共查询到20条相似文献,搜索用时 0 毫秒
1.
SnO2超微粒薄膜气敏元件的研制与测试 总被引:2,自引:0,他引:2
用射频磁控反应溅射法在Si基片上沉积SnO_2超微粒薄膜,溅射过程中适量掺Pd,用IC技术制成气敏元件.实验结果表明:该元件在90℃左右时对氢气有极高的灵敏度,是一种薄膜化、集成化、高选择性的气敏元件.本文介绍薄膜制备、微观结构分析、元件设计及气敏特性测试. 相似文献
2.
本文报道了MOCVD技术制备的SnO2薄膜型气敏元件。这种方法沉积的SnO2薄膜耐酸碱性强,膜厚易控制,具有负温阻特性。测定了不同温度和不同气体条件下元件的特性发现该元件对乙醇、丙酮气体具有较高的灵敏度,响应时间快;而对氢气、乙烯、煤气、液化石油气等不敏感,因而具有一定的选择性。元件的稳定性较好。 相似文献
3.
本文介绍了,以SnCl.2H2O为原材料,用sol-gel技术制备La2O3掺杂的SnO2薄膜气敏材料。研究掺杂量、工艺条件、衬底材料对气特性的影响。 相似文献
4.
5.
稀土掺杂薄膜型气敏元件 总被引:2,自引:0,他引:2
介绍稀土掺杂薄膜型气敏元件的制作工艺和敏感性能,测试结果表明,掺Eu2O3的元件对丙酮敏感性高,而掺Nd2O3的元件对乙炔气敏感性高,文中对这类元件的气敏机理作了简单的讨论。 相似文献
6.
高性能纳米SnO2基一氧化碳敏感元件研究 总被引:1,自引:0,他引:1
采用沉淀法制备了SnO2纳米粉体,并制作了烧结型的CO敏感元件,考察了掺杂元素的种类和含量及烧结温度对敏感元件灵敏度的影响,为获得性能良好的CO气敏元件,需要最佳的制备方法和最好的掺杂剂。 相似文献
7.
本文依据等离子体化学气相沉积法(PCVD)制备SnO2导电薄膜的过程,提出一种数学模型,通过数值计算,讨论了沉积的关键参量一活性粒了沉积速率与过程参数(气压,温度等)的相互关系对结果作了初步分析并与实验进行了比较。 相似文献
8.
9.
平面工艺SnO2薄膜甲醛气敏元件的研究 总被引:1,自引:0,他引:1
用ANSYS仿真软件得到最优化的气体传感器电极结构,采用平面工艺在硅衬底上制作了3 mm×2 mm的直热式Sn02薄膜甲醛气敏元件.用溶胶凝胶(sol-gel)法制备了掺Pd的纳米SnO2薄膜,材料的平均粒径约为15nm.元件的最佳工作温度约为230℃,在该加热温度下测试了元件对体积分数为50×10-9的甲醛气体的灵敏度以及响应恢复时间.实验证明:元件的灵敏度随气体浓度的增大而增大,元件的响应和恢复时间均约为50s. 相似文献
10.
用射频磁控反应溅射法制备了SnO2薄膜,并分别测量薄膜在乙醇气体中的电学气敏特性和光学气敏特性。对实验结果的分析表明,SnO2薄膜对乙醇气体有较强的电学气敏效应和光学气敏效应。利用SnO2薄膜的电学气敏特性适合检测较低浓度乙醇气体,而利用SnO2薄膜的光学气敏特性能检测较高浓度乙醇气体。 相似文献
11.
SnO2超微粒子薄膜的气敏特性研究 总被引:4,自引:0,他引:4
作者用自行设计的直流气体放电活化反应蒸发装置制备出平均粒径约为40nm的SnO_2超微粒子薄膜.研究了不同氧分压下所得SnO_2超微粒膜的形貌、结构和组成等特性,以及不同样品对各种易燃气体的气敏特性,得出了灵敏度随氧分压及灵敏度随工作温度的变化曲线. 相似文献
12.
作者综合文献[4,5]和[3]的构思制得如图1所示结构的气敏元件.其特点,在采用了硅平面工艺技术的扩散法制成的热子.如此,既符合集成化制作趋势,又省去另制热子的麻烦.1.热子设计思路(1)假设元件工作在绝热状态下,并认为SiO_2层和气敏膜的热容较衬底硅片的热容小甚多,可忽略不计.则面积为A、厚度为D、密度为η、比热为C_p的硅片,在时间间隔τ内,由室温t_0上升到工作温度t所需功率为 相似文献
13.
14.
本文主要介绍采用S枪磁控反应溅射技术制备SnO_2气敏薄膜材料.运用扫描电子显微镜、透射电子显微镜、X衍射仪、俄歇电子能谱仪及X光电子能谱仪进行了SnO_2薄膜表面形貌、晶格结构分析,并与不同工艺条件下的组分分析比较,为选择SnO_2薄膜制备工艺提供了重要的实验依据. 相似文献
15.
讨论了金属氧化物半导体SnO2气体传感器基本特性的表征方法,给出了报警监测以及传感器用于低浓度气氛中测量电路的设计原理。 相似文献
16.
三甲胺气敏元件的研制 总被引:1,自引:0,他引:1
本文用MOCVD技术在小瓷管表面沉积SnO2薄膜,通过氢气退火处理,制备了可用于鱼品鲜度检测的三甲胺气敏元件,该元件对三甲胺有较高的灵敏度,响应时间快,工作温度低;对NH3却不敏感,具有一定的选择性,另外,元件的长期稳定性也较好。 相似文献
17.
18.
环境温度对SnO2元件气敏特性的影响 总被引:1,自引:0,他引:1
研究了环境温度变化对各种SnO2元件气敏特性产生的影响,突出地表现为随着环境温度的降低,气敏元件在空气中的阻值R0明显增大。用有机硅化物处理元件的表面可减小元件R0的这种漂移。 相似文献
19.
采用真空镀膜,溶液浸泡,灼烧热分解方法制备了掺系列碱土金属氧化物的SnO2敏感元件,在对乙醇等七种气体的测试结果表明,掺碱土金属氧化物的SnO2元件普遍提高了对乙醇的灵敏度和选择性,而对其余气体同末掺杂元件相似,几乎不敏感,实验结果还表明,碱土金属氧化物对元件的增敏作用按MgO,CaO,SrO,BaO的顺序依次减弱。在敏感机理方面,提出了流过元件电流的公式,对元件的敏感机理作了初步探讨。 相似文献