微细加工技术现状

介绍当前微加工技术现状。主要介绍曝光技术和干蚀技术的现状和发展。     

微细管道内壁缺陷柔性在线测量技术研究

采用新型特殊设计的光学传输部件,将外部照明光源导入待测管道内部,同时将管道内壁图像导出,突破了传感器内置的传统工作模式,实现了测量传感器外置,满足了微细管道管内空间狭小的应用需求。同时,结合工业机器人运动平台,进一步构建了柔性在线测量系统,满足了不同工件中不同分布的微细管道柔性测量需要。根据应用要求,首先在前期研究工作分析的基础上,完善了测量系统方案设计;对系统工作流程及核心问题进行了分析,并针对系统构建中的对准问题进行了重点研究,提出了一种新颖、合理的对准方法;基于构建的测量系统,针对10 mm孔径管道内壁上0.6 mm、1.0 mm和2.0 mm的模拟圆孔缺陷进行了测量实验。实验结果表明,三种缺陷测量结果的标准差均小于0.01 mm,可以实现微细管道内壁缺陷的柔性、在线测量。     

微细管道内壁缺陷测量系统构建和技术

为满足微细管道内部缺陷检测需要,提出了一种将外部光源导入、内部图像导出的解决新思路,基于360°全景锥镜、视像管、环形光源、近景光学镜头及高分辨率相机构建了光学信息传输部件,并与计算机共同组成机器视觉检测系统。在检测系统构建中,光学信息传输部件的姿态调整是一个关键环节,本文对此展开了深入的研究,给出了调整评判依据及完整的调整实现流程,最终构建了较为理想的微细管道内部缺陷测量系统。基于测量系统,对深100mm、孔径9mm的管道样件内壁上0.5、0.8及1.0mm的微孔模拟缺陷进行了多次测量,测量结果标准差分别为0.025、0.026及0.028mm。实验结果表明,基于本文的调整技术构建的检测系统,可以实现检测部件与待测管道的精确对准,进而实现微细管道内部缺陷的高精度测量。     

触针对LSI生产中膜台阶表面测量的影响

接触式台阶测量仪是ＬＳＩ生产工艺中的重要检测仪器，基中，触针是关键部件之一。本文叙述了触针对膜层台阶表面测量的影响，包括：触针的形状、尺寸对表面形貌测量中的水平分辨力的限制；选择合适的触针测量力及针尖形状，实现对术本表面的无损测量。同时，本文推导出相应的公式，为提高触针测量的精度提供了理论依据。     

触针对LSI生产中膜层台阶表面测量的影响

接触式台阶测量仪是ＬＳＩ生产工艺中的重要检测仪器，其中，触针是关键部件之一。本文叙述了触针对膜层台阶表面测量的影响，包括：触针的形状、尺寸对表面形貌测量中的水平分辨力的限制；选择合适的触针测量力及针尖形状，实现对样本表面的无损测量。同时，本文推导出相应的公式，为提高触针测量的精度提供了理论依据。     

基于光纤双波干涉的台阶高度在线高精度测量研究

提出一种基于双波干涉的台阶高度光纤在线干涉测量系统。利用光纤光栅(FBG)只反射布拉格波长的特性,使两个波长同时并独立地工作于同一个光纤干涉测量系统中,每个波长的干涉信号分别并同时被探测,将测量量程扩大为半合成波波长。利用反馈电路补偿环境干扰对光纤干涉测量系统的影响,使光纤干涉测量系统适合于在线测量。本光纤干涉测量系统可测量的最大台阶高度达1mm,测量分辨率小于1nm。     

大台阶高度测量的外差共焦方法

台阶高度是微电子产品的一个重要性能参数。基于双频激光干涉共焦显微系统(DICM)提出了一种微电子掩膜板台阶高度测量的扫描方法。在共焦显微扫描样品表面，当光强达到最大值时，将采样外差干涉的相位作为精确对准的判据。该扫描方法集中融合了外差干涉测量和共焦显微测量的优点，同时实现了高分辨率与较大量程的测量，该系统测量台阶高度的范围取决于Z向位移扫描仪PI-Foc的扫描范围，可达数十甚至近百微米。实验结果表明该系统在普通恒温的实验条件下1h内的漂移不超过5nm。该系统已经用于20μm高台阶的测量，对准分辨率为0．1nm，实验结果与台阶高度实际值有很好的一致性。     

微细切削加工技术

介绍了微细切削加工技术的研究背景,并对其研究现状进行了评述,分析了微细切削加工技术在研究与发展过程中存在的主要问题,提出了将来的研究方向。     

微机控制步进电机研究

本文阐述了步进电机的工作原理及基本特性;介绍了用微型计算机控制步进电机的脉冲分配、转向、升降速及细分驱动的方法。     

面向电气测量技术实验教学的实践性探索

以应用为目标的电气测量技术课程,是多门课程的知识综合与贯通,具有实践操作性强等特点。该课程在实践教学环节中从制作罗氏线圈、设计调理电路,到进行大电流检测和数据采集与处理的全过程,均由学生自主完成,实现学生实践能力的培养过程;实验中根据波形噪声与幅值误差,完成参数调试与罗氏线圈的模型分析,实现学生分析能力的提高。实践表明,该实践活动能使学生掌握一个完整电气测量系统;提高学生的实践能力、分析和解决问题的能力,满足辅助理论教学的目标。     

电动车组电磁兼容性测试技术研究

研究了某电动车组电磁兼容性的测试技术,论述了电动车组的辐射电磁干扰测试方法,其中包括静止状态辐射电磁干扰测试方法和低速状态辐射电磁干扰测试方法。     

阶梯波导的传输矩阵研究

用模式匹配方法分析H面阶梯波导的TE模式,首先将各区域的场写为x函数矩阵与z函数矩阵以及本区域的场系数向量相乘的形式,然后对相邻区域的x函数矩阵进行加权积分得到矩阵形式的匹配方程组。不仅在表达形式上简洁紧凑,而且能够方便的推导出考虑高次凋落模的传输矩阵。通过传输矩阵求解场,未知数个数成倍减小,运算量显著降低。数值例子验证了方法的正确性。     

EPROM在实时测控系统中的应用

在微机实时测控系统中,需要对采集的数据进行实时处理.一些函数的运算往往占用过多的机时,影响测控系统的性能,本文给出了用EPROM实现查表运算的设计思想,并以平方根函数为例说明了对EPROM进行编程的方法.按本文的设计,实现二字节输入,二字节输出的查表运算仅需20μs(在晶振频为12MHz的8031上运行).     

电机绕组在线温升智能测试仪的研制

文章介绍了一种以电阻法为原理的测量电机绕组温升的方法。该方法利用由恒流源、电机绕组和标准采样电阻组成的直流回路，通过对相关信号的测量，得出电机绕组的阻值。较之传统测试方法，具有精度高、结构简单等优点。     

3302自动零件分析仪的测量系统分析

该文以3302自动零件分析仪组成的测量系统为研究对象,制定了自动零件分析仪测量系统分析计划,采用均值-极差法对测量系统的重复性和再现性的分析步骤、计算过程、计算结果做了详尽的剖析和讨论.认为该测量系统的偏倚、线性和稳定性能满足要求,测量电感、电容、电阻的重复性与再现性指标分别为6.7%、2.1%、20.1%,均小于30...     

微纳米分子系统研究领域的最新进展——IEEE NEMS 2011国际会议综述

2011年2月20日至23日,第6届IEEE国际纳米/微米工程及分子系统大会（IEEE-NEMS 2011）在台湾高雄市召开,来自世界各地的300多位专家、学者齐聚一堂,分享其在微纳米科技领域的最新研究成果。本文选取微流体技术与芯片实验室、生物医学MEMS器件、纳米新材料奇妙特性及其应用、新型传感器执行器及其系统等4个角度,详细介绍了微纳米科技领域的研究现状,并对其发展趋势进行了分析。     

高精度智能红外轮轨冲角测试仪的研制

本文提出一种利用红外线光源及MCS-51系列单片微机的新型高精度智能轮轨冲角测试仪。详细介绍了其工作原理、计算公式、仪器结构、主要特性及实测结果。现场实际使用结果及理论分析表明,这种新型测试仪具有测量精度高、全自动运行、智能地识别处理信号、抗震性强、稳定性好、重量轻、体积小、成本低、结构简单、使用方便等优点。因此,可把它作为新一代的轮轨冲角测试仪加以推广应用。