竖式高精度压电尺蠖式位移致动器

介绍了一种结构简单,易装配的竖式高精度压电尺蠖式位移致动器,阐述了致动器的工作原理和结构形式.致动器采用叠堆式压电陶瓷作为驱动,利用柔性铰链作为箝位,能可靠地实现光轴的双向运动.位移分辨率可达到纳米级别,步距可在纳米级至微米级间任意选择.     

压电致动器双向电源研究

提出并研究了一种压电致动器电源，它可以实现对压电致动器的从负电压到正电压的双向电压作用，且作用电压可以很高并可不间断连续作用。该电源具有易于实现压电致动器输出自动控制和输出范围大的特点，适宜逆压电效应为基本原理的压电器件在以静态位移输出为主要目的的场合应用。文中论述和分析了这种电源的工作原理和电路实现方法，推导出理论计算公式，并给出了实验结论与应用情况。     

关于压电致动器的动力学和致动作用力

从压电本构方程出发，将外加电信号处理为外界激励作用。在理论上给出了应用最广泛的矩形薄板压电致动器在激励作用下的动力学效应，同时给出了其致动作用力表达式，为以前的有关报道结果提供了严格的理论依据。根据结果不难具体分析这种压电致动器的动力学响应。     

陶瓷致动器及其应用

本文介绍压电和电致伸缩陶瓷致动器用的材料,致动器的结构形式与特点,部分新应用以及致动器今后的发展趋势。     

磁性LIGA微致动器

在许多微系统工程的研究工作中,预测微致动器有着巨大的应用潜力。因为在不断增多的微型化中有了适当的标度,又因为有可能在一块基板上相当简单地并行加工,所以,静电驱动原理得到多方的重视。与之不同磁性致动器的制造要求三维结构:一个碱性材料制作的铁磁心,它被线圈所环绕。随着微技术加工方法的进步,这一问题最近得到解决。     

工业用压电致动驱动装置

压电致动器,如电磁驱动装置利用的是最广泛的、可受电子学系统直接控制的能源,即“电能”.在力量的发挥方面,它比流体驱动装置采用的更早,而且显示出诸多优点,如有最高的力度和能量密度.见表1.固体耦合是极端刚性、精度与动态的保     

压电式合成射流致动器的设计与实验研究

采用两种不同的压电陶瓷片制作了压电振子,基于压电振子设计了不同喷口形式和压电振子布局形式的合成射流致动器.实验中利用热线风速仪对致动器喷口中心的速度进行了测量.结果表明,所设计的合成射流致动器喷口峰值速度达22.55 m/s,致动器典型布局时方形缝倾斜角对喷口峰值速度影响较大,90°法向射流比45°倾斜射流能获得更大的喷口动能,射流法向喷出时致动器典型布局比侧面布局能获得更多的喷口动能.     

应用于智能机翼的压电致动器技术研究

该文针对新型智能机翼翼型变形控制的应用需求,研究了超临界翼型在产生微变形情况下的流谱结构及在10~500μm微变形条件下翼型的气动特性变化。研制出了用于智能机翼的压电陶瓷致动器:位移量为5~290μm,最大输出力为200N,满足智能机翼变形控制需求,验证了压电陶瓷致动器在智能机翼上应用的可行性。     

微型热致动器研究

本论文围绕微型热致动器的研制开发,对热致动方式进行较为深入研究,利用硅微细加工工艺制造出多种型热致动器,并进行了理论分析和实验测试。     

压电陶瓷致动器驱动电源的研究

根据压电陶瓷致动器对其驱动电源的要求,利用高压运放设计研制了一种新型的驱动电源,通过对压电驱动器的实验研究表明,其具有精度高、性能稳定、分辨率高、纹波小和电路结构简单等优点,能够满足微定位系统中压电陶瓷驱动器的控制需要。     

压电微位移致动器的研制及其应用

文章是以光纤光栅传感系统中匹配FBG光纤解调为背景展开研究的,对压电陶瓷的材料特性、压电陶瓷驱动电源的软硬件设计和压电微位移致动在匹配FBG光纤解调中的应用等问题进行了探讨,开发了实用的压电微位移致动器。针对压电陶瓷的容性负载特性,提出了驱动电源的设计方案,完成了驱动电源软硬件设计,构建了直流稳压电路、PA78组成的混合放大电路。实验表明,所研制的压电微位移致动器具有良好性能,可应用于光纤光栅传感系统的匹配FBG光纤解调中。     

压电叠层传感/致动器的特性研究

压电叠层传感／致动器是智能主动构件中的重要组成部分，是一个机电耦合的交互系统。给出了压电叠层传感／致动器的设计原理，并对压电叠层传感／致动器的动静态工作特性进行了实验研究与分析，揭示了其输出位移大、稳定性和重复性好、滞后效应小等优良特性，为研制性能优良、稳定的智能主动构件提供了依据。     

新型致动器及其应用的开发

本文叙述几种新型致动器的制作及其性能分析，并介绍了这些器件在光学技术和工厂自动化技术中的应用。     

大驱动力高刚度纳米致动新原理研究

提出了一种将高位移分辨率的压电陶瓷致动器与大驱动力的电磁致动器进行有机结合，实行优势互补的新方法。基于新原理研制的实验样机获得了较好的技术性能指标，即驱动力300N，刚度95N／μm；分辨率1nm；最大位移4μm。研究工作为大驱动力高刚度纳米致动开辟了一条新的途径。     

基于位移放大的压电致动器设计与仿真

压电叠堆致动器广泛用于驱动智能变形装置,由于压电叠堆输出位移小,需要放大结构增大位移输出。设计了一种椭圆形位移放大结构,分析了椭圆长轴、壳体厚度、X 方向位移和压电叠堆宽度等结构参数对Y 方向的位移输出、应力强度和放大倍数等性能的影响规律,优化了结构参数,并制作了样品。测试数据表明,位移放大结构实现了5.3倍以上的位移放大;分析了放大结构在高频电压驱动下的瞬态响应,模拟了驱动信号频率对位移输出的影响,结果表明,在周期0.01 s的交变电压驱动下,结构的位移输出未出现失真。     

步行和飞行式微致动器

人工实现自然界动物所具有的复杂运动机能,使之更完善、并应用于工业生产活动中等是非常重要的.利用电、磁力实现上述运动机能已为工业机器人广泛利用.毫米尺寸或更小尺寸的小型机器人(微型机械)用致动器,作为病理诊断、治疗等医用机器人和危险狭窄处配管检修机器人的移动机能所必不可少的,是目前世界各国正在研究开发的重要课题之一.     

压电陶瓷致动器自适应逆控制方法的研究

压电陶瓷器件在精密定位和微位移控制中得到了广泛的应用，但是它也存在着迟滞，蠕变和位移非线性等不足，该文将自适应逆控制思想应用于对压电陶瓷致动器的控制，通过对其机电变换特性的分析，用自适应法建立压电陶瓷的迟滞蠕变模型和逆模型，并且在此基础上建立实验系统，对压电陶瓷致动器进行自适应逆控制法的研究，实验数据分析结果表明，该控制方法有良好的学习功能，系统的输出线性误差从28．1％减少到1．56％。     

从致动器到自适应科学

压电固体致动器具有大的调节力、短的反应时间和坚固的结构.由此而得到的机电组件,由于集成了高集成数字技术,最后通往所谓的“自适应科学”,形成小型适配能力很强的结构,最适于新的工业应用.     

用于致动器的磁膜

永久磁铁薄片与薄膜,越来越多地应用在致动技术中。从多个最小磁铁的机械连接过渡到磁性多极分布,可以采用新的系统解决方案。在这方面,认识磁力、膜厚和极宽(极跟)之间的关系是一个决定性的标准。为了开发利用磁力传输的致动器,需要带有精细磁极分布的永久磁铁薄膜。图1示出一个以永久激励磁阻步进马达为基础的X和XY直接驱动机构,其中要求薄磁片的厚度为100μm。采用现代磁性材料,利用薄膜制作工艺和通过脉冲技术精细磁极结构的最新方法,     

分割电极片状压电致动器—（二）位移特性及狭缝宽度对其影响的实？…

研究了悬臂梁式分割电极片状压电致动器的位移特性，理论分析表明，分割电极缝宽度会减小致动器自由端的位移输出，但光缝宽度小于致动器电极宽度的１０％时，可忽略狭缝宽度的影响。致动器端部位称的结果大于理论计算值。与现有磁头悬浮臂尺寸相近的致动器在，２０Ｖ－５０Ｖ的电压驱动下均可获得１μｍ－２μｍ的致动位移。对９８５０道／厘米的密度磁盘，该位移能覆盖至少一个磁道宽度，满足磁头定位两级间伺服系统对第二级致动器