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采用磁过滤阴极真空弧(FCVA)技术制备了质量厚度为5~7μg/cm2的类金刚石碳(DLC)剥离膜。用XP2U型精密电子天平测试分析了100mm范围内的DLC剥离膜均匀性,结果显示其最大不均匀性小于10%。通过扫描电子显微镜(SEM)、原子力显微镜(AFM)、万能摩擦磨损试验机和X光电子谱(XPS)测试分析了DLC剥离膜的表面形貌、耐磨损特性和结构,结果显示采用双90°FCVA技术沉积的DLC剥离膜表面光滑致密、耐磨,几乎没有大颗粒的污染,表征金刚石特性的sp3键含量超过70%。在北京HI-13串列加速器上使用107 Ag-、70 Ge-、48 Ti-、28Si-、197 Au-和127I-六种典型质量的离子束对质量厚度为5~7μg/cm2的DLC剥离膜和碳剥离膜寿命进行测试比较,结果显示DLC剥离膜寿命比碳剥离膜的高2.6~10倍。 相似文献
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自支撑Mg靶膜的制备 总被引:1,自引:2,他引:1
用真空蒸发法成功制备了170.0~196.1μg/cm^2的薄自支撑Mg靶膜和90~95μm的厚自支撑Mg靶膜。甜菜碱是制备Mg靶膜有解离剂,讨论了真空蒸发制靶过程中的主要技术难点。 相似文献
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几种稀土金属自支撑靶膜的制备及其保存 总被引:1,自引:0,他引:1
在新核素合成、^153Er(EC+β^+)研究、三裂与核温度测量,中能重离子碰撞中巨共振实验中,需要稀土Nd,Yb,La,Tb,Gd金属自支撑靶膜,要求厚度为0.8mg/cm^2以上,靶孔为Φ15-30mm。采用滚压方法进行这几种靶的制备。 相似文献
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高剂量N^+注入碳膜形成氮化碳CNx的研究 总被引:1,自引:0,他引:1
研究了利用高剂量的N^+注入碳膜形成氮化碳CNx的可能性,对这种新材料进行了城叶变换红外吸收光谱、X射线光电子能说、X射线衍射和薄膜的维氏显微硬度等测量。结果表明,在100keV高剂量N^+注入碳膜过程中形成了含有碳氮共价键成分的CNx化合物。 相似文献
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由离子和离子束技术形成的非晶碳膜具有良好的电绝缘性、对红外及可见光透明、硬度大、耐腐蚀等优良性质,可望在半导体器件、激光器件、太阳电池和材料保护等方面得到应用而受到重视。近年来很多作者先后报道了用未经质量分析的低能碳离子束直接沉积、离子束溅射沉积、离子镀、射频辉光放电离化碳氢化合物的等离子体沉积、经质量分析的低能碳离子束沉积等方法在单晶硅、玻璃、不锈钢等不同衬底上形成非晶碳膜的结果。碳膜的物理性质与沉积条件有密切关系,根据物理性质非晶碳膜大致可以分为三类,即导电、不透明的类石墨膜;绝缘、透明、质软的类聚合物膜;透明、绝缘、硬度大的类金刚石膜。 相似文献
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滚轧法研制自支撑金属靶 总被引:2,自引:2,他引:0
文章叙述了用实验室型滚轧机研制了五十多种核靶的工艺过程。靶的厚度范围是0.3—20mg/cm~2,其均匀性用带电粒子能量损失法测量,一般好于96%。背散射测量表明,滚轧过程引入的杂质<0.2μg/cm~2。 相似文献
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几种特殊靶的制备方法 总被引:1,自引:0,他引:1
文章了几种特殊靶的制备,包括70mg.cm^-2的自支撑Bi靶、Mo封窗膜、15-50μg.cm^-2的自撑Sc靶(CD2)n靶和70μg.cm^-2的自支撑Co靶。 相似文献
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一、引言联邦德国重离子研究所的物理实验需要一系列薄铜靶,其要求是:(1)厚度为2、4、8、15、30、100 μm/cm~2;(2)靶的大小为φ15 mm;(3)靶的均匀性好于9%;(4)厚度测量精度为10%(>30 μg/cm~2的靶)和20%(<30 μg/cm~2的靶)。 相似文献
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一、引言核物理实验需要各种厚度的自支撑同位素铬靶,首先我们用电镀法试制成0.5—2mg/cm~2的自支撑铬靶,为了获得更薄的自支撑铬靶,我们改用真空蒸发法进行试验,制成了厚度为0.2—0.4 mg/cm~2的自支撑铬靶。 相似文献
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一、引言核物理实验一般希望使用的自支撑靶,主要用真空蒸发、电镀和滚轧等技术来制备。但制备希土和硷土金属,高熔点材料以及数量较少而又贵重的同位素材料的自支撑靶就比较困难。一般说来,这些元素的同位素以氧化物,碳酸盐等化合物粉末状存在。对这些粉末材料可配制成溶液或悬浮液,用重力沉淀,电喷涂,电泳等方法来制备有衬底靶。这些 相似文献
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在SF-3型石英微量天平监测下制备的超薄放射源和沉积膜,分别采用称重法、电子谱线分析法和背散射法对其厚度进行了比对测量,测量结果一致性较好,并与SF-3型石英微量天平给出的值相符。从而在实验上证明了SF-3型石英微量天平是可靠的。 相似文献