微型涡轮和微型齿轮泵的研制

微型机械制造和装配是微型机械发展的关键，本文介绍了微型涡和微型齿轮 原理与特点，并通过对微型涡轮和微型齿轮泵的研制，对微型机械的制造及装配工艺、微构件的机械强度等方面进行了有益的探索，同时了说明了二者的应用前景。     

微型涡轮和微型齿轮泵的研制

微型机械制造和装配是微型机械发展的关键。本文介绍了微型涡轮和微型齿轮泵的原理与特点，并通过对微型涡轮和微型齿轮泵的研制，对微型机械的制造及装配工艺、微构件的机械强度等方面进行了有益的探索，同时也说明了二者的应用前景     

利用LIGA工艺研制的微型流体器件

德国的卡尔斯鲁厄研究中心(FK)的微小结构体研究所,积极地进行有关微系统技术的研究.因为LIGA同时利用光制造技术和金属蒸镀技术,所以可制作三维微小结构体,它是一种近于实用化的技术.FK利用这种技术制作微泵、微阀、微型透平、微型传感器以及微型流体器件之类的部件,并将这些器件组装起来制成微型流体仪器系统,该系统主要用于生物体中,也可应用于微型化学分析系统.     

微型机器制造中的半导体技术

一、前言 半导体技术原先只是用于制造各种集成电路,但近年来这种情况有了变化。 1987年6月在日本举行的第四届传感器、作动器国际会议上,美国加利福尼亚大学伯克利分校和贝尔研究所都发表了用制造集成电路方法在硅片上制造微型机器的崭新概念,并在会上表演了他们试制的大小只有几十微米的齿轮、齿条机构,以及用气压差作为动力、转速达到每分钟24000转的微型涡轮机。     

HC—49／S条片微型石英谐振器的研制

我们对３０００ＫＨｚ－３０００ＫＨｚＨＣ－４９／Ｓ基频条片微型石英谐振器进行了研制，本文给邮了谐振器的设计依据和性能测试结果，对其设计和加工工序进行了简单的总结。     

低温真空泵的现状与前景

<正> 低温抽气的前提是低温环境。本世纪初低温制冷技术的发展为低温真空技术的发展创造了条件。特别是空气和氦气的相继液化,以及G—M制冷机的产生,使低温真空泵逐步从实验室走向实用化。     

微型机械及其制造技术的最新进展

微型机械的应用和制造是近年来世界上工业先进国家致力发展的一个领域。本文介绍了各先进国家在这方面的一些情况。     

多晶硅微型电极阵列的研制

讨论了pn结对制作硅微电极阵列的局限性,提出了一种在沟道侧壁制作多晶硅电极阵列的设计和制作方法.实验结果表明,利用该方法研制的微电极阵列不仅克服了pn结的影响,能够为MEMS芯片器件提供所需的工作电压,而且也为一些小型化电极的设计及研制提供了新的思路和方法.     

微型传感器家族新成员—微型接近传感器

利用MEMS(Micro Electromechanical System,微机电系统）技术制作的微型传感器是近年来传感器发展的主流之一,特点是体积小、重量轻、功耗低、功能集成度高和可靠性高等。其制造过程利用了半导体业较为成熟的工艺,能实现与之类似的大批量、高精度加工。目前,已研制出的微型传感器种类繁多,其中压力、加速度、磁(霍尔效应）、温度、光学(CCD)等传感器已有成熟商品问世。本文则将以Xiaofeng Yang (Advanced Micro Machines公司）等人研制的一种单片式传感器为例,介绍微型接近传感器这一微型传感器家族的新成员。用途及基本原理这…     

微型两芯光纤连接器的研制

介绍了针对特殊机载环境运用近场耦合原理设计的一种微型两芯光纤连接器。该连接器以弹簧浮动光路自对准结构为设计特点,具有体积小、重量轻,多芯光纤低插入损耗一致性高的性能特点。对该连接器核心关键制造工艺,即研磨工艺进行了描述。最后通过对该连接器插入损耗数据统计直方图的验证,表明了该微型两芯连接器设计性能的高可靠性和工艺的成熟稳定性。     

JA61微型石英谐振器的研制与生产

我们对ＪＡ６１微型石英谐振器进行了研制与生产，频率范围：３０－８７ＭＨＺ，采用ＡＴ切三次泛音振动模式；外形尺寸：７．７×７．７×３．０（ｍｍ）和７．７×６．６×３．０（ｍｍ）；壳型：ＵＭ－１型和ＵＭ－５型。本文给出了该产品的设计依据和电参数测试结果。     

数据链系统中微型温度控制电路的研制

详细介绍了用于数据链系统中温度控制电路的研制方案,包括电路原理、研制方法、外型结构、技术难点的解决及可靠性分析.     

美国空军研制无人机用微型数据链

美国空军已经公布了小型无人机用的微型通用数据链（CDL）的研制计划。空军研究实验室传感器理事会（AFRI／PKSE）于2006年8月提出申请，希望得到微型CDL终端的研制建议草案。[第一段]     

微型光谱仪的发展

随着MEMS、微光学等微制造技术的发展,光谱仪器的微型化成为可能,光谱仪的微型化是光谱仪器的一个重要发展方向。本文根据国内外正在进行的微型光谱仪的研制工作,对微型光谱仪的发展进行了比较全面的综述,最后对研究微型光谱仪的意义进行了总结。     

超微型电机及其制造技术和发展概况

介绍超微型电机概念及其制造技术和国内外研究概况。