可对多参数测量的硅传感器系统的研制

本文介绍了一种新型的可对多个目标测量的硅压力传感器系统的研制,它是把多个硅压力传感器组合成一个完整的传感器系统,用于对多个不同的对象同时完成独力测量。文章具体描述了对压力、流量、干度实施测量的原理、过程以及传感器系统的结构制作。     

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一、工作原理 PTB220感应元件采用VISALA研制的硅电容绝对压力传感器BAROCAP，是通过硅微加工而成。PTB220的工作原理是基于一个先进的RC振荡电路和三个参考电容，并且电容压力传感器及电容温度传感器连续测量，微处理器自动进行压力线性补偿及温度补偿。当得到压力变化时．硅薄膜弯曲使传感器真空室高度发生变化，导致传感器电容值发生变化。通过测量转换，可以得到压力值。     

高精度扩散硅压力传感器的温度补偿

本文分析了扩散硅压力传感器的零点、零位温度系数及灵敏度温度系数三个基本参数并给出了温度补偿的计算公式。理论及实践均表明：采用此种方法补偿扩散硅压力传感器能满足高精度压力测量的要求。     

新型复合硅微传感器的设计

为了解决弹药武器系统的高温、高压、强冲击振动和紧凑设计条件的测试问题，提出了一种以半导体压阻效应、极间电容变化以及PN结温度效应为基本原理的加速度、压力与温度多参数硅微复合传感器．介绍了复合传感器的工作原理、系统构成以及有限元分析仿真模型．给出了传感器的微结构照片及其性能参数．     

PTB220气压传感器在测量大气压力中的应用

一、工作原埕 PTB220感应元件采用VISALA研制的硅电容绝对压力传感器BAROCAP,是通过硅微加工而成.PTB220的工作原理是基于一个先进的RC振荡电路和三个参考电容,并且电容压力传感器及电容温度传感器连续测量,微处理器自动进行压力线性补偿及温度补偿.当得到压力变化时,硅薄膜弯曲使传感器真空室高度发生变化,导致传感器电容值发生变化.     

数据融合在压力检测中的应用

论述了提高压力检测精度的多传感器数据融合方法.该方法利用RBF神经网络进行异类传感器融合,消除了环境温度和工作电压波动对单个压力传感器测量的影响;利用加权融合估计算法,对同类压力传感器进行融合,提高了压力测量的精度,实现了液压系统压力的动态测量.     

采用薄结构膜片的用于生物医学方面的高性能压阻式压力传感器

采用薄结构膜片的用于生物医学方面的高性能压阻式压力传感器Ｓ．Ｍａｒｃｏ，等１．引言高性能的硅压阻式压力传感器已广泛应用于工业环境中，然而在生物医学方面，若利用硅压阻式压力传感器进行介入性测量以直接监视被测物，则将在大小尺寸、准确度和灵敏度方面受到严格...     

纳米添加材料压力传感器的实验研究

压力在生产、科研等过程中都是经常需要测量或者动态监测的物理量,常用的测量压力的装置有压力表,压力传感器等,传感器又分硅压式,陶瓷式,电压电容式等。近年来纳米材料由于其优良的物理、化学和力学性质已经成为各领域研究的重点。本文主要介绍一种新型碳纳米管添加材料压力传感器的工作原理。     

压力传感器和滤波器对动压测量的影响

在动态压力的测试中,压力测试系统的每个组成部分对动态压力测量结果都有影响,但影响各不相同。本文通过实例,对压力测试系统中的两个重要组成部分———压力传感器和滤波器对动态压力测量的影响进行了分析,强调了由于滤波器的使用,可能出现人们很难发现的压力传感器过载问题及其避免方法。     

集成微型压力传感器

本文介绍了微型电子机械系统的发展，基本制作工艺及在传感器领域的应用。介绍了利用ＥＭＭＳ技术制造压力传感器的研究现状，重点描述了基于硅压阻效应的集成微型压力传感器及其封装技术。这种传感器通过Ｐ－Ｎ结电化学自停止腐蚀技术制作硅膜片，扩散电阻作为压电阻并形成桥路，且带有补偿电路。     

一种齐平封装的MEMS高频响压力传感器

设计了一种耐高温、高频响压力传感器芯片,解决了军事爆破工程实际中需要在高温环境中不失真地测量一些变化频率高、压力波形上升快陡的动态压力.基于硅隔离SOI(绝缘体上的硅)技术和MEMS(微型机械电子系统)技术,利用ANSYS对它们进行了量程和固有频率的模拟,并分析计算了加速度灵敏度.对它们进行了齐平结构的封装.避免了管腔效应的影响,得到了一种耐高温、高频响的压力传感器.对其中1 MPa量程的压力传感器进行了动态标定,通过激波管的试验,得到1 MPa压力传感器的响应频率为147 kHz,满足工程实际中的应用.     

静水压试验机的压力测量系统及计量方法

文章简略地叙述了静水压试验机的压力测量系统,分析了压力传感器的原理和记录仪的应用,介绍了压力测量系统的校验方法和经验,介绍了压力传感器、PLC 和记录仪的校准方法。     

微压压力传感器的结构改进

硅压力传感器具有小型和高灵敏等的优点，近年来小型高灵敏度的压力传感器的量程已低到１ｋＰａ。在这一发展过程中硅弹性体结构的改进起了很大的作用，本文介绍了作者首先提出了适用于微压压力传感器的梁膜（岛）结构以及以后几年来出现的相近的结构，用这些结构都已制成量程为１ｋＰａ的压力传感器 。     

微加速度传感器的新进展

本文介绍了微加速度传感器的最新发展,单向微硅加速度传感器,三维集成微加速度传感器系统,微型集成惯性测量平台系统等。还介绍了最新的微加速度传感器和集成微加速度传感器的制造工艺技术。     

电磁计量技术在传感器测量系统中的应用

在各个领域中都广泛应用到了传感器测量技术,文章对传感器测量系统的基本知识进行了简要的介绍,通过最常用的大型电子衡器,压力、温度传感器测量装置等设备,从工业生产的角度看待问题,利用电磁计量技术排除故障以及准确测试,阐述在传感器测量系统中如何应用电磁计量技术。     

膜片式光纤动态压力传感器的研制

为了更好地满足动态压力的测量需求,研究了一种基于法布里-珀罗（Fabry-Perot,F-P）干涉原理的膜片式光纤动态压力传感器。从理论上分析了多个反射面对F-P腔光谱的影响,提出了得到单一F-P腔的方法。进而采用机械研磨的方式对传感器膜片外表面进行粗化加工,有效解决了由多个反射面带来的光谱复杂问题。对传感器进行静态压力和动态压力标定试验,结果表明：传感器性能良好,在0~200 kPa（表压）范围内的静态压力测量误差小于等于0.5 %FS;在20~2500 Hz范围内,传感器的幅值灵敏度相对误差优于±10%。     

卧式罐液位与温度现场监控系统设计

本文针对大型卧式罐内部温度和压力难以精确测量的问题,开发了一套基于RS485通信协议的罐体现场温度压力测量系统,实现罐体内部温度压力的长期测量及监控功能。采用单片机结合扩散硅压力传感器和PT100温度传感器开发测量单元,实现储罐内部温度压力的分布式测量监控。根据现场测量要求,多个测量单元按一定方式安装在罐体内部,通过通信电缆实现测量节点的组网。通过对50m~3和20m~3两个储罐现场测量试验,证明所开发的测量系统准确度较高、现场安装快速、定位准确,满足现场应用需求,具有很好的使用价值。     

校准电流-压力传感器的一种新方法

对电流-压力传感器传统校准需要多个不同的标准仪器,且需对每次测量数据进行手工记录。本文利用Fluke744过程认证校准仪单台仪器来完成对电流-压力传感器的校准,并实现自动记录。     

耐高温小型压差传感器的研制

小型耐高温压差传感器主要用于高温状态下测量发动机活塞两腔压力差。采用SOS(硅-蓝宝石)材料制作硅压阻式压力敏感芯片,两只压力敏感元件,分别测量高压端和低压端的压力输出,再利用精密的信号处理电路,将微弱的电信号进行放大处理,实现标准的模拟信号输出。     

多通道压力传感器综合检测系统设计

主要描述了多通道压力传感器综合检测系统硬件组成及软件功能设计,通过本压力传感器综合检测系统可满足飞机研制试验中压力传感器检测需求,保证飞机型号试验进度及试验压力测量数据的准确可靠。