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1.
毛伟民 《激光与光电子学进展》1985,22(9):44
美国VTI公司已经报道了硅晶片和砷化镓晶片残余晶体缺陷检验方面的突破。这个公司化了十七年时间研究超平表面光学元件的测量和制造,并且发展了一种能非破坏测量极平表面的激光装置,这种极平表面用现有技术是无法检验的。 相似文献
2.
张抚安 《激光与光电子学进展》1985,22(4):45
三菱电机公司最近研制成功一种采用氦氖激光束对被检物表面的圆周方向高速扫描,且借助反射光将缺陷检出,判定被检物质量好坏的非接触型表面检查装置。 相似文献
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罗山 《激光与光电子学进展》2001,(7)
康宁公司已将其半导体材料计量实验室的193 nm激光损伤检验装置升级。升级系统现在使用2000 Hz光刻激光器,将改进193 nm辐射如何影响HPFS玻璃和氟化钙晶体的物理和光学特性的能力。该玻璃用于氟化氩光刻。 相似文献
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N/A 《激光与光电子学进展》1967,4(10):39
一种测量地面与云层间的距离并提供云层的厚度和结构情况的全自动激光装置,本月已由瑞典阿耳马纳·斯文斯卡(Allmana Svenska)电气公司交付与瑞典皇家航空局。 相似文献
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美国纽约州的General Eleetric公司的P·W·Lorraine等人发明—用激光超声检验物体表面的方法和系统。该系统由激光光源、探测器和成像系统组成。用激光光源发射的光束扫描物体表面、发射的激光束产生超声波,用激光器扫描物体表面,在每一个扫描位置的一个探测带有一个探测器的表面超声波被反射,用调焦合成孔径技术对每个扫描位置激光超声波形数据组进行处理, 相似文献
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为了探究激光焊接真空平板玻璃封接层气孔的产生机理,利用扫描电镜、自带能谱仪、X射线衍射仪和金相显微镜等手段,进行了真空平板玻璃激光侧边封接试验,研究了激光功率和焊接速率对封接层气孔的影响,分析气孔产生的原因。结果表明, 真空平板玻璃封接层出现了数量较多、大小不一、相互不连通的孤立气孔,位于颗粒的交界处,主要是由焊料颗粒间的残余空气引起的; 在焊接速率为2mm/s和离焦量为-2mm的条件下,过低或过高的激光功率都不利于减少封接层的气孔缺陷,激光功率为80W(能量密度为80J/mm2)时,封接层组织形貌好,封接层封接质量佳; 在激光功率为80W和离焦量为-2mm的条件下,较低的焊接速率将有利于减少封接层的气孔缺陷,焊接速率为1mm/s(能量密度为160J/mm2)时,封接层组织形貌好,封接层封接质量佳。此研究可为真空平板玻璃的激光封接制造提供理论依据。 相似文献
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《中国激光》2015,(6)
通过分析高功率激光装置内主要污染物成分及来源,研究其对大口径光学表面抗损伤能力的影响规律,得到装置光学表面洁净控制要求。利用扫描电镜对高功率激光装置内部的主要颗粒污染物进行取样分析;采用自然沉降的方法在光学元件表面制备污染物,并利用Nd∶YAG(SAGA-S)激光器研究其损伤阈值和损伤规律。研究结果表明,高功率激光装置内颗粒污染物的主要成分为金属、有机物和矿物质,占据比例分别为20%、40%和40%。激光辐照污染后的光学表面存在激光清洗和激光诱导损伤两种效应,当激光器能量密度超过10.9 J/cm2时,光学表面存在清洗作用。当激光能量密度超过14.6 J/cm2时,光学表面污染物引起损伤,且损伤随着污染物尺寸呈线性下降趋势。 相似文献
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这是一种使用高精度X射线图像系统,利用实时高精度图像处理X、Y、Q、Z4轴载物台控制,实现全自动化的X射线检查装置。 其主要特点是,①使用了高灵敏度、高分辨的显示器,②实现了33.3LP/mm(线宽 相似文献
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本产品是一种容易进行三维各向异性测量的全自动测量装置。其特点: 1.利用光调制器(PEM)的相位调制法,可获得双折射ΔN为10~(-8),双折射相位差Δnd为0.01nm的高分辨率; 相似文献
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前言随着信息社会的高度发展,对半导体器件已有了更高的要求。提高半导体器件性能的方向之一,是以超LSI为代表的微细化以及高密度化,另一个方向是新型半导体材料的开发。如用GaAs制成各种器件。这类器件不仅包括集成电路,而且还有Si材料很难制成的半导体激光器件等光电子器件。 相似文献
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针对传统测量平板玻璃厚度的不足,基于光的折射原理,提出一种双路激光对称透射法,设计了在线测量平板玻璃厚度的装置,以线激光做光源,以对称平面镜组为光路转换装置,将对称分布的光路调制为两束相互平行的线激光,线阵CCD 传感器作为视觉探测工具,并针对测量图像的特点,选定背景与目标的过渡区域段的灰度值,作为单束线光带图像的边界阈值,使用改进灰度重心法提取线光带中心像素。通过对待测样品的实验检测,结果表明该方法测量精确可达0.1mm,该精度符合玻璃生产线中对其厚度检测标准的要求。由此证明了该方法的可行性,并具有良好的实用价值。 相似文献
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激光表面熔覆与合金化送粉装置的设计 总被引:2,自引:0,他引:2
设计了一种结构简单,载粉运动方向与激光光束保持一致,可对垂直表面进行加工,使用方便的激光表面熔覆与合金化送粉装置。并用所设计的送粉装置进行了激光表面熔覆实验,获得了较理想的加工效果。 相似文献