MEMS技术的发展现状及应用

微电子机械系统(MEMS)技术是在微电子和微机械技术上发展起来的一门多学科交叉技术。MEMS包括微传感器、微执行器、信号处理和控制电路、通信接口和电源部件等，能完成大尺度电子机械系统所不能完成的工作，从而极大地提高系统的自动化、智能化和可靠性水平。     

微型光机电系统

微型电子机械系统（ＭＥＭＳ）与光器件融合于一体的微型光机电系统（ＭＯＥＭＳ）成为ＭＥＭＳ研究的一个重要方向,它将会给光器件的发展带来新的飞跃,而光系统因无需力的输出,正是ＭＥＭＳ的一个理想的应用领域。本文主要介绍几种有突破性的、具有可动部件的微型光机电系统,最后提出一种新型的微光学开关。     

微机电系统发展的新动向

微机电技术是指集微型传感器、微型执行器、信号处理和控制电路、接口电路、通信系统以及电源于一体的微机电 系统 (M EM S:M icro E lectro M echanicalSystem )。它将微电子 、微米 /纳米加 工技 术、精 密机械、微纳米传感器、微纳米材料等技术相互融合,实现了微电子与机械融为一体的系统。其目标是把信息的获取、处理和执行集成在一起,组成具有多功能的微型系统 ,完成大 尺寸机电 系统所不 能完 成的任 务;也可以嵌入大尺寸系统中,从而大幅度地提高系统的自动化、智能化和可靠性水平。微机电技术是一种典型的多学科交叉的前沿性研究…     

二十一世纪最具代表性技术——微机械

微机械在美国被称为微型电子机械系统（ＭＥＭＳ）,在日本被称为微机器,在欧洲被称为微系统。按外形尺寸特征,微机械可分成 １～１０ ｍｍ的微小型机械、 １μｍ～１ｍｍ的微机械,以及 １ｎｍ～１μｍ的纳米机械。微机械由于具有在狭小空间内进行作业而又不扰乱工作环境和对象的特点,在航空航天、精密仪器、材料、生物医疗等领域有着广泛的应用潜力,并成为纳米技术研究的重要手段,受到世界各国的高度重视,被誉为 ２０世纪大十关键技术之首, ２１世纪最具代表性的技术。 从微机械的加工方法来看,它具有体积小,精度高,重量轻、性…     

微电子机械技术的现状与发展

微电子机械技术是国际上新兴的科学前沿，它的发展会象微电子技术那样引发一场新的产业革命。本文介绍了微电子机械技术的主要工艺以及在微结构、微传感器、微执行器和微系统方面的研究进展，并对今后的研究动态进行了论述。     

微电子机械技术的现状与发展

微电子机械技术是国际上新兴的科学前沿，它的发展会象微电子技术那样引发一场新的产业革命。本文介绍了微电子机械技术的主要工艺以及在微结构、微传感器、微执行器和微系统方面的研究进展，并对今后的研究动态进行了论述     

微系统集成技术研究的动向

在微电子、微机械和微光学的基础上,集成传感器、执行器和信号处理单元于一体的微系统技术,是现代技术发展的一个新动向。微系统技术在微传感器、微执行器、微光学和专用集成微型仪器等方面有较大发展。微系统在一些工业中获得应用。     

21世纪最具有代表性技术——微机械

微机械在美国被称为微型电子机械系统（MEMS），在日本被称为微机器，在欧洲被称为微系统。按外形尺寸特征，微机械可分成１mm～１０mm的微小型机械、１μm～１mm的微机械，以及１nm～１μm的纳米机械。微机械由于具有狭小空间内进行行业而又不扰乱工作环境和对象的特点，在航空航天、精密仪器、材料、生物医疗等领域有着广泛的应用潜力，并成为纳米技术研究的重要手段，受到世界各国的高度重视，被誉为２０世纪十大关键技术之首，２１世纪最具代表性的技术。从微机械的加工方法来看，它具有体积小、精度高、重量轻、性能稳定、可靠性高、…     

微机械加速度计系统分析与测试

微机械加速度计是近年来才发展起来的一类微机电系统（ＭＥＭＳ）。文中介绍了扭摆式硅微型加速度计的机械结构，工作原理。根据其信号特点，对其测试的关键部分进行了搪塞，并给出了测试结果。在此基础上，对整个加速度计系统的误差来源进行了研讨。     

微机械（Micvomachine、Micromechanism）

微机械（Ｍｉｃｖｏｍａｃｈｉｎｅ、Ｍｉｃｒｏｍｅｃｈａｎｉｓｍ）以单晶硅、高分子、金属薄膜、陶瓷等为材料，利用微电路制造中常用的微细加工技术，在同一硅芯片上制造出与微电路配合协调的、尺寸极小的传感器件的执行元件，称为微机械。微机械与微型（超小型）机械...     

论电子机械技术的发展与应用

随着我国电子技术和机械制造行业的不断发展,机械行业与电子技术不断结合实现了电子技术的科学应用。电子机械技术集机械工艺、计算机技术、微电子技术、控制和信息处理等多学科,电子机械的快速发展有赖于各项技术的进步与发展。文章探讨了电子机械技术的发展现状、发展趋势和电子机械技术在现实中的应用。     

CCD—SIMS图像数字处理系统及其在马口铁抗腐蚀性能研究中的应用

由于ＳＩＭＳ具有高的杂质检测灵敏度，并能进行全元素分析，所以在微电子、冶金、地质等领域得到广泛应用。近年来，随着ＳＩＭＳ图像数字化处理系统的开发，进一步开拓了ＳＩＭＳ的三维微分析功能［１］。通过一次实验即可完成杂质元素的线分布、面分布和微区深度分布的三维分析。本文通过马口铁抗腐蚀性能分析结果，简要介绍ＣＣＤ－ＳＩＭＳ图像数字系统的原理和有关功能。     

上海交大和北大开发出微细加工新技术

微型机电系统正成为世界各国竞相投资开发的热点,人们期待着它能够像微电子一样,带来一场新的技术革命。上海交通大学和北京大学合作开发出了一种微细加工新技术——ＤＥＭ技术,利用该技术可以对非硅材料进行三维微加工。目前,研究人员利用该技术已获得了微复制模具,并模压出多种高深宽比塑料微结构。研究人员称,这种具有国际先进水平的技术,将对我国微型机电系统的产业化起到积极的推动作用。 从世界范围来看,微型机电系统（ＭＥＭＳ）的研究及其产业化发展很快,应用范围也从汽车、医疗领域逐渐向通讯、机械工程和过程自动化等扩…     

微电子机械的发展现状及前景

一、概述 微电子机械系统(Micro-Electron—Mechanical—System缩写为MEMS)是在微电子工艺基础上发展起来的多学科交叉的前沿研究领域。它涉及电子工程、机械工程、材料工程、信息工程、物理学、化学、光学、医学及生物学等学科和技术。 微电子机械从广义上是指集微型机构、微型传感器、微型执行机构及信号处理和控制电路,直到接口、通讯和电源等于一体的微型机电一体化产品。这里的微电子机械产品是指可以批量制造的、几何尺寸不超过1cm~3的制品,最小体积的远期攻坚目标是微米～纳米(μm～nm)范畴。     

数控机床机械传动系统分析

1数控机床的发展概况 近年来，随着微电子技术的飞速发展，微电子器件集成度和信息处理功能的不断提高，同时其价格的不断降低；使微电子技术、尤其是微型计算机在机械制造领域得到广泛应用。微机的信息处理功能与机械装置的动力学功能相结合构成机电一体化系统，正在让机械制造产业发生一场革命。现代机械制造技术以数控技术为核心，以微电子技术为基础，将传统的机械制造技术与现代控制技术、传感检测技术、信息处理技术以及网络通信技术有机的结合在一起变换为高度信息化、高度柔性、高度自动化的制造系统。     

单片机与可编程控制器的联合设计

1当前机电一体化的发展随着以大规模集成电路和微电子计算机为代表的微电子技术的飞跃发展，电子技术迅速应用到机械行业中，而机械工业是基础工业，这样电子技术就通过机械这一途径，迅速渗透到各种行业中。机电一体化：指的是机械的主功能、动力功能、信息与控制功能引进了电子技术，并将机械装置与电子设备以及软件等有机结合而成的系统的总称．目前，机电一体化技术已迅速应用到每一个行业中．例如，各个行业的自动生产线，是通过软件控制可编程控制器等硬件，再由这些设备控制各种机械的操作，以实现自动化生产。电脑行业中广泛应用的…     

微能源研究进展述评北大核心

随着微机械加工技术水平和微电子技术水平的提高,微机电系统得到了长足发展,能源供电装置是微机电系统中重要的组成部分,普通能源供电装置存在尺寸大、能量密度低、寿命短等缺点,许多学者都致力于研究新型微能源供电装置。通过分析国内外参考文献,对微能源领域当前研究热点进行介绍,包括:微型锌镍电池、微型锂电池、微型燃料电池、微型太阳能电池、微型同位素电池、微型内燃机、振动驱动微能源、摩擦发电机。多种微能源装置各有特点,重点阐述了每种微能源装置的工作原理、研究现状以及当前研究需要克服的难题,最后概括了微能源装置的未来发展趋势。     

微能源研究进展述评

随着微机械加工技术水平和微电子技术水平的提高,微机电系统得到了长足发展,能源供电装置是微机电系统中重要的组成部分,普通能源供电装置存在尺寸大、能量密度低、寿命短等缺点,许多学者都致力于研究新型微能源供电装置。通过分析国内外参考文献,对微能源领域当前研究热点进行介绍,包括:微型锌镍电池、微型锂电池、微型燃料电池、微型太阳能电池、微型同位素电池、微型内燃机、振动驱动微能源、摩擦发电机。多种微能源装置各有特点,重点阐述了每种微能源装置的工作原理、研究现状以及当前研究需要克服的难题,最后概括了微能源装置的未来发展趋势。     

微型机械的研究现状及其产业化分析

微型机械是在微电子工艺的基础上发展起来的多学科交叉的前沿研究领域，具有广阔的应用前景。文 中分析了微型机械的研究发展现状，并对其市场前景进行预测。提出微型机械技术产品产业化是微技 术发展的必然趋势，在我国实现微型机械的产业化具有一定的可行性和必要性。最后，对于产业化过程 中的一些相关问题提出相应的对策。     

微力电系统中多层膜的端部应力集中

微电子技术的发展对其本身及封装的结构可靠性提出了更高的要求，微机械的出现又使得微电子－机械元器件的电学行为和力学行为密不可分，从而扩展成为一个统一的微力电系统，微力电系统的强度问题主要是多层膜在制造和使用过程中，由于不同材料热学与力学参量的失配引起的残余热应力，特别是在界面和端部的应力集中，本文应用有限元方法分析了在不同的端部几何形状和组合形状下，多层膜中应力沿界的分布，对于微电子元件在成型过程中