面预电离F原子激光和XeF准分子激光实验研究

本文报道了面预电离F原子激光和XeF激光输出能量以及F原子激光光斑随各气体分压的变化情况。在适当的气体混合物中放电获得了F原子和XeF准分子激光充满放电截面的完整光斑，取得了满意预电离效果。获得了F原子623．9nm、634．8nm、712．8nm和731．1nm四波长激光同时振荡以及F原子激光和XeF激光同时振荡，并作了定性分析。     

HgBr激光谱的研究

本文报导了用193毫微米ArF准分子激光光解HgBr_2得到HgBr(B→X)跃迁499、502、504毫微米三个谱带45条激光谱线的实验研究。 所使用的紫外光预电离ArF准分子激光器由我们自己研制,最大输出能量220毫焦耳。其光解装置用控制温度的方法来控制HgBr_2的蒸气压。用1200条/毫米全息光栅光谱仪摄谱,分辨率为8埃/毫米。波长测量精度0.1埃,测得激光波长45条,它们分属499、502和504毫微米三个谱带。最后给出了激光光解HgBr_2得到HgBr(B→X)跃迁的势能曲线图。表1列出所得到的45条谱线波长。     

准分子激光器

所谓准分子就是受激态的原子(分子)和基态原子(分子)结合而形成的分子。由不同的两个原子(分子)形成准分子时,还往往分成复合受激态和异质准分子。一般准分子的基态是分解状态,基态与准分子态之间,会发生宽线宽跃迁(束缚-自由跃迁)。有时也有基态呈现弱结合的例子(XeF等),但最近,只要与激光有关,即使激发复合物的基态是结合状态,也不加区别地统称为准分子。将准分子的束缚-自由跃迁用于激光器的建议,几乎是和激光振荡的实现同时提出来的，但巴索夫等人首次得到准分子激光器振荡，却比较晚，是一九七○年。首次准分子激光振荡是用强电子束照射液Xe得到的，此后采用了高压气体。研制激光核聚变用的新型激光器的要求及CO2激光器等的高压气体激励技术的发展，促使准分子激光器取得迅速的进展。目前，准分子激光器已发展到一定的深度和广度。     

准分子激光器

一、引言自1960年世界上第一台激光器问世以来,激光器的波长已经从远红外延伸到真空紫外。在紫外波段,准分子激光器是最有前途的激光器。 1975年首先由Velazco和Setser提出稀有气体卤化物准分子激光器的方案。同年,用电子束泵浦的XeF、XeCl、XeBr、ArF激光器的研制文章公开发表。在随后的几年里,准分子激光器有了较快的发展。仅在开始的两年内,实验室就达到单脉冲能量大于100 J,平均     

XeF的感应辐射谱与激射条件的关系

本实验证明了XeF激光谱具有丰富的振动-转动结构,这些激光谱的出现依赖于激射条件。低气压、高反馈有利于高振动态的短波长激射。实验中首次观察到162条激光线,其中的347nm一组线是迄今发现的波长最短的XeF激光谱线。     

ArF和KrF准分子激光器用的光学材料和膜层的抗激光强度

可靠的拥有更短波长的准分子激光器的建成，几乎取决于其光学问题的解决，这些问题主要涉及腔的光学器件：各种反射率的镜子，准分子激光器的输出窗口。本文将在ArF和KrF准分子激光波段范围（λ=248um～193um）进行讨论。1．准分子激光器的窗口材料随着波段向紫外和真空紫外进展，透明材料的数量逐渐减少，由于对透过率、化学稳定性、极小吸湿度、价格和高均匀性的要求，最后只有极少部分可广泛用于准分子激光的输出窗口。对于XeCl和XeF激光器，其波长为308um和353um，理想的窗口材料为优质石英。如果波长再短些，石英的使用就要受到限…     

F原子激光新谱线研究

Ｆ原子激光是可见光区的气体激光，有丰富的谱线，自１９７０年首次运转以来已一共观察到１６条激光谱线。我们在研究Ｆ２分子激光器的过程中，观察到输出很强的Ｆ原子激光，并且观察到三条新的Ｆ原子激光谱线。激光器采用快放电泵浦，激光气体放电腔体用不锈钢圆筒，直径...     

采用聚四氟乙烯板表面预电离放电激发XeF准分子紫外发射谱

无外加氟施主情况下，在装有聚四氟乙烯面预电离板的准分子激光器中，放电激发Ｘｅ／Ｎｅ混合气体产生了ＸｅＦ准分子。研究了中心波长为３５１ｎｍ，３５３ｎｍ和３０８ｎｍ的发射谱。放电激发Ｋｒ／Ｎｅ混合气体，观察到了ＫｒＦ２４８ｎｍ发射谱。     

卷筒式氟化氙“准分子”激光器

介绍了便于推广使用具有小型化结构特色的卷筒式氟化氙(XeF)“准分子”激光器。在Xe、NF_3和He的混合气体中,得到了XeF的3531、3510和3488埃的三条激光谱线振荡。在改变XeF体系的工作气压时,首先发现了氟原子的6346埃这条新激光谱线。给出了不同的工作气体组份、工作气压对激光波形和激光强度影响的实验曲线。拍摄了激光脉冲波形。激光脉冲宽度约为20毫微秒。还对实验结果作了初步的分析讨论。     

金属钡原子蒸汽中非线性光学效应的实验研究

本文报导钡原子蒸汽中双光子激发所产生的发射效应。 实验装置:用EMG201XeCl准分子激光泵浦的FL2002E染料激光器的调谐激光,对不锈钢热管中的钡蒸汽原子进行选择激发,观测到了以双光子共振吸收为主的非线性光学效应。某些发射谱线具有受激性质。     

4Gbit DRAM用的ArF准分子激光曝光技术

据日本《电子技术》1996年第8期报道，日本富士通公司为了1GbitDRAM的规模生产需要，开发了ArF准分子激光曝光技术，成功地形成了用于4GbitDRAM的0．13μm尺寸的图形。ArF准分子激光（波长193nm）因比原i线光学光刻（波长365nm）的波长短，所以必须同时开发新的光刻材料。该公司开发了环氧树脂类的单层胶（2MAdMA—MLMA）和超高分辨率技术。并结合移相掩模技术实现了最小线宽为0．12μm的图形。采用该技术适用于4GbitDRAM0．13μm尺寸的存储单元，单元尺寸为0．59μ×0．34μm，单元面积为0．20μm2。4Gbit DRAM用的ArF准分子…     

激光诱导钾分子荧光谱

本文使用A激光器476．5nm谱线激发稠密钾蒸汽，观察K2扩散带发射谱，黄色谱区光强有若干个峰值且谱线红移出现连续谱和禁戒原子跃迁。K2扩散带强度与泡温无明显关系而直接依赖激光功率。文中对实验结果做了讨论。     

紫外激光激励Na_2的2.50～2.56μm激光振荡

用准分子 XeF 激光(3511)及 N_2激光(3371)泵浦钠蒸汽,得到 Na_2的2.5μm 与9100级联辐射跃迁。分析了2.50～2.56μm 潜区的束缚-束缚跃迁结构及该级联可能的中间态。获得了该谱区的激光振荡及调谐效应。     

Cymer公司采用新技术将激光功率提高到200W

美国Cymer公司最近公布了液浸ArF和EUV光源今后的技术开发战略。在液浸ArF方面，将以双重曝光为目标，把ArF受激准分子激光光源的功率逐步提高到200W；而在EUV光源方面，正在探讨LPP方式的4种选择。业界普遍认为，为了将液浸ArF寿命延长至32nm工艺（hp32），必须采用分2次对图案进行曝光和加工的双重曝光方法，但这种方式会使产量下降。     

Rb蒸汽中5S1/2→5P3/2激光激发的速度选择粒子数密度和饱和效应

利用一步激发的饱和吸收光谱技术测量了激发态Rb(5P3/2)态的原子密度,在激光线宽远小于Doppler线宽条件下。在激光功率40μW至5mW的范围内,测量了吸收系数,得到了5P3/2态的速度选择布居数密度。通过Rb空心阴极灯发出的5D→5P3/2窄谱线的吸收测量,也可以测得5P3/2态的原子密度,二种测量方法所得结果符合得很好。约2%基态原子被单模半导体激光器激发到5P3/2态。     

窄谱线长脉冲氯化氙准分子激光的超精细光谱结构

XeCl和XeF准分子的束缚—束缚和束缚—自由谱已在1—14个大气压范围内进行了详细的研究,获得了光谱带宽度与气压的关系。从这些光谱特性可获得准分子的振动弛豫速率。对于XeF准分子,还可以分析B—X跃迁带的转动结构,但对于XeCl准分子,由于下能级X态     

相对论电子束激励的准分子激光器

我们建立了一台相对论电子束发生器,电子束能为1.2兆电子伏,束流千安,束宽25毫微秒,上升前沿<10毫微秒。用这台电子束装置横向激励准分子激光器,激光盒腔长150毫米,输出口径φ16毫米。采用镀介质膜的平凹腔。输出腔片在351毫微米处透过率T(?)12％,全反镜R=1米。在气压比为NF_3:Xe:Ar=2.5托:19托:2.8大气压,充电电压为25千伏时,成功地实现了XeF准分子激光器B(~2∑_(1/2))→X(~2∑(1/2))态跃迁,获得波长为351毫微米和353毫微米的激光发射。输出能量约为5毫焦耳,用2米光栅光谱仪摄得这二条强激光谱线。     

紫外光预电离ArF和KrF准分子激光器

本文报导紫外光预电离ArF和KrF准分子激光器的实验研究.输出激光能量ArF105毫焦耳、KrF185毫焦耳.文中讨论了各种参数对激光性能的影响.     

氟化氩激光器适于作辐射状角膜切除术

各种准分子激光对眼作用的研究表明193 nm ArF激光最适于作辐射状角膜切除术的切口。在角膜上作这些切口，目的是改变眼的曲率半径而减轻近视程度。伊里诺斯大学医学院的Gholam Peyman及其同事比较了XeCl、KrF和ArF准分子激光对动物眼组织的作用。三者之中ArF准分子激光输出波长最短，作的切口最精细，而光凝固作用最轻。     

Rb-H_2混合蒸气中5S_(1/2)→5P_(3/2)激光激发的速度选择布居与饱和效应

利用一步激发的饱和吸收光谱技术测量了激发态Rb(5P<,3/2)态的原子密度,室温下的Rb-H<,2混合蒸气被780nm激光激发,在激光线宽远小于Doppler线宽条件下,在激光功率40μW至5mw的范围内,测量了吸收系数,得到了5P<,3/2态的速度选择布居数密度.通过Rb空心阴极灯发出的5D→5P<,3/2窄谱线的吸收测量,也可以测得5P<,3/2态的原子密度,二种测量方法所得结果符合得很好.当氢气压为100Pa时,约8%基态原子被单模半导体激光器激发到5P<,3/2态.