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用于显微测量的自动调焦系统 总被引:4,自引:1,他引:4
显微系统的自动调焦是实现高精度测量的重要技术。采用偏心光束法,以半导体激光器作为光源,激光束与主光路光轴偏心入射到显微系统中,离焦引起反射光位置改变而获得离焦信息,用二象限硅光电池接收,光电信号经差分放大、微机处理、功放后,驱动直流电机拖动微动工作台进行离焦量补偿,从而实现显微系统的自动调焦。实验结果表明:在离焦1000μm 范围内,达到±0.1μm 精度。 相似文献
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为了提高光电经纬仪成像质量,提出了一种基于DSP芯片的自动调焦系统,系统由DSP模块、FPGA模块、串行收发模块、模拟量采集模块、数字温度传感器、执行元件和反馈元件等组成。该系统工作稳定可靠,达到了设计要求。 相似文献
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一、单片机和应用系统要求单片微型计算机是在一块芯片上集成了中央处理单元(CPU)、存储器单元(RAM)和输入输出控制单元(I/O)的一种微型计算机。由于其功能完善、使用方便、价格经济、适应面广等特点,已在各行业的众多领域中得到广泛应用。电影经纬仪是用于精确测量导弹、飞机等飞行体空间位置的机光电设备。由于目标位置记录在电影胶片上,因此曝光条件的选择和影像清晰度对判读精度至关重要。我单位的一套电影经纬仪是我国70年代的产品,其调光调焦系统采用模拟电路,电路复杂、操作繁琐、精度较低、故障率高,决定以8… 相似文献
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介绍了一个基于图像处理的自动调焦系统,该系统由光学显微镜、CCD、力矩电机和齿轮传动机构等组成。调焦系统中采用粗/精结合的调焦方法,即首先采用基于Krisch边缘检测算子的清晰度评价函数对被测物体进行粗调焦,并在计算机上采集了包含目标的大致轮廓和边缘的显微图像;然后针对全景图像上的某个目标区域采用基于高频分量的清晰度评价函数进行精调焦,使得显微图像显示出更多的纹理细节。实验中清晰度评价函数算法均采用Windows下的VisualC++实现。实验结果表明,该自动调焦的系统精度可达±4.8μm,基本上满足了微装配任务的调焦精度要求。 相似文献