微细加工用双足式大行程微动工作台的研究

大行程微动工作台是微细加工设备的重要组成部分,针对当前微动工作台行程小,或行程较大而其检测控制复杂等不足,提出了一种“双足式移动”的新原理,并研制了一台双足式大行程微动工作台。该工作台由两套进给和支承微位移器来实现进给和支承,在研究中,提出了玫套检测控制系统,可对工作台的移动位移大小和方向进行实时控制,这种检测控制系统可以使工作台按照任意的路径进给。该工作台还具有很多优点：比如分辨率高、无导轨、无     

高精度工作台精度分析

本文着重对精密工作台导向导轨的面形误差及装配位置误差对工作台直线性精度的影响这一专题进行了分析,并提出了该类结构在导轨精度一定的条件下如何提高工作台直线性精度的具体方法。     

直线运动精密工作台精度分析中的几个问题

一、研究工作台精度的迫切性由精密丝杆、螺母及导轨付组成的双座标直线运动精密工作台是一种用途广泛的典型机械设备。随着加工对象精度的不断提高,对工作台的移动及定位精度要求日益增     

LED粘片机晶圆芯片供送系统分析

分析了粘片机晶片工作台机构,对该工作台的运转灵敏度、平稳性和精度保持性进行分析计算,重点计算了工作台的最小位移分辨率和定位误差,实现其工艺要求。     

x—Y精密工作台系统

本文以当前比较先进的一些微细加工设备所采用的精密工作台系统为例,介绍了精密工作台的基本结构形式,导轨的种类,并概略地介绍了工作台的伺服、测量、补偿修正等系统。通过分析各类工作台系统的优缺点,指出了工作台及其所属子系统的基本发展趋势,为工作台的设计研制提供了一定的参考资料。     

人工全膝关节置换术后早期感染的治疗

设计一种以压电陶瓷为驱动,通过柔性机构放大输出位移的精密定位工作台.给出了该精密定位工作台的结构模型,建立了精密定位工作台的位置输入输出方程,分析和计算了柔性铰链微位移放大机构的位移放大倍数.通过仿真确定工作台各自由度的变形量与压电陶瓷驱动器伸缩量之间的关系与运动特性.结果表明,该精密定位工作台能实现定位误差为0.1 μm的高精度定位.通过与3点支撑微位移放大机构工作台的比较,显示出4点支撑微位移放大机构工作台可减小交叉耦合的影响.     

双维工作台空气静压导轨研制

本文着重介绍了一种由空气静压止推轴承组成的空气静压导轨,论述了其结构原理、数据及实用化过程中解决的关键技术难题。为高精度工作台提供了一种良好的导轨机构。     

精密导轨的光电测试

长刻机具有精密丝杆、精密导轨和工作台。用光电自准值仪和桥板测试导轨，给出了三台刻机导轨的测试结果，还对一台长刻机和另两台机床的工作台进行了测试工作。     

微动工作台行程放大结构的设计和分析

研究开发了一种新型的大行程二维压电微动工作台。介绍了弧曲位移放大机构的工作原理,分析了影响放大机构性能的因素;工作台的柔性铰链、弹性平行导板机构、弧曲位移放大机构,采用一体化设计,实现了大行程,并满足了传动导向的高精度、高稳定性要求;与采用杠杆放大的二维工作台作了简单比较,对各自的优缺点作了客观分析。     

通用计算法在精密工作台精度分析中的应用

本文应用无限小线性变换原理,导出了V—平型导轨工作台位置精度数学模型。通过实例说明新方法是正确的,并具有通用性广、精度高和计算简便等优点。     

STM微位移工作台的遗传神经网络控制技术

为了提高扫描隧道显微镜微位移工作台的定位精度,提出了一种基于遗传算法的神经网络PID控制方案。微位移工作台以压电陶瓷为驱动器、柔性铰链为导向机构,在分析工作原理的基础上,建立了工作台的数学模型。神经网络PID控制器对工作台进行闭环控制,能够在线调整网络加权值,实时改变PID控制器的系数,减小工作台的位移误差。利用遗传算法的全局搜索能力对BP网络的初始权值进行学习优化,有效消除了神经网络对初始权值敏感和容易局部收敛的缺陷,改善了控制器的控制效果。性能测试表明,12μm阶跃参考输入下的稳态误差从3.24%减小到2.55%,稳态时间从1.7 s缩短到1.1 s。     

波长计中运动导轨的稳速控制方法及实现

波长计要求导轨运行平稳，直线性好。导轨采用音圈电机拖动。音圈电机结构简单、维护方便、响应速度快。依据等效力学模型和等效电路模型，得到音圈电机位移一电压传递函数。采用PID调节器，实现音圈电机的稳速控制，满足波长计的运动要求。     

电子束曝光机吊装结构工作台的分析研究

本文介绍了电子束曝光机激光定位工作台的一种新型吊装结构。用有限元法分析了吊装结构工作台的静态特性及其对测量系统定位精度的影响,并用散斑摄影法测试了模拟吊装结构工作台的静态变形位移。分析与实验表明吊装结构工作台是实现亚微米定位精度较理想的切实可行的结构方案。     

划片机工作台仿真分析

以划片机悬臂工作台和桥型工作台为载体,运用ANSYS Workbench仿真软件通过Mohr-Coulomb强度理论分别对两种不同的三轴结构进行位移变形和应力仿真。从仿真结果得出较大变形发生的位置及大小,且桥型工作台结构优化于悬臂工作台结构。     

用望远系统移动法检测导轨不直度

本文研究望远系统在导轨上移动时光线的偏折引起莫尔条纹的位移来检测导轨。该法方便,精度高而可调。     

精密工作台扰动观测器的设计

针对直线电机驱动、气浮导轨支撑的精密工作台没有阻尼、抗扰性能差的特点,为了抑制各种线缆扰动和直线电机推力波动的影响,提高工作台的定位精度、减小轨迹跟踪误差,采用扰动观测方法,基于直线电机精密工作台设计了前馈 反馈 扰动观测的控制器.详细讨论了扰动观测器的设计方法.实验结果表明,采用扰动观测器后,实现了±0.15μm 的静态定位精度,以150 mm/s匀速运动时轨迹跟踪精度保持在±1.5 μm 的误差带范围内.扰动观测器能够有效地抑制低频噪声和克服参数变化的不利影响.     

空气静压润滑工作台系统的研制

在研究工作中,成功地研制了实现超精密位移的空气静压润滑工作台系统,避免了油液的污染。包括丝杠系统在内,工作台系统所有的相对滑动部件均为空气静压润滑。对工作台系统的静态刚度和工作台平移的精度进行了实验研究。静态刚度测量值在进给方向为8N/μm,垂直方向为160N/μm。工作台系统的定位误差用激光干涉仪测量,其数值小于70nm。因空气润滑各个部件使得摩擦阻力很小,故工作台系统移动完全没有空回现象。总之,所研制的空气静压润滑工作台系统的确是一种运动非常平稳精度很高的超精密机械部件。     

基于光斑位置传感器的长导轨准直系统

为了检测长导轨的直线度,采用激光作为参考基准线,将2维光斑位置传感器作为光电转换器件。当固定在导轨滑块上的2维光斑位置传感器沿着导轨移动时,光斑的位置数据会通过蓝牙模块传输到终端上,输入位置信息之后,软件会自动绘制出导轨的2维直线度曲线。结果表明,计算出激光偏角带来的误差远小于1μm;通过高精度位移平台,实验验证了系统的精度可达到3.4μm;实际使用中,检测了7.2m的长导轨,取得了长导轨的直线度数据,重复精度可达5μm。这一结果对长导轨直线度测量的研究是有帮助的。     

一维压电式微定位机构的设计研究

针对精密工作台高速、低精度的矛盾,以柔性铰链为导向元件、压电陶瓷为驱动器,研究、设计了一种一维高分辨率压电式微定位机构。由于精密工作台高速运动产生的运动惯量较大,欲实现亚微米级的定位精度是很困难的,因而在精密工作台运行到位后,由微定位机构对检测装置所检测出的定位误差进行补偿,以提高工作台的定位精度;由于压电陶瓷微位移器件输出位移过小,因此提出了一种单自由度对称式柔性铰链放大机构来提高微定位行程。给出了机构的动力学模型,并结合光栅尺检测装置,设计并研制了数字闭环定位控制系统,对微定位机构的定位特性进行了测试。实测结果表明,此微定位系统可实现高分辨率、长行程定位,定位分辨率达0.01μm。     

专用龙门刨床工件的二次压紧

1问题的提出 某龙门刨床专门用于加工电梯用导轨的顶面和两侧面的刨削.其工作台上有九道固定工件的液压夹具,每道上有九只液压油缸.通过油缸活塞的上下移动来松开或压紧工件.