环型CO_2选支激光器与腔内SF_6引起的窄共振

本文描述了一种新型选支环型CO_2激光器。在10.6微米和9.5微米光谱区获得了十几条振转谱线的激光输出。观察了腔内SF_6分子的窄共振。     

振转谱线的压力增宽用于分子直径的测定

本文讨论了利用分子振转跃迁谱线的压力增宽来测定分子碰撞截面以及分子直径的可能性并给出了对SF_6分子的测定结果,同时亦采用了文献给出的键长值以及其他分子的振转谱线压力增宽值计算     

在分子束中SF_6分子单频和双频红外多光子离解谱

在分子束中做了SF_6分子的单频和双频红外多光子离解(MPD)谱,研究了分子转振温度和激光能流对MPD的影响。把实验结果和理论计算结果做了比较分析,认为双光子和叁光子共振跃迁统治了这些离解谱的结构。     

SF_6无多普勒饱和吸收光谱技术

建立了一套用直流放电激励的 CO_2激光研究 SF_6低压气体无多普勒饱和吸收光谱的实验装置。为使实验分辨率趋近10~(-8),对影响实验分辨率的各种因素,请如各种谱线展宽、激光频率和功率的稳定性等做了量级上的估算,并提出了相应的限制和要求。给出了满足这些要求所应采取的具体技术措施。其中主要有:用补偿式热稳定支架来稳定激光腔长,用辅助金镜增强反射光强的办法来示踪弱红外光以及使用防震台和环境空训等。此外,也讨论了如何用压电陶瓷测量频率间隔等一些具体实验细节。利用本装置观察到了 CO_2激光 P(18)线内的 SF_6饱和共振峰。并在气体压强分别为40和     

红外多光子分解SF_6分离硫同位素的实验研究

本文报导了用能量1—1.5J,脉冲半宽度100—200nsTEA CO_2激光照射SF_6,实现红外多光子分解,分离硫同位素。全文共有七项结果:(1)0.20托SF_6,加入不同比例的H_2,照射相同数目(800个)激光脉冲,观察分离系数α值的变化。当H_2的分压为0时,α值为17;而当H_2的分压增加到1.80时,α下降到3。(2)自由基和分解后产物的复合反应对分离有较大的影响,由反应器材质(黄铜、玻璃)不同,得到间接验证。(3)分离系数α与照射的激光脉冲次数S间的关系。在有限的脉冲数范围内,α随S的增加指数地增加,增加率是SF_6压力的函数。(4)分离系数α与SF_6压力P间的关系。纯SF_6情况下,α随压力增加而迅速减小,减小率是脉冲数的函数;在SF_6/H_2=1/5的情况下,α值随压力增加而指数地下降。(5)平均分解产额与SF_6压力间的关系,存在一极大值。在本实验条件下,压力为1.60托左右时,分解产额最大。(6)不同缓冲气体对分离的影响与缓冲气体对SF_6分子振动能量弛豫时间的影响趋势相一致。(7)激光照射SF_6分子时分析可能的分解反应渠道。对激光照射后进行剩余气体成份的分析,发现有大量     

SF_6-UF_6-H_2体系激光光敏反应中红外荧光的研究

研究了由10.6μm P(24)支线脉冲CO_2激光引发SF_6UF_6-H_2体系红外光敏反应中产生的红外荧光。当体系的组成和激光频率都不变时,由HF产生的荧光信号强度与激光的能量密度呈线性关系,改变体系中UF_6的分压,红外荧光信号的强度和时间特性都发生比较明显的变化。此外,由SF_6-UF_6H_2。体系红外光敏反应的动力学讨论了上述红外荧光的一些特性。     

等离子体腐蚀工艺实验

一、前言等离子体技术在半导体器件工艺中应用很广,它除了能作微细图形的腐蚀外,还可以进行抛光,清洗、镀膜等加工。我们用CF_4气体对硅和硅化合物进行了腐蚀实验,取得了一些结果。通常腐蚀工艺用的等离子体是在0.01——0.1托真空中,通入CF_4,CCl_4,SF_6等活性气体,在高频电场作用下活性气体辉光放电,形成非平衡低温等离子体。其特点是电离度低,气体温度低(1)。等离子体内的粒子之间的相互碰撞,激励分子的内部运动,如振动,转动,电子跃迁等,例如双原子的分子A_2和电子e的碰撞(2),对应于电子能量的大小,可以发生如下的反应     

热激励的HF化学激光器

为了热分解 NF_3和 SF_6成氟原子并与 H_2反应产生 HF 激光运转,应用了 CIN_3爆炸激励。由4→3HF 激光跃迁表明氢原子与含氟物的反应。     

氮分子中3577埃强激光的实验研究

J.Itani等首先在Blumlein快放电装置中用SF_6和N_2的混合物作为工作介质获得了强的3577埃激光作用.以后S.N.Suchard和R.P.Akins对(SF_6+N_2)混合物快放电激发的3577埃氮分子激光进行过研究.我们在本文中报导的是在改进的Blumlein型横向双放电装置中用适量纯氮进行放电激发时,所产生的氮分子激光中有波长3577埃激光,另外在适当SF_6和N_2的比例及总气压下观察到氮分子3159埃高增益受激发射.我们实验中所用的,是由带有直角三角形平板传输线作为脉冲形成网络的Blumlein 快放电装置,在装置的放电区域接近阴极的部分插入了第三电极A_3,这个第三电极我们称之为诱导电极,它在快放电中起着改变阴极发射性质并起使激活空间预电离的作用.整个装置图1所示.     

六氟化硫、三乙胺对氮紫外受激辐射的影响

本文报道在N_2中添加SF_6和三乙胺显著增加3371A的输出;给出不同的SF_6含量与3371(?)和3577(?)输出的变化关系;指出SF_6对B~3Π_g(ν=1)的转动能级的强烈影响。 我们是在一台Blumlein电路快放电激光器上进行N_2添加SF_6和三乙胺的实验研究的。激光腔体尺寸为6×6×100厘米,转输线储能电容和脉冲形成电容量均为27000微微法。“T”形激光电极的阴极上下面附近分别装置一根铜棒,即采用双铜棒预电离。工作电压是18千伏。 研究了3371(?)和3577(?)受激辐射输出功率与混合气SF_6/N_2比值之间的关系,工作气压保持在80托。当SF_6/N_2<1,即在N_2中添加少量SF_6时,3371A的输出功率迅速增加,直     

红外激光表面化学反应的初步研究

催化剂能降低化学反应的活化能从而提高反应速率,对反应途径有特殊的选择性。本文研究了二氧化碳激光器产生的红外激光对 NH_3和 SF_6在热金属丝表面上分解反应的影响,以及 TEACO_2激光单脉冲诱发的 NH_3一O_2复相爆炸反应。在 NH_3体系的实验中,使 CW CO_2激光束穿过钨丝圈而不触及钨丝,发现在热分解温度阈值以下,一旦用红外激光辐照,分解反应立即发生,如停止辐照,反应也就停止。在 SF_6体系的实验中,研究了 SF_6在多晶纯铂丝表面上的热分解反应动力学。当 SF_6的压力在0.050—0.15托之间,测得分解反应的起始温度为900℃左右。当铂丝温度在900—1050℃范围内,反应速率与 SF_6的压力呈一级反应关系,测得反应表现活化能为19.6千卡/摩尔。在     

快放电激发XeOH准分子的发射谱

本文报道了Xe/H_2O/He混合气体在快放电激励下XeOH准分子的紫外发射谱。无结构荧光谱带半功率点宽度为6nm,峰值在235nm。给出了谱的强度与H_2O分压、Xe分压、总气压及工作电压的关系。     

[N_2]_2二聚物激光介质研究

理论上通过从头算法 (abinitio)计算强相互作用的N2 分子二聚物可能存在的 6种点群构型的势能曲线 ,证明N2 分子二聚物以D2h 对称群构型存在 ,且存在电偶极允许的类准分子跃迁a1B2 g →a1B3u,并计算了a1B2 g →a1B3u 跃迁的荧光谱。估算了N2 分子二聚物 ( 3 3 6 2 1nm)的小信号增益系数。利用微波 ( 2 45GHz)激励高纯氮 ,实验观测了N2 分子二聚物的系列荧光谱带 ,并利用放大自发辐射 (ASE)法测量N2 分子二聚物 ( 3 3 6 2 1nm)的小信号增益系数 ,在误差范围内与理论估算基本一致。最后从理论上估算了N2 分子二聚物激光振荡的输出功率。     

CF_2Cl_2十SF_6的激光裂解

本文采用CW CO_2激光器研究了SF_6+F_(12)在不同条件下的激光诱导化学反应,并与热反应进行了对照。证明SF_6在F_(12)的激光裂解中是一光敏剂,能使F_(12)的分解分数大大提高。整个反应为碰撞级联激发过程,而非多光子过程。     

用SF_6-N_2混合气的反应离子刻蚀制作WSi_x微米结构

本文报道了ESi_x在SF_6-Ar、SF_6-N_2混合气中的反应离子刻蚀(RIE)的实验结果。研究了在SF_6-N_2的混合气中刻蚀WSi_x时,气体成分、气体流量、工作气压和输入功率对刻蚀速率的影响。发现在SF_6/N_2中刻蚀WSi_x微米结构具有优越性。实验结果的重复性较好,并在高速场效应器件、光电集成器件(微米结构)制作中得到应用。     

基于激光光声光谱超高灵敏度检测SF_6分解组分H_2S

H_2S是SF_6气体绝缘设备中放电故障诊断的特征组分之一;针对H_2S在红外波段吸收系数小,传统光学检测方法对H_2S检测灵敏度较低的问题,结合大功率光纤激光放大技术、共振式激光光声光谱技术、波长调制光谱技术和二次谐波检测技术,提出了一种基于光纤放大激光光声光谱的SF_6分解组分H_2S气体的超高灵敏度检测方法;采用近红外可调谐窄线宽分布反馈激光二极管级联高饱和输出功率掺饵光纤放大器作为光声激发光源,搭建具有超高灵敏度的激光光声光谱微量H_2S气体检测系统。结果表明:当测量时间为100s时,该系统对SF_6背景中H_2S气体的检测极限达到1.5×10~(-8)。     

SF_6分子V_2+V_4带高分辨二极管激光光谱的研究

给出了用LS-3二极管激光光谱仪记录的SF_(6v_2+v_4)合频带的高分辨光谱,观察到重球陀螺分子核运动角动量改变的跃迁。     

SF_6可饱和吸收CO_2激光器的主动光学双稳性的研究

本文从理论上分析了可饱和吸收致主动光学稳的机制,并以SF_6作CO_2激光器腔内的饱相吸(?)体,进行了一系列实验观察。实验结果表明:改变激光器的激励电流,可以观察到激光泵浦与激光输出之间的主动光学双稳态。从而证明了饱和吸收致     

激光浓缩硫同位素

1975年R.V.Ambartzumian和V.S.Letokhov等用调频的高功率脉冲TEACO_2激光辐照SF_6气体,获得了~(34)SF_6的同位素浓缩,浓缩因子高达2800.以后美国德国和我国用相似的方法均获得了~(34)SF_6的同位素浓缩.我们用聚焦的脉冲TEACO_2激光器辐照SF_6+H_2混合物.也取得了~(34)SF_6的同位素浓缩,浓缩因子高达386.同时还研究了激光脉冲次数、气体压力和透镜焦距对浓缩因子的影响.     

200 W重复频率中红外氟化氢化学激光器

为了获得高重复频率高功率中红外氟化氢(HF)激光输出,采用自动紫外预电离和对称Chang氏电极结构,制备了闭环的非链式重复频率HF激光器,并对其进行了详细介绍。实验研究了激光器的输出特性和重复频率运行特性,获得了激光能量随重复频率的变化规律。在增益区气体流速为16 m/s,工作电压为25 kV,总气体压强为8.5 kPa、物质的量分数分别为92%和8%的SF_6和C_2H_6混合气体条件下,实现了重复频率为150 Hz、平均功率为200 W的HF激光输出。