生器和光学多道分析仪(OMA),对激光脉冲和等离子体谱线的时间分辨特性进行了比较和测量.在激光脉冲作用期间均会产生连续的辐射谱.在激光能量较小时,等离子体谱线峰值在激光脉冲峰值后延迟一定时间出现,而在激光能量较大时,谱线峰值在激光脉冲期间产生.     

应用微分电磁理论研究软X光衍射光栅

微分法是软Ｘ光波段唯一精确计算衍射光栅效率的电磁理论。应用这种理论成功地设计出带有位相光栅的软互光激光反射输出镜，计算出可能的实验误差。对微分理论的数值结果和精度进行了分析和讨论。     

激光诱导Al等离子体发射光谱分析

激光诱导等离子体技术长期以来都是研究激光与物质相互作用的重要课题。研究并设计了激光诱导等离子体实验系统,应用Nd:YAG激光器诱导Al样品产生等离子体,获得了不同能量下的Al等离子体发射光谱,分析了Al样品中所含元素种类以及谱线强度与激光能量之间的变化关系。实验结果表明,Al样品中含有Fe、Mg元素,随着激光能量的增大,谱线强度明显增大。     

低碎片激光等离子体软X射线源的实验研究

报道了一种以固态ＣＯ２为靶的低碎片激光等离子体软Ｘ射线源的初步研究结果,描述了光源的结构及自制的透射光栅谱仪,测量了该软Ｘ射线源的光谱辐射特性,并对它的污染情况进行了研究。     

软X射线能谱测试Ross滤片对设计

为获得“阳”加速器上Z箍缩等离子体软X射线辐射谱，设计了一套6通道的软X射线能谱仪，谱仪范围0．1keV-1．5keV，采用Ross滤片差分法。文中介绍了测量箍缩软x射线能谱的Ross滤片对的设计。并从理论上计算了对应“阳”加速器上等离子温度为20eV的黑体辐射谱时，PIN探头的输出电流，从计算结果来看，很好地满足了设计要求。     

软X射线偏折仪用自支撑莫尔光栅研制

介绍了莫尔光栅制作的主要方法和进展。利用紫外光刻、离子束刻蚀技术制作自支撑金莫尔光栅，讨论了金膜厚度要求、电镀金膜质量和光栅占空比控制等影响莫尔光栅质量的关键技术问题。实验结果表明，通过设计较小占空比的光栅掩模、紫外光刻时擦除基片边缘的光刻胶棱以消除衍射效应、离子束刻蚀时基片倾斜一定的角度旋转刻蚀等措施可以改善自支撑金莫尔光栅的占空比。     

紫外激光烧蚀金属Al靶诱导等离子体的发射光谱研究

通过测定紫外激光烧蚀Ａｌ靶诱导等离子体的发射光谱，研究了激光烧蚀Ａｌ靶的溅射过程和烧蚀环境气体对发射光谱强度的影响，提出电子碰撞激发模型，定性解释了烧蚀环境气体对等离子体发射光谱的增强效应。