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相似文献
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1.
对AlGaN/GaN HFET纵向的常规结构、倒置结构和双异质结进行了研究,结果表明:常规结构的材料生长简单、容易控制,倒置结构的直流性能低于常规结构,而双异质结虽然在材料生长方面较为复杂,但它可以获得较常规结构更为优良的直流特性.  相似文献   

2.
对AlGaN/GaN HFET纵向的常规结构、倒置结构和双异质结进行了研究,结果表明:常规结构的材料生长简单、容易控制,倒置结构的直流性能低于常规结构,而双异质结虽然在材料生长方面较为复杂,但它可以获得较常规结构更为优良的直流特性.  相似文献   

3.
GSMBE生长的用于研制HBT的SiGe/Si异质结材料   总被引:1,自引:0,他引:1  
用 GSMBE法生长了 Si/ Si Ge/ Si异质结构材料 .采用双台面结构制造了 Si Ge/ Si NPN异质结晶体管 .在发射结条宽为 4μm,面积为 4μm× 1 8μm的条件下 ,其共发射极直流放大倍数为 75,截止频率为 2 0 GHz.给出了结构设计、材料生长和器件制作工艺  相似文献   

4.
用GSMBE法生长了Si/SiGe/Si异质结构材料.采用双台面结构制造了SiGe/Si NPN异质结晶体管.在发射结条宽为4μm,面积为4μm×18μm的条件下,其共发射极直流放大倍数为75,截止频率为20GHz.给出了结构设计、材料生长和器件制作工艺.  相似文献   

5.
位于美国华盛顿的美国海军研究实验室日前声称,他们首次开发出一种基于InAlAsSb/InGaSb材料的新型双异质结晶体管,这种异质结晶体管的发射极和第二集电极则采用了InAsSb材料。实验数据显示,这种双异质结晶体管不但大幅提升了器件的直流和射频性能,还明显减低了功耗。  相似文献   

6.
基于能带理论设计并利用MOCVD技术在76.2 mm蓝宝石衬底上生长了不同GaN沟道层厚度的AlGaN/GaN/AlGaN双异质结材料.室温霍尔测试结果表明:双异质结材料的二维电子气面密度随沟道层厚度增加有所升高并趋于饱和;二维电子气迁移率则随沟道厚度增加明显升高.200 nm厚GaN沟道的双异质结材料方块电阻平均值3...  相似文献   

7.
基于考虑载流子弹道输运等非局域传输瞬态效应的流体动力学模型,数值模拟计算了集电区在上面发射区在下面的倒置InP/GaAsSb/InP双异质结双极晶体管(DHBT)器件的直流输出特性和高频性能.计算结果表明:由于集电区台面面积小,集电区在上的倒置InP/GaAsSb/InP双异质结双极晶体管有较高的高频性能;对于发射区在下面与基区接触面积大导致较多的基区载流子复合而使器件的增益偏低问题,可以考虑掩埋侧边腐蚀工艺底切发射区的技术来减少发射区和基区的接触面积,从而减少复合改善器件的增益特性.  相似文献   

8.
用液相外延方法进行了GaInAsP/InP单异质结和双异质结材料的薄层外延生长。给出了源配制的简单公式,配制源饱和温度的精确测定,给工艺生长参数的选择带来了方便。外延层厚度与生长时间的实验关系指出,在生长时间少于40分时,实验结果与理论关系式符合。测定了InP,GaInAsP外延层掺Sn,Zn的载流子浓度和液相中组分xs_n~ι,xz_n~ι的实验关系。文章最后描述十四层双异质结外延材料的生长,给出了获得器件质量要求的GaInAsP材料的择优生长工艺条件。  相似文献   

9.
介绍了InP/InGaAs/InP双异质结双极晶体管(DHBT)材料生长、器件结构与设计、制作工艺和性能测试以及在振荡器中的应用等方面的研究.采用发射极-基极自对准工艺制作了InP/InGaAs/InP DHBT器件,发射极尺寸为1.5μm×10μm的器件小电流直流增益β约25,集电极-发射极击穿电压BVCEO≥10V,截止频率,ft和最高振荡频率,fmax分别为50和55GHz;  相似文献   

10.
介绍了InP/InGaAs/InP双异质结双极晶体管(DHBT)材料生长、器件结构与设计、制作工艺和性能测试以及在振荡器中的应用等方面的研究.采用发射极-基极自对准工艺制作了InP/InGaAs/InP DHBT器件,发射极尺寸为1.5μm×10μm的器件小电流直流增益β约25,集电极-发射极击穿电压BVCEO≥10V,截止频率,ft和最高振荡频率,fmax分别为50和55GHz;  相似文献   

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