第十六讲真空系统的操作与维护

(上接2008年第3期第80页) 3.2 机械泵抽气系统清洁真空的获得 油封机械真空泵(简称机械泵)广泛应用于真空系统中,多数作为前级真空泵.由于科学技术的发展,对清洁真空的要求愈来愈普遍.因此机械泵中的油蒸气返油问题便愈来愈受到重视.我们把机械泵油流向高真空端的现象叫做机械泵的返油.     

第九讲：真空系统组成元件

2.4　吸附捕集器 (上接 2 0 0 0年第 3期第 52页 )吸附捕集器是利用某些物质具有吸附性能 (物理吸附和化学吸附 )的原理来捕集可凝性蒸气的一种捕集器 ,常称吸附阱。它被广泛应用于机械真空泵和扩散泵 (或被抽容器 )之间的管路上 ,用来捕集油蒸气 ,水蒸汽 ,还有在机械泵中由于转子和泵体之间的摩擦热使油分解 (裂变 )而产生的轻馏分物质气体。常用的吸附剂有 :分子筛 (沸石 ) ,活性碳 ,硅胶 ,Al2 O3 ,P2 O5等。常用的 1 3X型分子筛的内孔径为1 .3nm,空腔直径为 2 .5nm,而一般的油分子直径大致在 0 .7～ 0 .8nm,所以室温下 1 3X型分子筛对…     

第十六讲 真空系统的操作与维护

<正>(上接2009年第6期88页)图40给出不单独设置粗抽管道,不设置高真空阀门的涡轮分子泵抽气系统,这个系统的真空室是直接通过涡轮分子泵进行粗抽的。因为系     

第九讲：真空系统组成元件

2　捕集器(上接 2 0 0 0年第 1期第 51页 )捕集器也称为阱 ,用来捕集真空系统中的可凝性蒸气。在有油封机械泵和蒸气流泵组成的真空系统中 ,存在着工作液的蒸气 ,如油蒸气、汞蒸气、水蒸汽等。这些蒸气进入被抽容器之后 ,使真空度降低 ,氧化电热体和被处理工件 ,污染真空系统。为了减少乃至消除这些有害蒸气 ,在有油蒸气污染可能的真空系统中广泛使用捕集器。捕集器的种类很多 ,根据捕集器捕集蒸气的原理和方法不同 ,捕集器可分为挡油帽 ,机械捕集器 (又称挡板、障板、机械阱 ) ,冷凝捕集器 (又称冷阱 ) ,吸附捕集器 (又称吸附阱 )和其它类…     

第十六讲真空系统的操作与维护

(上接2010年第6期88页)8.3.3启动泵对于某些工艺过程,例如钢液真空处理等处理工艺中,要求真空系统在很短时间内迅速将被抽容器抽至需要的真空度。为了满足工艺过程的     

第十六讲 真空系统的操作与维护

1.2.3.3贮气罐(上接2008年第1期第80页) 小型扩散泵高真空抽气机组通常配置有贮气罐,设置在扩散泵和前级泵之间,贮存扩散泵排出的气体,设置贮气罐的原因有: (1)系统防震的需要 真空系统工作时,某些工艺过程要求严格防震,因此需要在真空室处在工作状态中时,前级机械真空泵在一段时间内停止工作.在这段时间内,扩散泵排出的气体全都贮存在贮气罐中,用贮气罐代替机械泵维持扩散泵的正常工作.     

第十六讲 真空系统的操作与维护

(上接2010年第1期88页) 除了涡轮分子泵和钛升华泵各自的优缺点外.涡轮分子泵还由于机械结构与高速旋转的原因,使得它要获得大的抽速较为困难.而钛升华泵造价低,而且易于实现大抽速.目前它的抽速在高真空或超高真空获得设备中是较大的一种,而使用和维护都十分方便.只是由于排除惰性气体性能差而限制了它单泵进入超高真空.考虑到空气中的惰性气体主要是以氩气为主,可以用抽速小一点的分子泵来排除惰性气体,以充分发挥钛升华泵的大吸气性能的优点.     

第十六讲真空系统的操作与维护

(上接2008年第2期第79页) 用扩散泵和涡轮分子泵抽气的真空系统,一般应对任何严重的外部故障或危及真空系统整体的故障作出反应,当故障发生后,应立即关闭所有的阀门而使所有正常工作的泵继续运转.     

第十六讲真空系统的操作与维护

(上接2009年第1期80页) 3.8.1.3旋片泵的大修 旋片泵经较长时间运转(一般为2500 h)后需要进行大修.     

第十六讲真空系统的操作与维护

(上接2008年第5期第80页) 带有油水分离系统的X150型旋片式真空泵结构如图26所示,主要有泵体、转子、排气阀总成、主油箱和副油箱五部分组成.     

第十六讲 真空系统的操作与维护

<正>(上接2010年第2期88页)系统操作时,可先用粗抽泵将真空室抽到200 Pa左右,然后启动低温泵的压缩机进行冷却,如果泵体是用氮气吹除过的,那么开始时聚集在吸附剂上的水蒸气是不多的。待泵冷却后及系统达到转换压力后,关闭粗抽阀并打开高真空阀,低温泵开始工作。     

第十六讲 真空系统的操作与维护

<正>(上接2010年第5期88页)对非自动控制的低温泵抽气系统来说,一般,低温泵的生产商会提供一个再生的参考时间,但由于实际情况的差异,还是要求操作者根据实际经验来判断是否可以结束再生,而一些自     

第十六讲 真空系统的操作与维护

<正>(上接2010年第3期88页)在制冷机低温泵中,一级冷阵一般由辐射屏和一级挡板组成,同制冷机的一级冷头相连,其温度通常在45～100 K范围内;二级冷阵与制冷机二级冷头相接,温度为5～20 K,它的外侧为裸露的无氧铜抽气表面,内侧在金属面上粘贴吸附剂(一般为活性炭)形成吸附抽气面,其结构如图48所示。     

第十六讲真空系统的操作与维护

(上接2008年第6期80页) 在油封机械泵排出气体中的油滴直径大约在0.01～0.8μm之间,这样小的油滴不能用一般的编织网或油气分离装置完全消除,需要另外附加各种各样的专用过滤器或捕集器.     

第十六讲真空系统的操作与维护

(上接2009年第3期88页) 4 扩散泵抽气系统 4.1 扩散泵抽气系统组成 一台经典的低返油率小型扩散泵高真空抽气系统的示意图.抽气系统主要由扩散泵、冷阱、闸板阀和机械泵等的结合组成.