C/Al软X射线多层膜反射镜的制备与测量

在λ＝ ２８．５ｎｍ 波长处,我们选择了一种新的多层膜材料对Ｃ／Ａｌ。正入射Ｃ／Ａｌ多层膜在１５．０ｎｍ 附近有很低的二级衍射峰。磁控溅射法制备的Ｃ／Ａｌ多层膜样品,用Ｘ射线小角衍射法对其结构进行了测试,并测得Ｃ／Ａｌ软Ｘ射线多层膜的正入射反射率２２％ ±４％ 。     

类镍钽软X射线激光用多层膜反射镜的研制

设计并制备了工作波长为4.48 nm类镍钽软X射线激光用多层膜反射镜。选择C r/C、C r/Sc为多层膜材料对,模拟了多层膜非理想界面对多层膜反射率的影响。采用直流磁控溅射技术在超光滑硅基片上制备了C r/C、C r/Sc多层膜。利用X射线衍射仪测量了多层膜结构,在德国Bessy II同步辐射上测量了多层膜的反射率,C r/C,C r/Sc多层膜峰值反射率分别为7.50%,6.12%。     

C／AI软X射线多层膜反射镜的制备与测量

在λ＝２８．５ｎｍ波长处,我们选择了一种新的多层膜材料对Ｃ／ＡＩ。正入射Ａ／ＡＩ多层膜在１５．０ｎｍ附近有很低的二级衍射峰。磁控溅射法制备的Ｃ／ＡＩ多层膜样品,用Ｘ射线小角衍射法对其结构进行了测试,并测得Ｃ／ＡＩ软Ｘ射红多层膜的正入以射率２２％±４％。     

软X射线多层反射膜的一种新型设计方法

在循环递推法基础上加入随机数运算,得到一种简易、精度高、有较高实用价值的多层发射膜设计方法。给出了设计步骤,进行了一系列多层膜设计。通过比较,这种方法与复振幅平面法所得结果非常接近,甚至有的多层膜的设计结果更好。     

工作波长短于10nm的软X射线多层膜

本文对工作波长短于10nm的软X射线多层膜正入射反射镜的国内外现状作了简单的介绍和分析,给出选择多层膜材料的一些原则,并结合本组情况选择了Ru/B₄C、Rh/B₄C和MO/B₄C三种材料组,在波长8.0nm附近设计并计算出多层膜的结构和反射率等性能参数.