热阴极电离真空计的晶体管开关式发射电流稳流器的研制

目前我国各种热电离真空计的阴极电子发射稳流器，包括质谱计的热阴极离子源的电子发射稳流器，均采用连续式稳流线路。这种电路的供电效率十分低，通常为３０～４０％；本文介绍的二种开关式稳流器实例，效率均可达５０～８０％，並与供电电压高低无关。这不仅缩小了真空计的体积、重量、耗电，而且提高了整机的热稳定性；同时还增强了电路对不同规格阴极的适应能力。     

《真空测量与控制》一书出版发行

合肥工业大学朱武、干蜀毅编著、王先路教授主审的《真空测量与控制》一书于2008年4月由合肥工业大学出版社出版发行。《真空测量与控制》系统介绍了真空测量、真空校准、真空检漏、真空控制的原理和方法。主要内容包括:真空测量技术、液位式真空计、热传导真空计、热阴极电离真空计、冷阴极电离真空计、分压力测量和残余气体分析、真空计校准、真空检漏的基本原理、各种检漏方法、氦质谱检漏仪及其它检漏仪、标准漏孔、真空测量仪器电路、真空设备与系统的自动控制等。     

《真空测量与控制》一书出版发行

合肥工业大学朱武、干蜀毅编著、王先路教授主审的《真空测量与控制》一书于2008年4月由合肥工业大学出版社出版发行。《真空测量与控制》系统介绍了真空测量、真空校准、真空检漏、真空控制的原理和方法。主要内容包括:真空测量技术、液位式真空计、热传导真空计、热阴极电离真空计、冷阴极电离真空计、分压力测量和残余气体分析、真空计校准、真空检漏的基本原理、各种检漏方法、氦质谱检漏仪及其它检漏仪、标准漏孔、真空测量仪器电路、真空设备与系统的自动控制等。     

《真空测量与控制》一书出版发行

正合肥工业大学朱武、干蜀毅编著、王先路教授主审的《真空测量与控制》一书于2008年4月由合肥工业大学出版社出版发行。《真空测量与控制》系统介绍了真空测量、真空校准、真空检漏、真空控制的原理和方法。主要内容包括:真空测量技术、液位式真空计、热传导真空计、热阴极电离真空计、冷阴极电离真空计、分压力测量和残余气体分析、真空计校准、真空检漏的基本原理、各种检漏方法、氦质谱检漏仪及其它检漏仪、标准漏孔、真空测量仪器电路、真空设备与系统的自动控制等。     

《真空测量与控制》一书出版发行

<正>合肥工业大学朱武、干蜀毅编著、王先路教授主审的《真空测量与控制》一书于2008年4月由合肥工业大学出版社出版发行。《真空测量与控制》系统介绍了真空测量、真空校准、真空检漏、真空控制的原理和方法。主要内容包括:真空测量技术、液位式真空计、热传导真空计、热阴极电离真空计、冷阴极电离真空计、分压力测量和残余气体分析、真空计校准、真空检漏的基本原理、各种检漏方法、氦质谱检漏仪及其它检漏仪、标准漏孔、真空测量仪器电路、真空设备与系统的自动控制等。     

真空计的发展新趋势

结合真空计的发展历史和使用需求,通过对国际上近几年的真空计新产品的分析可知,目前常用真空计具有向小型化、一体化、集成化、系统化和智能化方向发展的趋势。小型化是指真空计的体积越来越小,一体化是指真空计电路部分与规管集成为一体,集成化是指将多只真空计组合为一体,系统化是指将真空度的测量与控制相结合,智能化是指真空计具有自我诊断、自我保护、自动操作和数据处理等综合处理功能。这些趋势是在电子技术和计算机技     

真空计的发展新趋势

结合真空计的发展历史和使用需求 ,通过对国际上近几年的真空计新产品的分析可知 ,目前常用真空计具有向小型化、一体化、集成化、系统化和智能化方向发展的趋势。小型化是指真空计的体积越来越小 ,一体化是指真空计电路部分与规管集成为一体 ,集成化是指将多只真空计组合为一体 ,系统化是指将真空度的测量与控制相结合 ,智能化是指真空计具有自我诊断、自我保护、自动操作和数据处理等综合处理功能。这些趋势是在电子技术和计算机技术迅速发展的技术推动下 ,为满足应用的需求而产生的结果。     

电阻真空规的丝材料选择问题

一 电阻真空计的基本型式是指用金属丝作敏感元件的测量低真空气体压强的仪器。它是德国人M.S.Pirani(1880～1968)提出来的,故又称“皮拉尼真空计”或“皮氏计”。1906年,Pitani发表了关于电阻真空计的第一篇文章[1]。他是用惠斯通电桥、定温原理;就是说:使丝的电阻(亦即其温度)固定下来后,测定了在该温度下的气体热传导。 其后,C.F.Hale于1911年提出定压(或定流)式电阻真空计[2]。他采用直径28微米、长0.45米的铂丝,电路仍用惠斯通电桥。 30年代时,电子学技术的发展推动了电阻真空计的发展。H.H.Scott于1936年发表了“一种新型选择性电…     

薄膜电容真空计电源的研究

介绍了利用交流电桥和相敏检波（PSD）原理设计的薄膜电容真空计电源的电路实施方案、主机电路结构和实测性能，对其中关键的小电容测量方法进行了深入的研究，在8h内测量，电容差值的漂移可小至10－3pF。主机结构采用微机控制和真空计模块化设计，可构成复合真空计或用于组装其他真空计。初步测试结果表明，这种真空计用单规管可以实现从大气至1Pa，覆盖五个数量级的真空度测量。     

MEMS电容薄膜真空计微电容测量研究进展

MEMS电容薄膜真空计的小型化和整体性能与微电容测量电路密切相关。由于不同领域的应用需求,MEMS电容薄膜真空规管具有不同的敏感电容结构,而相应的微电容测量法也不同。单侧电极微电容测量法电路结构简单,易于实现;双侧电极微电容测量法电路结构较复杂,但该电路可以减小寄生电容及温度的影响而获得高分辨率;静电力平衡式结构下微电容测量法用闭环电路,在高精度测量的同时还能拓宽真空计的动态范围。介绍了测量原理、电路结构及性能,可以看出,具有精度高、功耗低、易集成的特点,能够应用于多种不同类型的MEMS电容式传感器的微小电容测量电路,对今后MEMS应用从航空航天等高精尖领域向人工智能物联网领域的拓展具有重要意义。     

MEMS型电容薄膜真空计的关键技术研究进展

近二十年以来,仪器的小型化发展以及微机电系统(MEMS)技术工艺的发展带动了电容薄膜真空计的发展。其中,MEMS型电容薄膜真空计能将电路和敏感元件集成在同一芯片上,具有体积小、能耗低的优点,能广泛的运用在工业测量、深空探测等领域,是真空计量仪器研究热点之一。然而,体积小伴随着的测量范围窄、输出线性度不高、长久密封困难和残余气体影响问题都制约着真空计的商品化发展。针对上述的技术瓶颈,研究者提出了不同的技术方案来克服。文中总结相关的研究报道后对问题的缘由以及相应解决措施进行了分类整理与分析,对文献报道的MEMS型电容薄膜真空计进行了对比分析。最后,对MEMS型电容薄膜真空计的发展前景提出了展望。     

MEMS型电容薄膜真空计的关键技术研究进展北大核心CSCD

近二十年以来,仪器的小型化发展以及微机电系统(MEMS)技术工艺的发展带动了电容薄膜真空计的发展。其中,MEMS型电容薄膜真空计能将电路和敏感元件集成在同一芯片上,具有体积小、能耗低的优点,能广泛的运用在工业测量、深空探测等领域,是真空计量仪器研究热点之一。然而,体积小伴随着的测量范围窄、输出线性度不高、长久密封困难和残余气体影响问题都制约着真空计的商品化发展。针对上述的技术瓶颈,研究者提出了不同的技术方案来克服。文中总结相关的研究报道后对问题的缘由以及相应解决措施进行了分类整理与分析,对文献报道的MEMS型电容薄膜真空计进行了对比分析。最后,对MEMS型电容薄膜真空计的发展前景提出了展望。     

电阻真空计的误差分析

自1833年克里斯天(christie)描述了惠斯登电桥电路以来,应用很广。该电路也很快地被广泛应用在真空度的测量上。 电阻真空计俗称皮喇尼真空计,迄今也有几十年的历史了,其一般测量范围为100～10-3托。系采用一根电阻温度系数较大的金属丝(如钨、铂、镍丝)制成规管,在其两端施加电压,通过测量电气参量来反映出真空度。其电路大致可分为定压、定流、定温(定阻)等形式。 分析电阻真空计的误差,对于实际应用十分重要。根据国家标准单只规管校准曲线在测量范围内与标准曲线的偏差其平均值不应大于±25%,可见在电阻真空计中若要缩小测量误差,则规管…     

容积式真泵真空度测试装置的技术探讨

本文提出了替代压缩式真空计测量容积式真空泵极限真空度的必要条件,并研制了一种新颖的能完全替代压综式真空计的测试仪器以及相关的装置和测试方法。     

容积式真空泵真空度测试装置的技术探讨

本文提出了替代压缩式真空计测量容积式真空泵极限真空度的必要条件 ,并研制一种新颖的能完全替代压缩式真空计的测试仪器以及相关的装置和测试方法     

压敏电阻用于低真空测量的研究

研究了将压敏电阻用于低真空的测量，包括规管和电路，研制成了新型DL-4型真空计。该计测量范围为102～105Pa，性能好，价格便宜。介绍了该真空计的原理、结构与特性。     

容积式真空泵真空度测试装置的技术探讨

本文提出了替代压缩式真空计测量容积式真空泵极限真空度的必要条件,并研制一种新颖的能完全替代压缩式真空计的测试仪器以及相关的装置和测试方法。     

静电力平衡式MEMS电容薄膜真空计检测电路研究

静电力平衡式MEMS电容薄膜真空计量程宽、稳定性高,具有广阔的应用前景。测量电路是保证静电力平衡式MEMS电容薄膜真空计性能的关键因素。采用交流激励式检测方法,设计了一种微小电容检测电路,并利用软件仿真和实验测试进行验证。结果表明,该电路能够快速检测微小电容并将其转换为直流电压信号,分辨率为0.33 V/pF。此外,抗驱动电压干扰测试表明,该电路能够在1～100 V范围的直流驱动电压下正常工作,电容测量的输出电压最大标准差为0.010 249 V,并且具有优异的稳定性。     

MEMS电容薄膜真空计及其性能研究

基于微机电系统(MEMS)技术研制了一种新型电容薄膜真空计,结合测量电路,对真空计的整体性能进行了研究。结果表明,MEMS电容薄膜真空计具有良好的稳定性,测量范围为0.2～1 050 Pa,分辨率为0.1 Pa,准确度达到0.1%FS。封装后的MEMS电容薄膜真空计质量为5.0 g,体积为4.1 cm³,整机功耗为2 W左右,具有质量轻、体积小、功耗低、成本低的特点,在空间应用以及工业生产应用中比传统的机械式电容薄膜真空计更具优势。     

《真空测量与控制》一书出版发行

正合肥工业大学朱武、干毅编著、王先路教授主审的《真空测量与控制》书于2008年4月由合肥工业大学出版社出版发行。《真空测量与控制》系统介绍了真空测量、真空校准、真空检漏、真空控制的原理和方法。主要内容包括:真空测量技术、液位式真空计、热传导真空计、热阴极电离真空计、冷阴极电离真空计、分压力