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文章结合作者近年来的工作,评述了半导体低维材料中的超快速激光光谱研究的近期进展,介绍了超快光谱研究半导体低维材料的原理,讨论了一些有待解决的问题。 相似文献
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半导体材料的霍耳测量 总被引:2,自引:0,他引:2
利用霍耳效应研究半导体材料的电阻率,载流子浓度和迁移率是霍耳测量的主要技术之一。文章简单介绍了HL5500霍耳测量系统;列举了用该霍耳系统测量的各种半导体材料,特别是高阻和高迁移率材料的结果,并讨论了有关的干扰问题。 相似文献
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在半导体材料的加工过程中,很多重要步骤都涉及到了化学作用,讨论了半导体材料加工过程中化学缓蚀、化学机械抛光和清洗步骤的化学作用原理,介绍了从化学角度分析和优化半导体加工工艺的观点。 相似文献