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本文考查了十二个单取代苯的SRS谱线的频移差量与取代基电子效应的关系,发现SRS谱线频移的差量与取代基常数间存在一定的线性关系,并对这种关系作了解释。 相似文献
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许兆鹏 《固体电子学研究与进展》1995,15(4):403-407
在前研究InP的CH4/H2反应离子腐蚀的基础上,进行了GaAs的CH4/H2反应离子腐蚀研究。GaAs的腐蚀速率比InP慢,随CH4/H2组份之比值、工作压强、总流量率等而改变,从2nm/min到8nm/min。当总流量率为30~123sccm之间、CH4/H2=0.18,腐蚀后的表面总是光亮平滑的,损伤层的厚度≥30nm。当用CH4/H2RIE在CaAs上制作深度>0.6μm的结构时,必须要考虑高能离子的轰击给晶体造成的损伤和给光刻胶掩模造成的浸蚀,此时光刻胶作掩模已经不能满足要求,应改用介质薄膜。 相似文献
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许兆鹏 《固体电子学研究与进展》1995,15(2):173-179
研究了用来制作InP微细结构的反应离子腐蚀(RIE)技术,采用PLASMALabμPModular反应离子腐蚀系统,在CH4/H2/Ar环境中,研究了InP的腐蚀速率、表面形貌、剩余损伤层等随反应气体组分、压力等的变化。发现速率随CH4/H2比值增大而增大,随工作压强的增大而减小。测得的腐蚀速率很慢:从4nm/min到16nm/min,腐蚀图形的方向性好,因而特别适合制作尺寸为微米级的InP微细结构,在CH4/H2=0.185时,腐蚀后的表面光亮,腐蚀速率为14.5nm/min,剩余损伤层的厚度约为15~30nm。与参考文献报导不同处是:在腐蚀后较为粗糙的表面上,并不总是富In,有时是富P。由此提出了平衡腐蚀的概念。 相似文献
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由文献[1]的结果得到了研究SRS过程中转换的聚焦因素影响的近似图式。同时指出在文献[2]中的趋势分析错误。考虑到喇曼池窗片的自聚焦效应,解释了实验结果。 相似文献
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采用CH_4/H_2混合气对InP进行反应离子腐蚀的研究 总被引:2,自引:1,他引:1
CH_4/H_1混合气可以在室温下对InP进行反应离子腐蚀.由于腐蚀反应过程产生一定的淀积物,有利于增加图形侧墙腐蚀的钝化保护,实现垂直腐蚀,并能提高掩模的掩蔽作用.实验结果说明这是比较实用的一种腐蚀气体系统.对这个腐蚀系统进行了系统的实验,说明气体成分、工作气压、气体流量、射频功率以及掺入氩气对腐蚀效果的影响. 相似文献
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在低轨道卫星(LEO)通信链路中,由于星地之间相对运动速度较快而存在较大的多普勒频移,为了保证通信质量,必须对多普勒频移进行补偿。基于DDS+PLL技术实现对多普勒频移补偿的方法是一种开环控制方式,这种方法结合了DDS的频率分辨率高和频率捷变速率快等优点,以及PLL具有的窄带滤波跟踪特性。分析了DDS频率阶跃对于PLL输出响应的瞬态影响,并且给出了相应的改善方法。该技术已经在工程中得到应用和验证。 相似文献
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自一九七二年开始过氧化氢/硫酸蚀刻工艺以来,人们逐渐对它的优越性发生了浓厚的兴趣它与其他蚀刻液相比,具有以下优点:1、适应各种抗蚀层。如金属镀层(浸锡、镀锡、铅铝合金);有机抗蚀层。2、侧蚀小,溶铜量大。3、蚀刻速率高,反应易控制。4、回收座液简便,毒性小、安全、环境污染小。去年七月在北京邮电学院召开的 H_2O_2/H_2SO_4型蚀刻液鉴定会,为在我国推广、使用这种工艺作出了积极的贡献。特别是北京邮电学院研制的稳定剂 H_2O_2—A、H_2O_2—B、H_2O_2—C、 相似文献
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用TEA CO_2脉冲激光器研究了CF_2Cl~2+H~2体系在不同压力、不同比例、用不同材质与不同规格的反应池、不同激光功率密度及不同照射次数等条件下的激光化学反应。其结果:①得到的主要产物为C_2F_4和HCl,尚有少量块烃和氟块,与热管反应产物(CF_2H)_2不同;②反应速率在低 H_2压时随 H_2压的增加而增加,高H_2压时则相反,当H_2压相同时,反应速率随CF_2Cl_2分压的增加而增加,认为该反应是因多次光子吸收而活化的CF_2Cl_2分子与 H_2碰撞的结果;③观察到了反应所伴随的绿色——桔黄色可见辐射,其强度随气体压力的变化规律,与反应速率随气体压力的变化规律相同;④对照激光照射前后的红外吸收光谱,可以看到有同位素效应。在同样条件下,波数为880cm~(-1)的峰(相当于 CCl_2的伸缩振动)与波数为920cm~(-1)的峰之比,经激光照射后有明显下降。 相似文献
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关于H_2O_2/H_2SO_4蚀刻工艺的若干问题 总被引:1,自引:0,他引:1
自1978年在印制电路板(简称PCB)生产中引入过氧化氢/硫酸蚀刻工艺以来,人们逐渐认识到它特殊的优越性:适应各种抗蚀层,溶铜量大,侧蚀小,蚀刻速率高,反应易控制回收废液简便,毒性小。近几年来,由于H_2O_2/H_2SO_4蚀刻液各种稳定剂不断出现。给此工艺开辟了广阔的前景。正如Moenes L.Elias所说,技术的进步使过氧化氢/硫酸腐蚀液成了制造PCB的一项富有生命力的 相似文献
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本文首先介绍了CO_2激光窄脉冲调制与移频在CO_2相干接收技术中的意义及调制与移频的方法,简要分析了声光调制器的工作原理,并利用声光调制器进行了CO_2激光的窄脉冲调制和100MHz的移频,最后给出了实验结果和结论. 相似文献
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