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高精度平板的平面度一般用等厚干涉条纹测量,它的一个条纹间距相应于二分之一波长的光程差,用目测可以判别的平面度最高仅1/20波长,但是F-P干涉板要求1/100~1/200波长的平面度。本文描述了压电细分多光束干涉法,用压电陶瓷平移干涉板从而建立一组参考干涉条纹,设原相邻两条纹的距离为α,而参考条纹与原条纹的距离为α/m,用距离为α/m的条纹作基准目视或照相测量平面度,因此精度提高了m倍.在m=10时用目测方法可以探测到近1/200波长的误差。调节压电陶瓷的电压可方便连续地调节m,采用普通低频信号发生器产生的方波来驱动压电陶瓷。 相似文献
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利用多光束干涉有可能测量到光学平面的微小平面度偏差。本文叙述了一种利用法布里—珀罗干涉仪和楔形干涉仪相串联使之产生白光多波长干涉条纹细分的方法。它使普通斐索干涉条纹间隔对应的λ/2光程差作N倍细分,而使条纹间隔对应的程差变为λ/2N,从而极大地提高了测量灵敏度。实际测试表明,利用本方法能容易地判别出小于λ/500的平面度偏差,或许这在国内是一个比较好的测量结果。 相似文献
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本文就当前F—P标准具的生产现状,在工艺技术和检测方法上的两大难关,作了较详尽的分析。法布里——珀罗标准具是应用镀有多层高反膜的两个高精度光学平面,两镜保持严格的平行性,致使在相干光源的照明下产生多光束干涉来进行测量的光学装置。它具有极强的色散性能和聚光本领,其产生的干涉条纹十分细锐。由于它结构简单。价格低廉、体积小、重量轻、使用方便。因此,在教学和科研上处于重要的地位。 相似文献
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为讨论单色平面光经过透明平行平板后出现的两束主要反射光之间干涉条纹的反衬度,在给出了它们的光矢量方位角的定义之后,利用方位角之差表示出两束光波光矢量之间的夹角;再利用菲涅耳公式表示出两束光波的光强比,从平面波干涉的角度来求两束光之间干涉条纹的反衬度,最终得出了复杂而普遍的表达式。并针对海定格干涉的反衬度进行了讨论,认为小角度入射形成的海定格干涉条纹,其反衬度只决定于平行平板的折射率;利用光学材料制作的平行平板,其海定格干涉条纹具有很高的反衬度。 相似文献
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一概述本仪器是用氦委书记—氖气体激光管做光源来检验会聚光波偏离球面波形的程度的多光束干涉仪器.本仪器的具体结构可用来无接触地检验球面曲率半径大于130mm、口径半径比小于1:2.5的镀铝凹球面反射镜;加辅助的标准球面或平面镜后可以检验平面、凹凸非球面二次曲面反射镜、玻璃的均匀性、各种望远物镜、光学系统的质量及安装变形等. 相似文献
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本文从检测干涉条纹的精度与质量出发,讨论了光学平板作为剪切干涉元件本身若干技术问题,其中包括平板平行度,平板表面局部误差以及两表面膜层反射率的匹配等。 相似文献
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利用波前方向校正技术实现两相干光束的平行性控制 ,进而保证干涉条纹可见度损失最小 ,是恒星光干涉仪中的关键技术之一。进行了波前方向校正系统的原理分析和设计探讨 ,详细讨论了该系统中的 80 98控制单元、高压驱动电源、摆镜结构设计及压电陶瓷堆 (PZT)的驱动机理 ,并介绍了用于测试摆镜响应频率等参数的高速 CCD相关检测法 相似文献
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研究了一种基于F-P标准具的透射物镜焦距测量新方法。单色光经F-P标准具后产生的系列圆锥光束作为测量的标准光束,系列圆锥光束圆锥角能从有溯源性的小数重合法准确定出,具备自校准特性。该标准光束通过待测物镜在焦平面处成像为规律已知的同心圆环,由同心圆环计算获得透射物镜焦距值。理论推导了透射物镜焦距测量模型;搭建了测量实验装置,以汞灯绿光作为光源,采用面阵器件实现同心圆环数据采集;重点采用虚拟像元内插与细分技术,结合圆半径回归方法对测量数据进行处理。实验中,结合汞灯两条黄光谱线,用小数重合法确定F-P标准具间隔d,用以焦距的溯源;详细分析了焦距测量不确定度分量并进行了不确定度的计算合成。实验获得,用面阵虚拟像元间距w'作单位的透镜焦距测量结果的相对扩展不确定度为0.031%。讨论了测量实验改进与像元间距w定度的方案设计,可望将焦距值的相对扩展不确定度降低到0.020%以下。 相似文献
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本文简述了平行光束倾斜入射在两相近表面产生等厚干涉条纹测量平面度的原理,从而设计出一种等厚干涉条纹格值(指等厚干涉条纹所对应的厚度间隔)可变化的新型平面度测试仪。本仪器主要适用于 LSI 和 VLSI 制造技术中测量抛光硅片、掩模版和超微粒照相版的平面度、也可用来测量光学玻璃、金属、陶瓷和 GaAs 等材料制成板的平面度。 相似文献
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多表面干涉下的光学元件面形检测 总被引:2,自引:1,他引:2
为了消除平行平板类光学元件的多表面干涉效应对元件面形测量的影响,提出了基于波长移相调谐技术与傅里叶变换原理的多表面干涉条纹检测技术.首先,根据波长移相原理和被测元件的厚度,按照推算出的被测腔长与元件厚度间的比例关系正确摆放被测元件的测试位置.然后,通过波长移相技术采集一组干涉图.最后,对这组多表面干涉图进行离散傅里叶变换,提取带有被测元件前后表面面形的频率信息以及厚度变化的频率信息,通过重构算法得到准确的面形信息和厚度信息.实验结果表明:与传统的13步移相算法相比,得到的前表面PV值和RMS值分别相差0.003和0.001,而后表面PV值与RMS值分别相差0和0.001.这些结果基本满足平行平板类光学元件面形的高精度测量与洁净测量的要求. 相似文献
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利用激光的优点,研制了一种操作方便、用途广泛、精度高的偏振激光多用干涉仪。仪器采用了1/4波片、偏振分光镜系统,能调节干涉条纹反差和消除光学系统各表面剩余反射的影响。主要介绍了仪器的设计思想和若干试验结果。分析了以抛光面为条件确定检偏器转角的方法,描述了利用可换物镜组方便地实现等倾干涉测量的方法,和为操作方便而设计的迅速形成干涉条纹装置及双菱形镜对准装置等问题。 相似文献
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马静石 《仪表技术与传感器》1981,(5)
准直仪是检验精密机床导轨的不直度和平板的不直度的必要仪器,是仪器制造、装调和测试的重要工具。目前我国制造的这种仪器有Z60—1型,43J型光电准直仪及激光准直仪等,下面以Z60—1型准直仪为例,谈谈使用时为满足测量精度,是如何调整的。该准直仪由四部分组成:光源、测微目镜、准直物镜和游动反射镜,详见图1。 相似文献
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本文讨论评价干涉条纹及光电信号质量的指标:两束光相干度Γ和混频效率β.指出光源、光学系统、仪器调整、干涉条纹宽度、光接收器孔径对Γ、β的影响,以及如何获得最佳信号。 相似文献