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相似文献
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利用高精度的F-P激光干涉仪,研制了一套用于高精度位移传感器的校准装置,可以校准示值误差为十几个纳米到几十个纳米的高精度位移传感器.测量原理是利用F-P激光干涉仪的灵敏度高、测量精度高等特点,将干涉仪和被测传感器同时测量放置在精密位移工作台上,通过比较激光干涉仪移动镜的位移量和被测传感器的位移量间的差异,得出被测传感器的线性,整个测量过程完全由计算机控制.该系统测量范围为0~25mm,测量不确定度为6 nm+l/2 nm(k=1).  相似文献   

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适于在线测量的激光位移传感器   总被引:1,自引:0,他引:1  
介绍一种新的共光轴激光非接触位移传感器 ,具有克服安装倾斜、表面纹理变化不利影响的特点 ;利用光学球差光学平均改善光斑分布均匀性 ;其微小的光触针 (1μm)以及高速绝对测量的优点适合于曲 (线 )面的快速测量以及在线测量。  相似文献   

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本文介绍了容栅位移传感器的结构和工作原理,并在传统容栅传感器基本原理研究基础上,深入研究了鉴幅式容栅系统和鉴相式容栅系统信号激励方式和信号输出规律,分析开发出单片机和数字鉴相器为核心的鉴相式容栅高度测量仪。  相似文献   

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利用人工神经网络的测量表面粗糙度和位移的光纤传感器   总被引:1,自引:0,他引:1  
利用人工神经网络的测量表面粗糙度和位移的光纤传感器K.Zhang,等1.引言表面粗糙度和位移是制造业产品的两大重要特征。迄今在表面粗糙度和位移测量方面已进行了大量的工作,最经典的测量方法是机械接触法。在过去的十年中,工业应用中开始使用光学法测量表面粗...  相似文献   

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低成本扁平电感型精密位移传感器P.H.Smdenham等1.引言利用一组线圈的电感变化来测量位移是众所周知的,并已广泛论证过。最为常见的结构是,电感传感器(线性可调差接变压器LVDT)是圆柱状的,并用一个可动的磁性材料电枢来改变双线圈系统的电感比,如...  相似文献   

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基于光纤布喇格光栅传感器的精密位移测量   总被引:1,自引:0,他引:1  
首先对光纤布喇格光栅传感的基本原理进行了分析,并给出了光纤光栅位移传感的基本公式.在此基础上,设计制作了一种光纤光栅位移传感器.采用光纤光栅作为传感元件,利用多波长计进行波长检测,对位移量进行了传感测量.实验中,传感器位移检测范围为0.6mm,其传感测量精度为±43nm,测量分辨率为1.5nm.实验结果具有良好的线性度.  相似文献   

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本文介绍可与不同类型的综合测量仪配套使用的多通道电感位移传感器数据采集装置的设计原理、主要技术指标、误差分析与实验结果。  相似文献   

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基于PVDF压电传感器测量振动结构体积位移   总被引:1,自引:0,他引:1  
控制振动板结构的体积位移是降低结构总声功率的一种有效策略。本文以工程常见四端位移为零的振动板为例,提出一种新的压电式传感器的设计方法测量体积位移。利用正弦函数展开近似表示固定板振动位移,通过设计特殊形状的PVDF压电薄膜,使PVDF输出信号为所需要的振动结构体积位移。结果表明这种体积位移传感器不仅适用四边简支、四边固定以及介于两者之间的边界条件板结构,而且作为一种误差传感器测量振动结构体积位移是可行的。并对实验数据进行了分析比较。  相似文献   

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新型光电二维位移传感器   总被引:1,自引:1,他引:1  
介绍一种新型光电二维位移传感器的结构和工作原理,分析了该传感器的使用方法。  相似文献   

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一、前言当今不接触测量传感器在三维测量机,过程测量和机器人等领域要求越来越多。许多不接触系统,如光学,电学,声学和气动学都已试过,其中有些已经在实际中得到应用。一般来说,光学系统胜过其它方法,因为它不受电和磁的噪声影响,并且精度很高。在普通的光  相似文献   

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本文介绍一种新型的盾构位移传感器。它随着千斤顶的运动而转动,将直线位移变成直角位移,再通过光电转换成脉冲输出。  相似文献   

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本文主要介绍了反射式光纤微位移传感器,并搭建测试光路,完成了实验测量,确定了测试范围和测量精度。实验表明,对单模光纤,在0~62μm位移范围内,光功率变化较大;当超出该范围,光功率变化较小。对多模光纤,在0~224μm位移范围内,光功率变化比较大;当超出该范围,光功率变化缓慢。二者最小位移测量精度均可达到0.05μm。  相似文献   

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蒲如平 《真空》1992,(6):42-43
根据工作需要,本人设计了一种用于监视真空吸具真空度变化的真空报警器。在该报警器中使用的机械式真空位移传感器(以下简称传感器),结构简单,安装调试方便,能顺利实现从真空度到电信号的转变。通过几年的实际应用,效果不错。现予以介绍。一、电路原理 图1是真空报警器的电路原理图。K1(电源开关)合上,BG1导通,报警器无信号输出。K3(真空抽气阀门触点)合上,即真空系统抽气,当抽气到预定值时,K2(传感器触点)合上,BG1截止,BG2导通,绿灯2作闪烁,表明可以安全吸取产品,此时SCR导@通并自保,BO.、BG.之发射极接地(未导通)。凡脱开,说明真空…  相似文献   

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本文详细描述了线位移传感器的外观、通电前的机械性能及迟滞、重复性、非线性等主要技术指标的检定步骤、检定原理和数据处理方法  相似文献   

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