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平晶检定时干涉条纹的快速调整方法与平面度计算 总被引:2,自引:1,他引:1
在平面等厚干涉仪上检定平晶工作面平面度时,需要在被检区域调整出3到5条干涉条纹,依据测量原理和计算公式求出被检平晶工作面的平面度.文章重点分析干涉条纹的快速调整方法与标准平晶平面度的正确引用方法. 相似文献
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千分,己研磨器是修理外径千分尺测量面的精密研磨工具,采用优质的球墨铸铁,经过精细研磨,严格检验加工而成,但由于经常使用,千分尺研磨器工作面也会磨损,其平面度、平行度也会超差,所以必须修理千分尺研磨器,使其平面度,平行度恢复到精度范围内。 相似文献
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薄膜厚度的测量,是真空镀膜技术中的一项重要内容。根据Fizeau条纹原理,做成了一种简易透射式多光束等厚干涉测定薄膜厚度的装置。它可以测量微米级的薄膜厚度,检查光学平面的质量,测量细丝的直径和光的折射率等,精度在2%左右。一、实验原理由光的干涉原理可知,任意两个相邻的明条纹或暗条纹之间的距离l由下式决定 相似文献
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平面平晶是以光波干涉法测量平面的平面度、直线度、研合性的计量器具。现针对在平面平晶检定中出现的问题 ,加以分析并提出改进建议。1 如何实现二截面正确转位 ,条纹弯曲量与条纹间隔比值的取定JJG2 8- 91规程中写到 :“当所检定二截面出现的平面度符号相同时 ,取其中绝对值最大值为平面度 ;符号相反时 ,则取两者绝对值之和为平面度。”二个截面平面度检定 ,主要是为了找到最大误差的绝对值 ,一般是通过两平晶工作面的接触面的转位来实现的。实验证明 ,变换 90°能比较客观地反映平晶工作面误差。因为 ,把直径大于被检平晶的标准平晶… 相似文献
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第三十四讲干涉显微镜1结构和工作原理干涉显微镜(以下简称仪器)主要由主体、工作台、干涉头、测微目镜、照明系统和摄影系统等部分组成。图1为常用的双光束干涉显微镜的结构形式。仪器基于等厚干涉测量平面度的原理,将同一光源发出的光线分为两束或多束,使其产生干涉。显微镜系统将干涉条纹放大,根据干涉条纹的间距 相似文献
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目前平面度测量和评定方法基本是针对长方形工作面的,该方法不适用于圆形工作面平面度的测量。有一企业生产一工件,工作面为圆形,对平面度要求较高,对面积较小的可以用平台测量等方法,但对面积较大或重量较重的,就不方便了。下面介绍一种测量圆形工作面平面度的简易方法——“中心法”。 相似文献