激光倾斜照明法测量钢板厚度

提出了一种激光倾斜照明的方法来测量钢板厚度,利用激光光束斜射到待测板侧面,用工业摄像机将被测板上的激光光斑成像于CCD靶面上,基于光斑像高与被测板厚度的几何关系计算出待测板厚度.由于被测物面不垂直于光轴、钢板沿宽度方向的运动均对测量结果有影响,对此作了分析并进行了修正.实验表明该方法可广泛应用于实际工业在线测量中.     

浮标式油膜厚度测量传感器的研制

针对海面溢油油膜厚度的测量,基于垂直入射式差分激光三角法原理,研制了可机载投放的浮标式油膜厚度测量传感器。介绍了传感器的组成和原理,给出了系统集成与调试过程,以0级陶瓷量块为标准厚度,采用最小二乘拟合高次曲线的方法对传感器进行了标定。选用1.4~9.4mm量块对传感器进行了精度测量,测量相对误差小于1%。     

薄膜厚度测量技术

随着各种表面沉积技术(PVD、CVD)日益广泛地应用于微电子、光学及超导薄膜沉积等微细加工领域,膜厚在10—10~2nm范围内的薄膜厚度测量技术也不断得到发展。本文系统地描述了各种测量技术的原理、属性及测量方法,并对其测量精度及适用范围进行了比较。     

薄膜厚度的EDS测量

薄膜厚度的ＥＤＳ测量赵家政徐洮（中国科学院兰州化学物理研究所固体润滑开放实验室，兰州７３００００）在电镀膜、真空蒸发膜、表面处理膜、溅射膜、润滑转移膜等的扫描电子显微分析中，除观察其表面形貌外，还希望同时测得薄膜的厚度。薄膜厚度的测量，尽管有光学法［...     

透明介质厚度的散斑法测量

本文提出了用激光散斑技术测量透明介质厚度的方法,导出了试件厚度与散斑位移的关系式,并进行了比较实验和误差分析。     

距离与厚度的绝对测量

本文介绍两种干涉测量方法,可对透明与非透明介质的厚度进行绝对测量.与一般干涉测量的区别在于,这里所用的是短相干长度的光.     

力学参数测量时由残余电荷导致的误差分析

分析了用静电牵引法测量悬臂梁结构力学参数时，由于绝缘层中残余电荷的存在，对测试结果带来的影响；并提出了利用C-V特性曲线确定残余电荷数量的方法，将求出的残余电荷数量从静电力的角度进行等效，从而求出考虑残余电荷后带来的阈值电压测试误差。该分析方法既适于提高悬臂梁、桥等用来测量力学参数的精度，也适于对静电执行器等的精确分析。     

基于数字散斑的弯管残余应力测量系统的误差分析

针对基于数字散斑相关法(DSCM)的残余应力测量系统,分析了影响系统精度的主要误差因素,并根据各个误差因素的形成原理,提出了减少或去除误差的方法。通过实验数据的对比,验证了误差因素对测量系统的影响,同时验证了所给出的减少误差的方法的可行性,为基于数字散斑相关法的测量系统的误差分析提供了有益的参考。     

测量玻璃厚度和外形的新型激光传感器

美国LMI技术公司推出了一种经过改进的用来测定玻璃厚度和外形的新型激光传感器。这种传感器所有的软件功能都在传感头内部实现，无需单独的控制器，从而减少了仪器运作的费用。该公司的FDAII级可视玻璃厚度传感器采用了激光三角测量网并以高达每秒2000个读数的速度测量厚达1．5mm的玻璃板。     

PSD精密薄板在线多点测厚系统

为满足精密薄板厚度在线测量的精密性、实时性和可靠性要求, 将基于调制、带通滤波和峰值检测的信号处理技术与激光三角法相结合, 设计了高精度 PSD微位移传感器, 并利用多个传感器和差动三角法制作了采样速率达到 1 kHz, 测量厚度范围为 6 mm, 测量精度可达 10滋m的薄板多点测厚系统原理样机。系统基于 SOPC技术, 在 FPGA内扩展了多个串口作为测量数据传输通道, 同时采用 ARM9微处理器做控制中心, 利用其内部的 SMC(静态存储控制器)与 FPGA连接, 实现了测量数据的实时传输、处理和显示。最后, 对系统的稳定性以及影响因素进行了测量和分析。     

激光在线测厚振动分析与精度优化

激光测厚具有安全可靠、测量精度高、测量范围大等优点,广泛应用于纸张、电池极片等薄膜类材料厚度的在线测量。带材宽幅方向扫描测厚时由于扫描架往复运动会产生机械振动,影响在线测厚精度。针对该问题,以锂离子电池极片厚度测量为例,使用双激光差动式测厚平台对电池极片和铜箔分别进行厚度测量,然后对测厚数据进行频谱分析,探究其振动规律的相似性,并基于频谱分析结果采用滑动带阻滤波方式对测厚数据进行处理,滤波后极片和铜箔的厚度极差分别降低了33.4%和73.8%,有效过滤了机械振动导致的测量误差,可满足极片和铜箔厚度测量的精度要求。     

一种基于CPLD的超声波测厚系统的设计

介绍了超声波测厚以及用CPLD来实现测量控制与数据处理的原理,并着重介绍了一些具体的处理方法。通过温度补偿的方法对传播速度予以校正,系统能实时地测量数据,具有硬件结构简单、工作可靠、测量误差小等特点。     

一种新颖的MEMS表面工艺牺牲层厚度的电测量方法

牺牲层厚度是MEMS表面工艺中的一个重要参数,对它的测量和控制有着重要的意义。目前大多采用光机械的方法来测量,但是测试方法复杂、测试时间长。本文介绍了一种新颖的MEMS表面工艺牺牲层厚度测试技术,实现了牺牲层厚度的电测量。测试方法简单快捷,并且很便于测试系统集成。     

玻璃测厚系统中激光双光斑中心定位方法

双激光光斑中心定位是利用半导体激光和CCD组成的玻璃厚度测量系统中的重要步骤。双光斑中心测量中由于光斑之间相互干扰,易导致光斑分布不均匀和杂散斑干扰严重等问题。传统的定位算法应用在玻璃测厚系统中均存在精度较低、抗干扰能力差等缺点。提出一种基于高斯拟合法的改进算法。首先采用二维零均值高斯函数进行平滑滤波;然后利用高斯拟合法对光斑进行拟合,以获得表征光斑理想光强分布的高斯函数;最后根据理想光强分布将杂散斑滤除后再进行高斯拟合求得光斑中心坐标。仿真实验结果表明此方法可以提高中心定位的精确度和抗干扰能力,使定位误差小于0.1个像素。     

皮肤表皮厚度对微循环测量的影响

由皮肤散射形成的动态激光散斑携带了微循环的信息。散斑的时间涨落不仅与血球运动。照明条件等因素有关,也与表皮的厚度有关,所以表皮厚度的不同将影响微循环的测定。本文从实验上研究了皮肤表皮厚度对微循环测量的影响,得了了散斑强度涨落随表皮厚度变化的关系。     

等离子喷涂ZrO28Y2O3涂层厚度测量方法研究

提出了利用激光非接触点扫描测量涂层厚度的方法.研究了激光照射新型材料ZrO28Y2O3涂层粗糙表面上光点的高斯分布,并利用扫描电子显微镜得到了涂层粗糙表面的显微精细结构.采用激光-面阵CCD传感器-计算机数字图像处理技术测量涂层厚度.实验结果表明:所提出的测量方法是可行的,测量涂层厚度的重复性误差在±5 μm范围内.     

应用XRF法对陶瓷金属化厚度的检测

采用X射线荧光光谱（XRF）法研究了陶瓷金属化厚度的无损检测方法,进行了检测用标准片的设计和标定,分析了金属化层成分与含量,建立了XRF无损检测厚度方法的应用程序和校准方法.研究结果表明：采用X射线荧光光谱法,对陶瓷金属化厚度进行无损检测是可行的和可靠的;在试验的范围内（12.66～87.02μm）,测量误差小于5%,RSD小于2%.     

基于局部方向约束的闸片厚度测量系统研究

闸片是动车组盘形制动装置的重要组成部分之一,闸片的磨损程度直接影响到列车的制动效果,闸片磨损严重的情况,将直接影响列车的安全运行。文章设计了一种基于机器视觉的闸片厚度测量系统,实验表明,该测量系统不仅能准确定位闸片且能高精度测量闸片厚度,系统还能满足在线检测的要求。     

环形掺铒光纤激光器自混合散斑及动态目标距离测量

研究了一种基于环形腔的光纤激光器自混合散斑动态目标距离测量方法。提出环形掺铒光纤激光器自混合散斑效应的实验模型,对环形光纤激光器内自混合散斑信号的产生进行了理论分析,并通过实验得到了动态自混合散斑信号。应用动态散斑信号的频谱能量密度分析,得到垂直扫描光束探测距离与频谱能量密度的线性关系。研究结果表明,应用光纤激光器和自混合散斑效应,可以对动态目标的距离进行高精度测量。