日本的极高真空技术研究

介绍了去日本考察的情况。其内容涉及极高真空获得,极高真空测量。在极高真空获得方面,集中于降低出气量;在极高真空测量方面,集中于降低电子激励解吸效应。     

日本真空技术的应用现况

介绍了适用于超高真空和极高真空应用的出气速率近年来在日本的研究情况。同时介绍了日本昭和真空公司在真空镀膜方面的新应用。     

超高/极高真空测量发展综述

本文回顾了近50多年来在超高/极高真空测量方面所取得的重要进展.内容包括热阴极电离规和冷阴极电离规的研究进展、新型室温电子源(如Spindt阴极和碳纳米管场发射阴极)和真空的激光电离测量技术在超高/极高真空测量中的应用、小型化超高/极高真空电离规的发展以及我国在超高/极高真空测量方面的研究进展等,从中可对超高/极高真空测量的发展历史和现状有一个完整的了解.     

空间行波管专用排气工艺极高真空系统的研制

空间行波管广泛应用于通信卫星、雷达卫星和定位导航等领域,极高真空的获得与维持是空间行波管高可靠性和长寿命的关键,因此研究极高真空烘烤排气系统具有重要意义。极高真空的获得需要在专用真空排气设备上进行,真空排气工艺是微波真空电子器件制造工艺中最重要的一种技术。极高真空的获得和维持涉及多种技术,包含材料的选择、真空室的设计、真空泵的选择、极高真空的获得和测量、真空除气、高灵敏度真空检漏技术和残余气体分析技术等。本文介绍了空间行波管极高真空系统工艺设备研制过程及其在科研生产中的应用。该真空系统实现了空载真空度优于1×10^-9Pa,多路带载真空度优于5×10^-9Pa,对超高真空、极高真空的获得和真空排气设备制造工艺及应用等具有一定的参考价值。     

超高/极高真空校准研究进展

本文概述了在超高/极高真空校准方面的研究进展.介绍了采用分子束法、压力衰减法、流导调制法以及分流法校准超高/极高真空规的原理、校准系统的结构及性能,并分析了它们的优缺点.从中可以看出,近年来随着真空材料处理技术、容器内表面处理技术和真空获得技术的进展,在10~(-10)Pa～10~(-8)Pa压力范围的超高/极高真空校准技术也取得了可喜的进展,校准系统的研制、维护成本日趋低廉,校准方法更为简单,校准结果更为准确.     

强流重离子加速器BRing-HFRS超高/极高真空过渡研究

针对强流重离子加速器(HIAF)中增强器(BRing)和放射性次级束流分离器(HFRS)之间的BRing引出线真空系统进行极高真空到超高真空的过渡研究。研究表明,为不使处于极高真空状态下的BRing环真空系统受到来自HFRS和高能束运线的影响,通过烘烤段加非烘烤段的方式以及快关阀的作用,可有效地解决真空系统从极高真空到超高真空的过渡问题,并且能够有效地起到对BRing主真空的保护作用。通过对BRing引出线真空系统进行真空压力分布的模拟计算,从侧面更加验证了真空过渡方案的可行性。     

能量分析器型真空电离规性能研究

电子激励脱附(ESD)效应和软X射线效应是影响电离真空计测量下限的两大重要因素.基于能量分析器研制了电离真空规,在极高真空校准装置上对其开展性能研究,包括不同压力或不同阴极发射电流下的离子流、ESD效应和软X射线影响.结果 表明,系统压力介于10-8Pa和10-6 Pa之间,当气体发生电离,能量分析器电压在低于阳极电压...     

兰州重离子加速器深层治癌束流线真空系统

重离子深层治癌束流线从兰州重离子加速器冷却储存环(HIRFL-CSR)主环引出,利用能量为100MeV/u～430MeV/u的碳离子束,开展治疗体内各种癌症的深层治癌研究.该束流线真空系统包括极高真空段、超高真空段和大气段,采用不同的真空获得方案和工艺路线,分别在极高真空段和超高真空段获得了8×10-10Pa和1×10-6Pa的真空度,并顺利实现了束流线的真空过渡,保证了HIRFL-CSR主环极高真空系统的安全运行;研制了适用于高频率扫描磁铁内放置的真空管道,消除了涡流对束流的影响;对隔离真空和大气的大尺寸膜窗材料进行了调研,选择高强度塑料膜(Hostaphan)和加强纤维膜(Kevlar)联合使用,既能让束流通过,又不会产生危害人体的中子,并能够有足够的强度抵御大气压力.该束流线真空系统的建成为重离子深层治癌的研究提供了良好的真空条件.     

极高真空规新进展

本文分析了影响极高真空规测量下限的几个限制因素,介绍国外极高真空测量技术的最新发展状况。     

极高真空电离规的校准实验研究

介绍了2支反磁控型冷阴极极高真空电离规和1支热阴极极高真空电离规的校准实验研究结果。实验设备是一台极高真空校准装置,实验范围为10^-9～10^-1Pa,实验气体为N2。实验结果表明,尽管2次校准结果的重复性较好,但就单次校准结果来看,每个规的灵敏度（修正因子）的最大值和最小值之间的偏差较大。因此,极高真空电离规要得到准确的测量结果,对其进行精确校准是非常必要的。     

重离子深层治癌束运线极高、超高真空系统压力分布与受力分析研究

重离子深层治癌柬运线真空系统与兰州重离子加速器冷却储存环（HIRFL—CSR）相连接,要求极高、超高真空度。本文介绍了深层治癌线真空系统的布局;根据极高和超高真空段不同的气载和有效抽速进行了系统的压力分布计算;对真空室在常温和烘烤状态下的应力和变形进行了分析;通过系统的实验测试,验证了计算数据。     

分流法超高/极高真空校准装置性能研究

分流法超高／极高真空校准装置由极高真空（XHV）系统、超高真空（UHV）系统、流量分流系统三部分组成。使用磁悬浮涡轮分子泵和非蒸散型吸气剂泵组合抽气在XHV校准室获得了10^-10 Pa的极高真空；采用的分流法真空规校准方法，使压力校准下限延伸到了10^-10 Pa；利用非蒸散型吸气剂泵对惰性气体无抽速的特性，使用惰性气体校准时，减小了校准下限的不确定度；校准装置的校准范围为（10^4～10^-10）Pa，合成标准不确定度为1．5％～3．5％。     

质谱法测量极高真空的若干问题

本文叙述极高真空残气分析质谱计的性能要求,以及影响极高真空残气分析的若干因素。 影响测量下限的因素是软X射线和其它辐射引起的光电发射和电子碰撞脱附(EID)。与X射线不同,电子碰撞脱附效应除和真空系统的历史、气体组分、电子流等因素外,还和离子源的结构有关。如果仪器设计和操作不当,EID效应将给测量带来很大误差。热阴极的存在是导致真空系统组分改变的主要原因,必须选择工作温度低的阴极材料。 一、引言 极高真空界限的划分至今还不统一。若从真空获得和测量的角度来看,将低于10-12托(10-10帕)的真空称为极高真空是较为确切的…     

极高真空获得技术和物理的晚近发展

极高真空技术是现代真空科学技术发展的前沿课题。它的开发必将把整个真空科学技术带到一个新的水平,产生更大的经济效益。本文将对八十年代极高真空获得技术和物理的发展概况作一回顾。 一、抽气方程 在真空容器中,当空间和热量处于均匀状态即在平衡态或准平衡态的情况下抽气方程是适用的。但在极高真空容器里,为了造成大面积的抽气面,一般使用吸气剂和低温泵。此时(1)式就不能完全成立,出现较大误差。达道安等[1][2]人论述了这方面的问题。给出在非平衡态下的抽气方程应由气体分子数方程式代替。这项工作已在第八届国际真空会议上发表。华…     

超高/极高真空校准装置的研制

超高/极高真空校准装置由极高真空(XHV)系统、超高真空(UHV)系统、流量分流系统和供气系统四部分组成。使用磁悬浮涡轮分子泵和非蒸散型吸气剂泵组合抽气,在XHV校准室获得了10-10Pa的极高真空;提出了分流法校准真空规的方法,使校准下限延伸到10-10Pa;利用非蒸散型吸气剂泵对惰性气体无抽速的特性,使用惰性气体校准时,减小了校准下限的不确定度;提出了采用线性真空计测量激光小孔分子流流导的方法,减小了小孔流导的测量不确定度。校准装置复合了分流法、压力衰减法和直接测量法对真空规进行校准,压力校准范围为10-1Pa~10-10Pa,合成标准不确定度为0.41%~3.5%。     

日本真空工业

本文详细介绍了日本近几年来一般真空获得设备、无油真空系统和真空应用设备的最近进展，并指出由于日本半导体和ＬＣＤ（液晶显示）产业的迅速发展带动了日本整个的真空工业，使日本的真空产品出现了更新换代的局面     

李得天:打破欧美禁运 助力北斗组网

<正>李得天,工作于中国航天科技集团公司五院510所,是我国真空测试计量技术及仪器领域专家,国防"973"项目技术首席,全国优秀科技工作者。他长期扎根西北,勤奋工作,在真空测试计量技术及仪器领域开展了系统性、创造性的研究工作,是该领域的学术带头人。他提出了分流法校准超高/极高真空规和室温抽气技术获得极高真空的新方法,研制成功我国首台超高/     

航天510所"超高/极高真空校准装置"获国防科技进步一等奖

本刊讯 近日,在国防科工委召开的科技成果评审会上,510所研制的"超高/极高真空校准装置"荣获国防科技进步一等奖. 超高/极高真空校准装置是国防计量重点课题.     

四极质谱计在真空检漏中的应用

介绍了使用四极质谱计进行真空检漏的原理和方法,分别对超高和极高真空系统做了检漏实验研究，并取到了满意的结果。四极质谱计检漏有检漏仪检漏无法比拟的优点，适合在真空工程中推广应用。     

中国航天器真空技术的进展（一）

围绕着中国航天器真空技术在航天领域中的应用问题,综合地介绍了其技术的发展,重点突出了中国极高真空技术的发展.提出了"分子真空寿命"这一新的物理量,并以此概念推导出测量气体分子热适应系数的方法.指出了在超高和极高真空条件下压力失去了原有的物理意义,引入了"有效压力"、"入射率"、"静压"、"动压"等新概念.探索了在空间条件下真空测量中的方向性效应和理论计算与实际测量偏离问题的特殊性和复杂性.介绍了利用分子沉技术研制的极高真空装置获得了10-11Pa极限真空度,介绍了中国已建立的航天器模拟设备的现状、性能指标和主要用途.概述了中国空间材料的真空效应研究现状,指出了空间材料、活动部件的冷焊及航天器敏感表面分子污染对航天器的长寿命和可靠性的影响.展望了中国航天器真空技术的发展.